سیرامک الیکٹروسٹیٹک چک

Semicorex Ceramic Electrostatic Chuck (ESC) ایک خصوصی ٹول ہے جسے سیمی کنڈکٹر مینوفیکچرنگ کے سخت مطالبات کو پورا کرنے کے لیے احتیاط سے تیار کیا گیا ہے۔ مسابقتی قیمتوں پر اعلیٰ معیار کی مصنوعات فراہم کرنے کے لیے اپنی ثابت قدمی کے ساتھ، ہم چین میں آپ کے طویل مدتی شراکت دار بننے کے لیے تیار ہیں۔*

انکوائری بھیجیں۔

مصنوعات کی وضاحت

سیمیکوریکس سیرامک الیکٹرو سٹیٹک چک، جو ایلومینا سیرامک سے تیار کیا گیا ہے، مختلف من گھڑت عمل کے دوران سیمی کنڈکٹر ویفرز کو محفوظ طریقے سے رکھنے کے لیے ضروری ہے۔ مادی خصوصیات کے اپنے منفرد امتزاج کے ساتھ، یہ سیرامک الیکٹرو سٹیٹک چک سیمی کنڈکٹر آلات کی تیاری کے دوران درستگی، وشوسنییتا اور کارکردگی کو یقینی بنانے میں اہم کردار ادا کرتا ہے۔

سیرامک الیکٹروسٹیٹک چک کے مرکز میں ایلومینا سیرامک ہے، ایک ایسا مواد جو صنعت میں اپنی غیر معمولی جسمانی اور کیمیائی خصوصیات کی وجہ سے بہت زیادہ مانا جاتا ہے۔ ایلومینا (Al2O3) اپنی شاندار برقی موصلیت کی صلاحیتوں کے لیے جانا جاتا ہے، جو ESC کے تناظر میں اہم ہیں۔ سیمی کنڈکٹر پروسیسنگ کے دوران، ویفرز کو کسی بھی برقی مداخلت کے بغیر مضبوطی سے پکڑا جانا چاہیے جو کہ گھڑے جانے والے نازک سرکٹری کو متاثر کر سکتا ہے۔ ایلومینا سیرامک کی ہائی ڈائی الیکٹرک طاقت اس بات کو یقینی بناتی ہے کہ چک برقی خارج ہونے کے خطرے کے بغیر ضروری ہائی وولٹیج پر کام کر سکتا ہے، ایک مستحکم اور قابل اعتماد کلیمپنگ فورس فراہم کرتا ہے جو ویفر کی پوزیشن اور سالمیت کو برقرار رکھنے کے لیے ضروری ہے۔

سیرامک الیکٹروسٹیٹک چک ایلومینا سیرامک کے اندر سرایت شدہ الیکٹروڈز کے ذریعے ایک الیکٹرو سٹیٹک فیلڈ بنا کر کام کرتا ہے۔ جب ایک وولٹیج کا اطلاق ہوتا ہے، نتیجے میں آنے والا فیلڈ ایک مضبوط کلیمپنگ فورس بناتا ہے جو چک کی سطح پر ویفر کو محفوظ طریقے سے رکھتا ہے۔ یہ غیر مکینیکل کلیمپنگ طریقہ سیمی کنڈکٹر پروسیسنگ میں خاص طور پر فائدہ مند ہے کیونکہ یہ جسمانی رابطے کو کم کرتا ہے اور ویفر کو آلودگی اور مکینیکل نقصان کے خطرے کو کم کرتا ہے، جو خاص طور پر جدید نوڈس کے لیے اہم ہے جہاں معمولی خرابی بھی پیداوار میں نمایاں نقصان کا باعث بن سکتی ہے۔

سیرامک الیکٹروسٹیٹک چک کی نمایاں خصوصیات میں سے ایک اس کی تھرمل کارکردگی ہے۔ سیمی کنڈکٹر کے عمل میں اکثر اعلی درجہ حرارت شامل ہوتا ہے، جو ویفر میں تھرمل تناؤ کو متعارف کروا سکتا ہے۔ ایلومینا سیرامک کو اس کی بہترین تھرمل چالکتا کے لیے قدر کی نگاہ سے دیکھا جاتا ہے، جو سیرامک الیکٹرو سٹیٹک چک کو پروسیسنگ کے دوران پیدا ہونے والی گرمی کو مؤثر طریقے سے ختم کرنے کی اجازت دیتا ہے۔ یہ تھرمل مینجمنٹ کی صلاحیت پورے ویفر میں درجہ حرارت کی یکساں تقسیم کو برقرار رکھنے کے لیے ضروری ہے، اس طرح تھرمل گریڈینٹ کو کم کیا جا سکتا ہے جو وارپنگ یا مائیکرو کریکنگ کا باعث بن سکتے ہیں۔ ایلومینا سیرامک کی طرف سے فراہم کردہ استحکام اس بات کو یقینی بناتا ہے کہ فوٹو لیتھوگرافی اور اینچنگ جیسے اہم عمل کو درستگی کے ساتھ انجام دیا جائے، مینوفیکچرنگ کے پورے دور میں ویفر کی سالمیت کو برقرار رکھا جائے۔

مزید یہ کہ ایلومینا سیرامک کی مکینیکل مضبوطی ESC کی پائیداری اور لمبی عمر میں اہم کردار ادا کرتی ہے۔ سیمی کنڈکٹر فیبریکیشن میں، سیرامک الیکٹرو سٹیٹک چک کو بار بار ویفر کی جگہ کا تعین، پروسیسنگ اور ہٹانے کے چکروں کا نشانہ بنایا جاتا ہے۔ ایلومینا کی پہننے کی مزاحمت اس بات کو یقینی بناتی ہے کہ چک ان چکروں کو بغیر کسی خاص انحطاط کے برداشت کر سکتا ہے۔ پہننے کی یہ مزاحمت نہ صرف چک کی عمر کو طول دیتی ہے بلکہ ذرہ پیدا ہونے کے امکانات کو بھی کم کرتی ہے، جو بصورت دیگر ویفر کو آلودہ کر سکتی ہے اور آلے کے معیار سے سمجھوتہ کر سکتی ہے۔ مواد کی سختی کا مطلب یہ بھی ہے کہ چک کی سطح ہموار اور یکساں رہتی ہے، کلیمپنگ کی مستقل قوت کو برقرار رکھنے اور ویفر کو پہنچنے والے نقصان سے بچنے کا ایک اہم عنصر۔

ہاٹ ٹیگز: سیرامک الیکٹروسٹیٹک چک، چین، مینوفیکچررز، سپلائرز، فیکٹری، اپنی مرضی کے مطابق، بلک، اعلی درجے کی، پائیدار