فوکس رِنگ یا ایج رِنگز کو ویفر ایج یا فریمیٹر کے ارد گرد اینچ یکسانیت کو بہتر بنانے کے لیے ڈیزائن کیا گیا ہے۔
سیمیکوریکس فوکس رِنگز سلکان کاربائیڈ کوٹڈ ہیں جو کیمیکل وانپ ڈپوزیشن (CVD) کا استعمال کرتے ہوئے اعلیٰ حرارت کی مزاحمت فراہم کرتے ہیں، یہاں تک کہ مسلسل ایپی پرت کی موٹائی اور مزاحمت کے لیے تھرمل یکسانیت، اور پائیدار کیمیائی مزاحمت، جو پلازما اینچنگ یا خشک اینچنگ کے عمل میں انتہائی ماحول کو برداشت کرنے کے لیے بنائے گئے ہیں۔ .