پروسیسنگ کے دوران، سیمی کنڈکٹر ویفرز کو خصوصی بھٹیوں میں گرم کرنا ضروری ہے۔ ری ایکٹر لمبے، بیلناکار ٹیوبوں پر مشتمل ہوتا ہے، جس میں ویفر کشتیوں پر پہلے سے طے شدہ، مساوی فاصلے پر رکھا جاتا ہے۔ چیمبر کے اندر پروسیسنگ کے حالات کو زندہ رکھنے کے لیے، اور پروسیسنگ کے آلات، ویفر بوٹس اور بہت سے ویفرز کے فضلے کو کم سے کم کرنے کے لیے۔ ویفر پروسیسنگ میں استعمال ہونے والے دیگر آلات سلکان کاربائیڈ (SiC) جیسے مواد سے من گھڑت ہیں۔
کشتیاں، جن پر عمل کرنے کے لیے ویفرز کی ایک کھیپ لدی جاتی ہے، ان کو لمبے کینٹیلیورڈ پیڈلوں پر رکھا جاتا ہے، جس کے ذریعے انہیں نلی نما بھٹیوں اور ری ایکٹروں میں ڈالا اور واپس لیا جا سکتا ہے۔ پیڈلز میں ایک چپٹا کیریئر سیکشن شامل ہوتا ہے جس پر ایک یا زیادہ کشتیاں لگائی جا سکتی ہیں، اور ایک لمبا ہینڈل، چپٹا کیریئر سیکشن کے ایک سرے پر لگایا جاتا ہے، جس کے ذریعے پیڈل کو سنبھالا جا سکتا ہے۔
کینٹیلیور پیڈل کو CVD SiC پتلی پرت کے ساتھ دوبارہ تیار کردہ سلکان کاربائیڈ استعمال کرنے کی سفارش کی جاتی ہے، جو کہ سیمی کنڈکٹر پروسیسنگ میں اجزاء کے لیے اعلیٰ پاکیزگی اور بہترین انتخاب ہے۔
Semicorex ڈرائنگ اور کام کے ماحول کے مطابق اپنی مرضی کے مطابق سروس فراہم کر سکتا ہے۔