چیمبر کے ڈھکن جمع کرنے والے چیمبروں میں صاف، غیر فعال اور محفوظ ماحول بنانے کے لیے استعمال کیے جاتے ہیں، اس لیے وہ جمع کرنے یا اینچ کرنے کے عمل کے دوران پلازما اور اعلی درجہ حرارت کے سامنے آتے ہیں۔ سیمیکوریکس چیمبر کے ڈھکن پائیدار سیرامک اجزاء ہیں جو کیمیکل وانپ ڈپوزیشن (CVD) طریقہ استعمال کرتے ہوئے سلکان کاربائیڈ کے ذریعے لیپت ہیں، جو ان چیلنجنگ ماحول کا مقابلہ کرنے کے لیے بہترین ہیں۔