SiC کوٹنگ کیمیائی بخارات جمع کرنے (CVD) کے عمل کے ذریعے سسپٹر پر ایک پتلی تہہ ہے۔ سلکان کاربائیڈ مواد سلکان پر بہت سے فوائد فراہم کرتا ہے، بشمول 10x بریک ڈاؤن الیکٹرک فیلڈ کی طاقت، 3x بینڈ گیپ، جو مواد کو اعلی درجہ حرارت اور کیمیائی مزاحمت، بہترین لباس مزاحمت کے ساتھ ساتھ تھرمل چالکتا فراہم کرتا ہے۔
Semicorex اپنی مرضی کے مطابق سروس فراہم کرتا ہے، آپ کو ایسے اجزاء کے ساتھ اختراع کرنے میں مدد کرتا ہے جو زیادہ دیر تک چلتے ہیں، سائیکل کے اوقات کو کم کرتے ہیں، اور پیداوار کو بہتر بناتے ہیں۔
SiC کوٹنگ کے کئی منفرد فوائد ہیں۔
اعلی درجہ حرارت کی مزاحمت: CVD SiC لیپت سسپٹر 1600°C تک اعلی درجہ حرارت کو برداشت کر سکتا ہے بغیر اہم تھرمل انحطاط کے۔
کیمیائی مزاحمت: سلکان کاربائیڈ کوٹنگ کیمیکلز کی ایک وسیع رینج کے خلاف بہترین مزاحمت فراہم کرتی ہے، بشمول تیزاب، الکلیس، اور نامیاتی سالوینٹس۔
پہننے کی مزاحمت: SiC کوٹنگ بہترین لباس مزاحمت کے ساتھ مواد فراہم کرتی ہے، جو اسے ان ایپلی کیشنز کے لیے موزوں بناتی ہے جن میں زیادہ ٹوٹ پھوٹ شامل ہوتی ہے۔
تھرمل کنڈکٹیویٹی: CVD SiC کوٹنگ مواد کو اعلی تھرمل چالکتا فراہم کرتی ہے، جو اسے اعلی درجہ حرارت والے ایپلی کیشنز میں استعمال کے لیے موزوں بناتی ہے جن کے لیے حرارت کی موثر منتقلی کی ضرورت ہوتی ہے۔
اعلی طاقت اور سختی: سلکان کاربائیڈ لیپت سسپٹر مواد کو اعلی طاقت اور سختی فراہم کرتا ہے، یہ ان ایپلی کیشنز کے لیے موزوں بناتا ہے جن کے لیے اعلی مکینیکل طاقت کی ضرورت ہوتی ہے۔
SiC کوٹنگ مختلف ایپلی کیشنز میں استعمال ہوتی ہے۔
ایل ای ڈی مینوفیکچرنگ: سی وی ڈی سی سی کوٹڈ سسپٹر کو مختلف ایل ای ڈی اقسام کی تیاری میں استعمال کیا جاتا ہے، بشمول نیلے اور سبز ایل ای ڈی، یووی ایل ای ڈی اور ڈیپ-یووی ایل ای ڈی، اس کی اعلی تھرمل چالکتا اور کیمیائی مزاحمت کی وجہ سے۔
موبائل کمیونیکیشن: GaN-on-SiC epitaxial عمل کو مکمل کرنے کے لیے CVD SiC کوٹڈ سسپٹر HEMT کا ایک اہم حصہ ہے۔
سیمی کنڈکٹر پروسیسنگ: سی وی ڈی سی سی کوٹڈ سسپٹر سیمی کنڈکٹر انڈسٹری میں مختلف ایپلی کیشنز کے لیے استعمال کیا جاتا ہے، بشمول ویفر پروسیسنگ اور ایپیٹیکسیل گروتھ۔
SiC لیپت گریفائٹ اجزاء
سلیکن کاربائیڈ کوٹنگ (SiC) گریفائٹ کے ذریعے تیار کردہ، کوٹنگ کو CVD طریقہ سے اعلی کثافت والے گریفائٹ کے مخصوص درجات پر لاگو کیا جاتا ہے، لہٰذا یہ غیر فعال ماحول میں 3000 °C سے زیادہ، ویکیوم میں 2200°C کے ساتھ اعلی درجہ حرارت کی بھٹی میں کام کر سکتا ہے۔ .
خاص خصوصیات اور مواد کی کم مقدار تیز رفتار حرارتی شرح، یکساں درجہ حرارت کی تقسیم اور کنٹرول میں شاندار درستگی کی اجازت دیتی ہے۔
Semicorex SiC کوٹنگ کا مادی ڈیٹا
مخصوص خصوصیات |
یونٹس |
اقدار |
ساخت |
|
ایف سی سی β مرحلہ |
واقفیت |
کسر (%) |
111 کو ترجیح دی گئی۔ |
بلک کثافت |
g/cm³ |
3.21 |
سختی |
Vickers سختی |
2500 |
حرارت کی صلاحیت |
J kg-1 K-1 |
640 |
حرارتی توسیع 100–600 °C (212–1112 °F) |
10-6K-1 |
4.5 |
ینگ کا ماڈیولس |
Gpa (4pt موڑ، 1300℃) |
430 |
اناج کا سائز |
μm |
2~10 |
Sublimation درجہ حرارت |
℃ |
2700 |
Felexural طاقت |
MPa (RT 4 پوائنٹ) |
415 |
تھرمل چالکتا |
(W/mK) |
300 |
نتیجہ CVD SiC coated susceptor ایک جامع مواد ہے جو susceptor اور Silicon carbide کی خصوصیات کو یکجا کرتا ہے۔ یہ مواد منفرد خصوصیات کا حامل ہے، بشمول اعلی درجہ حرارت اور کیمیائی مزاحمت، بہترین لباس مزاحمت، اعلی تھرمل چالکتا، اور اعلی طاقت اور سختی۔ یہ خصوصیات اسے سیمی کنڈکٹر پروسیسنگ، کیمیکل پروسیسنگ، ہیٹ ٹریٹمنٹ، سولر سیل مینوفیکچرنگ، اور ایل ای ڈی مینوفیکچرنگ سمیت مختلف ہائی ٹمپریچر ایپلی کیشنز کے لیے ایک پرکشش مواد بناتی ہیں۔
سیمیکوریکس 8 انچ ایپی ٹاپ رنگ ایک ایس آئی سی لیپت گریفائٹ جزو ہے جو ایپیٹاکسیل نمو کے نظام میں اوپری کور کی انگوٹھی کے طور پر استعمال کے لئے ڈیزائن کیا گیا ہے۔ اس کی صنعت کے معروف مادی طہارت ، عین مطابق مشینی ، اور مستقل کوٹنگ کے معیار کے لئے سیمیکوریکس کا انتخاب کریں جو اعلی درجہ حرارت سیمیکمڈکٹر کے عمل میں مستحکم کارکردگی اور توسیعی جزو کی زندگی کو یقینی بناتے ہیں۔*
مزید پڑھانکوائری بھیجیں۔سیمیکوریکس 8 انچ ایپی نیچے کی انگوٹھی ایک مضبوط ایس آئی سی لیپت گریفائٹ جزو ہے جو ایپیٹاکسیل ویفر پروسیسنگ کے لئے ضروری ہے۔ ہر پروڈکشن سائیکل میں بے مثال مادی طہارت ، کوٹنگ کی صحت سے متعلق ، اور قابل اعتماد کارکردگی کے لئے سیمیکوریکس کا انتخاب کریں۔
مزید پڑھانکوائری بھیجیں۔سیمیکوریکس 8 انچ ایپی سوسسیپٹر ایک اعلی کارکردگی کا مظاہرہ کرنے والا ایس آئی سی لیپت گریفائٹ ویفر کیریئر ہے جو ایپیٹاکسیل جمع کرنے والے سازوسامان میں استعمال کے لئے ڈیزائن کیا گیا ہے۔ سیمیکوریکس کا انتخاب سیمیکمڈکٹر انڈسٹری کے مطالبے کے معیارات کو پورا کرنے کے لئے بہتر مادی طہارت ، صحت سے متعلق مینوفیکچرنگ ، اور مستقل مصنوعات کی وشوسنییتا کو یقینی بناتا ہے۔
مزید پڑھانکوائری بھیجیں۔آئی سی پی کے لئے سیمیکوریکس ایس آئی سی کیریئر ایک اعلی کارکردگی والا ویفر ہولڈر ہے جو ایس آئی سی لیپت گریفائٹ سے بنا ہوا ہے ، جو خاص طور پر inductially جوڑے پلازما (ICP) اینچنگ اور جمع کرنے کے نظام میں استعمال کے لئے ڈیزائن کیا گیا ہے۔ ہمارے دنیا کے معروف انیسوٹروپک گریفائٹ کوالٹی ، صحت سے متعلق چھوٹے بیچ مینوفیکچرنگ ، اور پاکیزگی ، مستقل مزاجی اور عمل کی کارکردگی کے لئے غیر سمجھوتہ کرنے والے عزم کے لئے سیمیکوریکس کا انتخاب کریں۔
مزید پڑھانکوائری بھیجیں۔Epitaxial ری ایکٹرز کے لئے سیمیکوریکس گریفائٹ کیریئر گیس کے بہاؤ کے لئے صحت سے متعلق مائکرو ہولز کے ساتھ ایک SIC لیپت گریفائٹ جزو ہے ، جو اعلی کارکردگی والے ایپیٹیکسیل جمع کے لئے بہتر ہے۔ اعلی کوٹنگ ٹکنالوجی ، تخصیص لچک ، اور صنعت سے بھرے معیار کے لئے سیمیکوریکس کا انتخاب کریں۔*
مزید پڑھانکوائری بھیجیں۔سیمیکوریکس ایس آئی سی لیپت پلیٹ ایک صحت سے متعلق انجینئرڈ جزو ہے جس میں گریفائٹ سے بنایا گیا ہے جس میں ایک اعلی طہارت سلکان کاربائڈ کوٹنگ ہے ، جو ایپیٹیکسیل ایپلی کیشنز کا مطالبہ کرنے کے لئے ڈیزائن کیا گیا ہے۔ سیمی کنڈکٹر مینوفیکچرنگ ماحول میں اس کی صنعت کی معروف سی وی ڈی کوٹنگ ٹکنالوجی ، سخت کوالٹی کنٹرول ، اور ثابت قابل اعتماد کے لئے سیمیکوریکس کا انتخاب کریں۔
مزید پڑھانکوائری بھیجیں۔