گیس انلیٹ رِنگز کو ویفر کے کنارے اور دائرے کو ڈھانپنے کے لیے استعمال کیا جاتا ہے، چیمبر کے اہم اجزاء کی حفاظت کرتے ہوئے صاف، غیر فعال اور محفوظ ماحول پیدا کیا جاتا ہے اور جمع کرنے والے چیمبروں میں ان کی کارآمد زندگی کو بڑھایا جاتا ہے، اس لیے وہ جمع یا ویفر پروسیسنگ کے دوران پلازما اور اعلی درجہ حرارت کے سامنے آتے ہیں۔ اتنی مضبوط پلازما پائیداری اور اعلی پاکیزگی حتمی ویفر کی پیداوار کے لیے اہم ہیں۔
Semicorex CVD SiC کوٹڈ رِنگز خاص طور پر ان ڈیمانڈنگ ایپیٹیکسی آلات ایپلی کیشنز کے لیے بنائے گئے ہیں۔