CVD-SiC شاور ہیڈ

CVD شاور ہیڈ کے تناظر میں، ایک CVD-SiC شاور ہیڈ کو عام طور پر CVD کے عمل کے دوران سبسٹریٹ کی سطح پر پیشگی گیسوں کو یکساں طور پر تقسیم کرنے کے لیے ڈیزائن کیا گیا ہے۔ شاور ہیڈ عام طور پر سبسٹریٹ کے اوپر رکھا جاتا ہے، اور پیشگی گیسیں اس کی سطح پر چھوٹے سوراخوں یا نوزلز کے ذریعے بہتی ہیں۔

شاور ہیڈ میں استعمال ہونے والا CVD-SiC مواد کئی فائدے پیش کرتا ہے۔ اس کی اعلی تھرمل چالکتا CVD کے عمل کے دوران پیدا ہونے والی گرمی کو ختم کرنے میں مدد کرتی ہے، جس سے سبسٹریٹ میں درجہ حرارت کی یکساں تقسیم کو یقینی بنایا جاتا ہے۔ مزید برآں، SiC کی کیمیائی استحکام اسے سنکنرن گیسوں اور سخت ماحول کا مقابلہ کرنے کی اجازت دیتا ہے جو عام طور پر CVD کے عمل میں درپیش ہوتے ہیں۔

CVD-SiC شاور ہیڈ کا ڈیزائن مخصوص CVD سسٹم اور عمل کی ضروریات کے لحاظ سے مختلف ہو سکتا ہے۔ تاہم، یہ عام طور پر ایک پلیٹ یا ڈسک کے سائز کے جزو پر مشتمل ہوتا ہے جس میں درستگی سے ڈرل شدہ سوراخ یا سلاٹ ہوتے ہیں۔ سوراخ کے پیٹرن اور جیومیٹری کو احتیاط سے انجنیئر کیا گیا ہے تاکہ سبسٹریٹ کی سطح پر گیس کی یکساں تقسیم اور بہاؤ کی شرح کو یقینی بنایا جا سکے۔