الیکٹروسٹیٹک چک ESC

Semicorex Electrostatic Chuck ESC الیکٹرو سٹیٹک چپکنے کے اصول پر کام کرتا ہے، اس کی ڈائی الیکٹرک سیرامک ​​پرت پر لاگو ہائی وولٹیج ڈائریکٹ کرنٹ (DC) کا استعمال کرتا ہے۔ یہ ٹکنالوجی پروسیسنگ کے دوران ویفرز یا دیگر مواد کے محفوظ منسلک ہونے کی اجازت دیتی ہے، جو کہ مختلف من گھڑت مراحل میں استحکام اور درستگی دونوں کو یقینی بناتی ہے۔

جب چک پر ہائی ڈی سی وولٹیج کا اطلاق ہوتا ہے، تو سیرامک ​​ڈائی الیکٹرک پرت کے اندر چارج شدہ آئن ہجرت کر کے اس کی سطح پر جمع ہو جاتے ہیں۔ یہ چک اور پروسیس ہونے والی مصنوعات کے درمیان ایک مضبوط الیکٹرو سٹیٹک فیلڈ بناتا ہے۔ پیدا ہونے والی الیکٹرو اسٹاٹک کشش ویفر کو اپنی جگہ پر رکھنے کے لیے کافی مضبوط ہے، اس بات کو یقینی بناتی ہے کہ یہ پیچیدہ اور اعلی درستگی کے کاموں کے دوران بھی متحرک رہے۔ یہ محفوظ ہولڈ بہت اہم ہے، کیونکہ یہ مائیکرو موومنٹس اور وائبریشنز کو کم کرنے میں مدد کرتا ہے، جس سے پروسیس شدہ ویفرز کے معیار اور سالمیت پر سمجھوتہ ہو سکتا ہے۔ کم سے کم مکینیکل رابطے کے ساتھ ویفرز کو محفوظ بنانے کی صلاحیت جسمانی نقصان کو بھی روکتی ہے، جو روایتی کلیمپنگ طریقوں پر ایک الگ فائدہ ہے۔

J-R قسم کا الیکٹرو سٹیٹک چک ESC بلٹ ان الیکٹروڈز سے لیس ہے جو اس الیکٹرو سٹیٹک آسنجن کو بنانے کے لیے ضروری ہیں۔ یہ الیکٹروڈ چک کے اندر رکھے گئے ہیں تاکہ ویفر یا دیگر مواد کی سطح پر یکساں طور پر الیکٹرو اسٹاٹک قوت کو تقسیم کیا جا سکے۔ یہ بھی تقسیم مسلسل دباؤ کو یقینی بناتی ہے، جو کہ ایچنگ، آئن امپلانٹیشن، اور جمع کرنے جیسے پیچیدہ عمل کے دوران یکسانیت کو برقرار رکھنے کے لیے ضروری ہے۔ الیکٹروسٹیٹک چک ESC کی طرف سے پیش کردہ عین مطابق آسنجن اسے جدید سیمی کنڈکٹر فیبریکیشن کی مطلوبہ خصوصیات کو ایڈجسٹ کرنے کی اجازت دیتا ہے۔

چپکنے کے اس کے بنیادی کام کے علاوہ، الیکٹرو سٹیٹک چک ESC میں درجہ حرارت کو کنٹرول کرنے کا ایک نفیس نظام موجود ہے۔ چک میں مربوط حرارتی عناصر شامل ہیں جو پروسیسنگ پروڈکٹ کے درجہ حرارت کو کنٹرول کرنے کے لیے بنائے گئے ہیں۔ درجہ حرارت کا کنٹرول سیمی کنڈکٹر مینوفیکچرنگ میں ایک اہم عنصر ہے، کیونکہ درجہ حرارت کی معمولی تبدیلیاں بھی عمل کے نتائج کو متاثر کر سکتی ہیں۔ الیکٹرو سٹیٹک چک ESC ملٹی زون ٹمپریچر کنٹرول پیش کرتا ہے، جس سے ویفر کے مختلف حصوں کو آزادانہ طور پر گرم یا ٹھنڈا کیا جا سکتا ہے۔ یہ یقینی بناتا ہے کہ ویفر کی پوری سطح پر درجہ حرارت کو مستقل طور پر برقرار رکھا جاتا ہے، یکساں پروسیسنگ کے نتائج کو فروغ دیتا ہے اور تھرمل نقصان یا وارپنگ کے خطرے کو کم کرتا ہے۔

الیکٹرو سٹیٹک چک ESC کی تعمیر میں اعلیٰ پاکیزگی والے مواد کا استعمال ایک اور قابل ذکر خصوصیت ہے۔ اس چک کے لیے منتخب کردہ مواد کو ذرات کی آلودگی کو کم کرنے کے لیے ڈیزائن کیا گیا ہے، جو کہ سیمی کنڈکٹر فیبریکیشن میں ایک اہم تشویش ہے۔ یہاں تک کہ چھوٹے ذرات بھی گھڑے جانے والے مائیکرو اسٹرکچر میں نقائص کا سبب بن سکتے ہیں، جس کی وجہ سے پیداوار میں کمی اور ممکنہ مصنوعات کی ناکامی ہوتی ہے۔ اعلی پاکیزگی والے مواد کا استعمال کرتے ہوئے، الیکٹرو سٹیٹک چک ESC پروسیسنگ ماحول میں آلودگیوں کے داخل ہونے کے خطرے کو کم کرتا ہے، اس طرح اعلیٰ معیار کی پیداوار کی حمایت کرتا ہے۔

الیکٹروسٹیٹک چک ESC پلازما کے کٹاؤ کے خلاف مزاحمت ہے۔ بہت سے سیمی کنڈکٹر کے عمل میں، خاص طور پر اینچنگ اور جمع کرنے میں، چک کو رد عمل والے پلازما کے ماحول کا سامنا کرنا پڑتا ہے۔ وقت گزرنے کے ساتھ، یہ نمائش چک میں استعمال ہونے والے مواد کو کم کر سکتی ہے، اس کی کارکردگی اور عمر کو متاثر کر سکتی ہے۔ الیکٹرو سٹیٹک چک ESC کو خاص طور پر پلازما کے کٹاؤ کے خلاف مزاحمت کے لیے بنایا گیا ہے، جس سے یہ سخت پروسیسنگ ماحول میں بھی اپنی ساختی سالمیت اور کارکردگی کو برقرار رکھ سکتا ہے۔ یہ پائیداری طویل سروس کی زندگی کا ترجمہ کرتی ہے، بار بار تبدیلیوں کی ضرورت کو کم کرتی ہے اور پروڈکشن لائن میں ڈاؤن ٹائم کو کم کرتی ہے۔

الیکٹروسٹیٹک چک ESC کی مکینیکل خصوصیات بھی اہم اہمیت کی حامل ہیں۔ چک کو انتہائی سخت رواداری کے لیے تیار کیا گیا ہے، اس بات کو یقینی بناتے ہوئے کہ یہ اپنی مخصوص ایپلی کیشنز کے لیے درکار درست شکل اور طول و عرض کو برقرار رکھتا ہے۔ مطلوبہ سطح کی ہمواری اور ہمواری کو حاصل کرنے کے لیے اعلیٰ درستگی والی مشینی تکنیکوں کا استعمال کیا جاتا ہے، جو کہ الیکٹرو سٹیٹک چپکنے کو یقینی بنانے اور نازک ویفرز کو نقصان پہنچنے کے خطرے کو کم کرنے کے لیے ضروری ہیں۔ چک کی مکینیکل طاقت بھی اتنی ہی متاثر کن ہے، جس سے یہ ویفر کو محفوظ طریقے سے پکڑنے کی اپنی صلاحیت کو خراب یا کھوئے بغیر اعلی درجہ حرارت اور ہائی پریشر کے عمل کے دوران عائد جسمانی دباؤ کو برداشت کرنے کی اجازت دیتا ہے۔