الیکٹروسٹیٹک چک

اعلی پیوریٹی ایلومینا سیرامک ​​کا استعمال کرتے ہوئے، Semicorex Electrostatic Chuck ایسی ترتیبات میں اعلیٰ ترین کارکردگی پیش کرتا ہے جو درستگی، استحکام اور صفائی کو ترجیح دیتے ہیں۔ ایلومینا، جسے ایلومینیم آکسائیڈ (Al2O3) کے نام سے بھی جانا جاتا ہے، ایک سیرامک ​​مواد ہے جو اپنی غیر معمولی برقی موصلیت کی خصوصیات، اعلی تھرمل چالکتا، اور شاندار مکینیکل طاقت کے لیے مشہور ہے۔ یہ خصوصیات اسے الیکٹرو اسٹاٹک چک بنانے کے لیے ایک مثالی مواد بناتی ہیں، جو کہ سیمی کنڈکٹر پروسیسنگ کے متقاضی حالات کو برداشت کرنے کے لیے ڈیزائن کیا گیا ہے۔ ایلومینا سیرامک ​​ای ایس سی کو ویفر ہینڈلنگ اور پروسیسنگ کے دوران اعلی درجہ حرارت، سنکنرن ماحول اور مکینیکل تناؤ کو برداشت کرنے کے لیے بنایا گیا ہے، جو سیمی کنڈکٹر آلات کی پیداوار اور معیار کو یقینی بنانے میں اہم کردار ادا کرتا ہے۔

الیکٹروسٹیٹک چک کے پیچھے بنیادی اصول الیکٹرو اسٹیٹک فورس ہے، جو ویفر کو محفوظ طریقے سے جگہ پر رکھنے کے لیے استعمال ہوتی ہے۔ یہ قوت سیرامک ​​مواد کے اندر سرایت شدہ الیکٹروڈز پر وولٹیج لگانے سے پیدا ہوتی ہے۔ الیکٹرو اسٹاٹک فیلڈ اور ویفر کی سطح پر حوصلہ افزائی چارجز کے درمیان تعامل ایک مضبوط کلیمپنگ فورس بناتا ہے جو چک کی سطح کے خلاف ویفر کو تھامے رکھتا ہے۔ ایلومینا سیرامک ​​ای ایس سی کا ڈیزائن اس بات کو یقینی بناتا ہے کہ یہ کلیمپنگ فورس پورے ویفر میں یکساں طور پر تقسیم ہو، پروسیسنگ کے دوران پھسلن یا نقصان کے خطرے کو کم سے کم کرتا ہے۔

الیکٹرو سٹیٹک چک کی تعمیر میں ایلومینا سیرامک ​​کے استعمال کا ایک اہم فائدہ اس کی غیر معمولی برقی موصل خصوصیات ہیں۔ ایلومینا کی ہائی ڈائی الیکٹرک طاقت برقی خرابی کے خطرے کے بغیر ہائی وولٹیج کے اطلاق کی اجازت دیتی ہے، جو الیکٹرو سٹیٹک فیلڈ کی سالمیت کو برقرار رکھنے کے لیے اہم ہے۔ یہ خاص طور پر پلازما اینچنگ یا کیمیائی بخارات جمع کرنے جیسے عمل میں اہم ہے، جہاں ویفر انتہائی رد عمل والے ماحول کے سامنے آتا ہے اور کلیمپنگ فورس میں کسی قسم کی تبدیلی کے نتیجے میں ویفر کو نقائص یا نقصان پہنچ سکتا ہے۔

اس کی برقی خصوصیات کے علاوہ، ایلومینا سیرامک ​​بہترین تھرمل چالکتا کی نمائش کرتا ہے، جو سیمی کنڈکٹر پروسیسنگ کے دوران پیدا ہونے والی گرمی کے انتظام کے لیے ضروری ہے۔ الیکٹرو سٹیٹک چک کی گرمی کو مؤثر طریقے سے ختم کرنے کی صلاحیت پورے ویفر میں ایک مستحکم درجہ حرارت کو برقرار رکھنے میں مدد کرتی ہے، تھرمل گریڈینٹ کو کم کرتی ہے جو وارپنگ یا تھرمل تناؤ کی دوسری شکلوں کا باعث بن سکتی ہے۔ یہ تھرمل استحکام فوٹو لیتھوگرافی جیسے عمل کی درستگی اور اعادہ کو یقینی بنانے کے لیے اہم ہے، جہاں درجہ حرارت کا معمولی انحراف بھی نتائج کو متاثر کر سکتا ہے۔