ای ایس سی چک

Semicorex ESC چک ویفر کی پوزیشن پر قطعی کنٹرول برقرار رکھنے کے لیے الیکٹرو سٹیٹک قوتوں کا استعمال کرتا ہے، سیمی کنڈکٹر مینوفیکچرنگ ماحول میں اعلیٰ درستگی اور دہرانے کی صلاحیت کو یقینی بناتا ہے۔ ESC چک کا ڈیزائن، اس کے مضبوط مواد کے انتخاب اور حسب ضرورت طول و عرض کے ساتھ، اسے اینچنگ، ڈیپوزیشن، اور آئن امپلانٹیشن جیسے عمل میں ایک ورسٹائل اور ضروری ٹول بناتا ہے۔

ESC چک چک کے الیکٹروڈ اور ویفر کے درمیان ایک ہائی وولٹیج الیکٹرو سٹیٹک فیلڈ لگا کر کام کرتا ہے، ایک پرکشش قوت پیدا کرتا ہے جو ویفر کو اپنی جگہ پر رکھتا ہے۔ ویفر، عام طور پر سلکان یا سلکان کاربائیڈ سے بنا ہوتا ہے، اس قوت کے ذریعے محفوظ کیا جاتا ہے، جس سے ہائی ویکیوم ماحول میں عین مطابق کام کیا جا سکتا ہے۔ یہ نظام مکینیکل کلیمپنگ یا ویکیوم چکنگ کی ضرورت کو ختم کرتا ہے، جو آلودگیوں کو متعارف کروا سکتا ہے یا ویفر کو بگاڑ سکتا ہے۔ ESC چک کا استعمال کرتے ہوئے، مینوفیکچررز نازک من گھڑت عمل کے لیے صاف ستھرا، زیادہ مستحکم ماحول حاصل کر سکتے ہیں، جس سے زیادہ پیداوار اور زیادہ مستقل نتائج حاصل ہوتے ہیں۔

ESC ٹکنالوجی کے اہم فوائد میں سے ایک یہ ہے کہ اس کی سطح پر یکساں طور پر طاقت کی تقسیم کرتے ہوئے ویفر پر مضبوط گرفت برقرار رکھنے کی صلاحیت ہے۔ یہ اس بات کو یقینی بناتا ہے کہ ویفر فلیٹ اور مستحکم رہے، جو کہ یکساں اینچنگ یا جمع کرنے کے لیے بہت ضروری ہے، خاص طور پر ایسے عمل میں جہاں سب مائیکرون درستگی کی ضرورت ہوتی ہے۔ ESC چک کے حسب ضرورت ابعاد اسے معیاری 200mm اور 300mm کے ویفرز سے لے کر تحقیق اور ترقی یا طاق سیمی کنڈکٹر آلات کی تیاری میں استعمال ہونے والے خصوصی، غیر معیاری سائز تک مختلف سائز کے ویفرز کو ایڈجسٹ کرنے کی اجازت دیتے ہیں۔

ESC چک کی تعمیر میں استعمال ہونے والے مواد کو احتیاط سے منتخب کیا جاتا ہے تاکہ عام طور پر سیمی کنڈکٹر پروسیسنگ میں پائے جانے والے سخت ماحول کے ساتھ مطابقت کو یقینی بنایا جا سکے۔ اعلی طہارت سیرامکس ایلومینا ان کی بہترین برقی موصلیت کی خصوصیات، تھرمل استحکام، اور پلازما کے سنکنرن کے خلاف مزاحمت کی وجہ سے استعمال ہوتے ہیں۔ یہ خصوصیات چک کو اعلی درجہ حرارت اور ہائی ویکیوم دونوں حالتوں میں مؤثر طریقے سے کام کرنے کی اجازت دیتی ہیں، کلین روم کے ماحول میں طویل مدتی استعمال کے لیے درکار استحکام اور وشوسنییتا فراہم کرتی ہیں۔

حسب ضرورت ESC چک کا ایک اور اہم فائدہ ہے۔ سیمی کنڈکٹر فیبریکیشن کے عمل کی مخصوص ضروریات پر منحصر ہے، چک کے طول و عرض، الیکٹروڈ کنفیگریشنز، اور مادی کمپوزیشنز کو پروسیس کیے جانے والے آلات اور ویفرز کی منفرد ضروریات کو پورا کرنے کے لیے تیار کیا جا سکتا ہے۔ چاہے ایپلی کیشن میں پلازما ایچنگ، کیمیائی بخارات جمع (CVD)، یا جسمانی بخارات جمع (PVD) شامل ہوں، ESC چک کو کارکردگی کو بہتر بنانے اور پروسیسنگ کے دوران ویفر کی سالمیت کو برقرار رکھنے کے لیے انجنیئر کیا جا سکتا ہے۔