فیوزڈ کوارٹز پیڈسٹل، خاص طور پر اٹامک لیئر ڈیپوزیشن (ALD)، کم پریشر کیمیکل ویپر ڈیپوزیشن (LPCVD)، اور بازی کے عمل میں استعمال کے لیے ڈیزائن کیا گیا ہے، جس سے ویفر سطحوں پر پتلی فلموں کے یکساں جمع ہونے کو یقینی بنایا گیا ہے۔**
سیمی کنڈکٹر فیبریکیشن میں، فیوزڈ کوارٹز پیڈسٹل کوارٹج بوٹ کے لیے ایک معاون ڈھانچے کے طور پر کام کرتا ہے، جس میں ویفرز ہوتے ہیں۔ مستقل درجہ حرارت کو برقرار رکھنے سے، یہ یکساں پتلی فلم جمع کرنے میں مدد کرتا ہے، جو سیمی کنڈکٹر آلات کی کارکردگی اور وشوسنییتا کے لیے ایک اہم عنصر ہے۔ پیڈسٹل اس بات کو یقینی بناتا ہے کہ پراسیس چیمبر کے اندر تھرمل اور روشنی کی تقسیم یکساں ہے، اس طرح جمع کرنے کے عمل کے مجموعی معیار کو بڑھاتا ہے۔
فیوزڈ کوارٹج میٹریل کے فوائد
1. اعلی درجہ حرارت کی مزاحمت
فیوزڈ کوارٹز پیڈسٹل تقریباً 1730 ° C کے نرمی کے نقطہ پر فخر کرتا ہے، جو اسے 1100 ° C سے 1250 ° C کے درجہ حرارت پر طویل استعمال کو برداشت کرنے کی اجازت دیتا ہے۔ مزید یہ کہ، یہ 1450 ° C تک کے درجہ حرارت میں قلیل مدتی نمائش کو برداشت کر سکتا ہے۔
2. سنکنرن مزاحمت
فیوزڈ کوارٹز پیڈسٹل ہائیڈرو فلورک ایسڈ کو چھوڑ کر زیادہ تر تیزابوں کے لیے کیمیائی طور پر غیر فعال ہے۔ اس کی تیزابی مزاحمت سیرامکس سے 30 گنا اور سٹینلیس سٹیل سے 150 گنا زیادہ ہے۔ بلند درجہ حرارت پر، کوئی دوسرا مواد فیوزڈ کوارٹج کے کیمیائی استحکام سے مماثل نہیں ہو سکتا، جو اسے سخت کیمیائی ماحول کے لیے ایک بہترین انتخاب بناتا ہے۔
3. تھرمل استحکام
فیوزڈ کوارٹز پیڈسٹل کی نمایاں خصوصیات میں سے ایک اس کا کم سے کم تھرمل ایکسپینشن گتانک ہے۔ یہ خاصیت اسے کریکنگ کے بغیر درجہ حرارت کی شدید تبدیلیوں کو برداشت کرنے کی اجازت دیتی ہے۔ مثال کے طور پر، اسے تیزی سے 1100 ° C تک گرم کیا جا سکتا ہے اور پھر اسے کمرے کے درجہ حرارت پر پانی میں بغیر کسی نقصان کے ڈبویا جا سکتا ہے- جو کہ ہائی سٹریس مینوفیکچرنگ کے عمل کے لیے ایک لازمی خصوصیت ہے۔
مینوفیکچرنگ کا عمل
فیوزڈ کوارٹز پیڈسٹل کے لیے مینوفیکچرنگ کے عمل کو انتہائی احتیاط سے کنٹرول کیا جاتا ہے تاکہ اعلیٰ ترین معیار کو یقینی بنایا جا سکے۔ پیڈسٹل 10,000 یا اس سے زیادہ کلاس کے کلین روم ماحول میں تھرموفارمنگ اور ویلڈنگ کے عمل کے ذریعے تیار کیے جاتے ہیں۔ انتہائی صاف پانی (18 MΩ) کے ساتھ بعد میں صفائیمزید مصنوعات کی پاکیزگی اور کارکردگی کو یقینی بناتا ہے۔ ہر فیوزڈ کوارٹز پیڈسٹل کو سیمی کنڈکٹر فیبریکیشن کی سخت ضروریات کو پورا کرنے کے لیے کلاس 1,000 یا اس سے اوپر والے کلین روم میں سخت معائنہ، صفائی، اور پیکیجنگ سے گزرنا پڑتا ہے۔
اعلی طہارت مبہم کوارٹج مواد
گرمی اور روشنی کو مؤثر طریقے سے روکنے کے لیے، فیوزڈ کوارٹز پیڈسٹل اعلیٰ طہارت کے مبہم کوارٹج مواد کا استعمال کرتا ہے۔ اس مواد کی منفرد خصوصیات پیڈسٹل کی پروسیس چیمبر کے اندر ایک مستحکم اور یکساں درجہ حرارت برقرار رکھنے کی صلاحیت کو بڑھاتی ہیں، اس طرح ویفرز پر پتلی فلم کے جمع ہونے کے مستقل معیار کو یقینی بناتی ہے۔
درخواستوں کی وسیع رینج
فیوزڈ کوارٹز پیڈسٹل کی غیر معمولی خصوصیات اسے سیمی کنڈکٹر انڈسٹری کے اندر متعدد ایپلی کیشنز کے لیے موزوں بناتی ہیں۔ ALD کے عمل میں، یہ جوہری سطح پر پتلی فلم کی نمو کے عین مطابق کنٹرول کی حمایت کرتا ہے، جو جدید سیمی کنڈکٹر آلات کی تیاری کے لیے ضروری ہے۔ LPCVD کے عمل کے دوران، پیڈسٹل کی تھرمل استحکام اور روشنی کو روکنے کی صلاحیتیں یکساں فلم جمع کرنے، ڈیوائس کی کارکردگی اور پیداوار کو بہتر بنانے میں معاون ہیں۔
پھیلاؤ کے عمل میں، فیوزڈ کوارٹز پیڈسٹل کی اعلی درجہ حرارت کی مزاحمت اور کیمیائی جڑت سیمی کنڈکٹر مواد کی قابل اعتماد اور مستقل ڈوپنگ کو یقینی بناتی ہے۔ یہ عمل سیمی کنڈکٹر آلات کی برقی خصوصیات کی وضاحت کے لیے اہم ہیں، اور بہترین نتائج کے حصول کے لیے اعلیٰ معیار کے مواد جیسے فیوزڈ کوارٹز کا استعمال ضروری ہے۔