سیرامک ​​ہیٹر

سیمیکمڈکٹر مینوفیکچرنگ کے فرنٹ اینڈ پروسیس (فول) میں ،وافرعمل کے مختلف علاج کے تحت ہونے کی ضرورت ہے ، خاص طور پر ویفر کو کسی خاص درجہ حرارت پر گرم کرنے کی ضرورت ہے ، اور اس میں سخت تقاضے ہیں ، کیونکہ درجہ حرارت کی یکسانیت سے مصنوعات کی پیداوار پر بہت اہم اثر پڑتا ہے۔ ایک ہی وقت میں ، سیمیکمڈکٹر آلات کو ویکیوم ، پلازما اور کیمیائی گیسوں کی موجودگی میں کام کرنے کی ضرورت ہے ، جس کے لئے سیرامک ​​ہیٹر کے استعمال کی ضرورت ہوتی ہے۔سیرامک ​​ہیٹرسیمیکمڈکٹر پتلی فلم جمع کرنے کے سازوسامان کے اہم اجزاء ہیں۔ وہ اس عمل کے چیمبر میں استعمال ہوتے ہیں اور براہ راست ویفر سے رابطہ کرتے ہیں اور ویفر کو مستحکم اور یکساں عمل کے درجہ حرارت کو حاصل کرنے کے ل and اور پتلی فلموں کو تیار کرنے کے لئے ویفر کی سطح پر اعلی صحت سے متعلق رد عمل کا اظہار کرتے ہیں۔

کیونکہ سیرامک ​​ہیٹر کے ذریعہ استعمال ہونے والے پتلی فلم جمع کرنے والے سامان میں اعلی درجہ حرارت شامل ہوتا ہے ، لہذا سیرامک ​​مواد بنیادی طور پر ایلومینیم نائٹریڈ (ALN) پر مبنی ہوتا ہے۔ کیونکہ ایلومینیم نائٹرائڈ میں برقی موصلیت اور عمدہ تھرمل چالکتا ہے۔ اس کے علاوہ ، اس کا تھرمل توسیع کا گتانک سلیکن کے قریب ہے ، اور اس میں پلازما کی بہترین مزاحمت ہے ، یہ سیمیکمڈکٹر آلات کے جزو کے طور پر استعمال کے ل very بہت موزوں ہے۔

الیکٹرو اسٹاٹک چکس (ای ایس سی) بنیادی طور پر اینچنگ آلات ، بنیادی طور پر ایلومینیم آکسائڈ (AL2O3) میں استعمال ہوتے ہیں۔ چونکہ الیکٹرو اسٹاٹک چک خود بھی ایک ہیٹر پر مشتمل ہوتا ہے ، جو مثال کے طور پر خشک اینچنگ کو لے جاتا ہے ، لہذا یہ ضروری ہے کہ ایک مخصوص درجہ حرارت کو برقرار رکھنے کے لئے -70 ℃ ~ 100 of کی حد میں ایک مخصوص درجہ حرارت پر ویفر کو کنٹرول کرنا ضروری ہے۔ لہذا ، ویفر درجہ حرارت کو درست طریقے سے کنٹرول کرنے کے لئے ویفر کو الیکٹرو اسٹاٹک چک کے ذریعہ گرم یا ختم کرنے کی ضرورت ہے۔ اس کے علاوہ ، ویفر سطح کی یکسانیت کو یقینی بنانے کے ل the ، الیکٹرو اسٹاٹک چک کو اکثر درجہ حرارت کے کنٹرول زون میں اضافہ کرنے کی ضرورت ہوتی ہے تاکہ عمل کی پیداوار کو بہتر بنانے کے ل each ہر درجہ حرارت کنٹرول زون کے درجہ حرارت کو الگ الگ کنٹرول کیا جاسکے۔ یقینا ، ، ​​ٹکنالوجی کی ترقی کے ساتھ ، روایتی سیرامک ​​ہیٹر اور الیکٹرو اسٹاٹک چکس کے مابین فرق دھندلا ہونا شروع ہوگیا ہے۔ کچھ سیرامک ​​ہیٹر میں اعلی درجہ حرارت حرارتی اور الیکٹرو اسٹاٹک جذب کے دوہری افعال ہوتے ہیں۔

سیرامک ​​ہیٹر میں ایک سیرامک ​​اڈہ شامل ہے جو ویفر اور ایک بیلناکار سپورٹ باڈی رکھتا ہے جو اس کی پشت پر تائید کرتا ہے۔ سیرامک ​​اڈے کے اندر یا سطح پر ، حرارتی نظام کے لئے مزاحمتی عنصر (حرارتی پرت) کے علاوہ ، ریڈیو فریکوینسی الیکٹروڈ (ریڈیو فریکوینسی پرت) بھی ہے۔ تیزی سے حرارتی اور ٹھنڈک کے حصول کے ل the ، سیرامک ​​اڈے کی موٹائی پتلی ہونی چاہئے ، لیکن بہت پتلی بھی سختی کو کم کردے گی۔ ہیٹر کا سپورٹ باڈی عام طور پر کسی ایسے مواد سے بنا ہوتا ہے جس میں تھرمل توسیع گتانک ہوتا ہے جیسے بیس کی طرح ہوتا ہے ، لہذا سپورٹ باڈی اکثر ایلومینیم نائٹرائڈ سے بھی بنا ہوتا ہے۔ ہیٹر نچلے حصے میں شافٹ (شافٹ) مشترکہ کی ایک انوکھی ڈھانچہ اپناتا ہے ، جو ٹرمینلز اور تاروں کو پلازما اور سنکنرن کیمیائی گیسوں کے اثرات سے بچا سکتا ہے۔ ہیٹر کے یکساں درجہ حرارت کو یقینی بنانے کے لئے سپورٹ باڈی میں گرمی کی ترسیل گیس انلیٹ اور آؤٹ لیٹ پائپ فراہم کی جاتی ہے۔ بیس اور سپورٹ باڈی کیمیائی طور پر بانڈنگ پرت کے ساتھ بندھے ہوئے ہیں۔

سیمیکوریکس اعلی معیار کی پیش کش کرتا ہےسیرامک ​​ہیٹر. اگر آپ کے پاس کوئی پوچھ گچھ ہے یا آپ کو اضافی تفصیلات کی ضرورت ہے تو ، براہ کرم ہم سے رابطہ کرنے میں سنکوچ نہ کریں۔

فون # +86-13567891907 سے رابطہ کریں

ای میل: سیلز@semicorex.com