خشک اینچنگ کے لئے سلیکن اجزاء

خشک اینچنگ کا سامان اینچنگ کے لئے کوئی گیلے کیمیکل استعمال نہیں کرتا ہے۔ یہ بنیادی طور پر چھوٹے سے تھوڑے سوراخ والے اوپری الیکٹروڈ کے ذریعے چیمبر میں ایک گیس ایچنٹ متعارف کراتا ہے۔ اوپری اور نچلے الیکٹروڈ کے ذریعہ پیدا ہونے والا بجلی کا میدان گیسوں کے ایٹکنٹ کو آئنائز کرتا ہے ، جو اس کے بعد ویفر پر کھڑا ہونے والے مواد کے ساتھ رد عمل کا اظہار کرتا ہے ، جس سے اتار چڑھاؤ مادے پیدا ہوتے ہیں۔ اس کے بعد یہ اتار چڑھاؤ مادے کو رد عمل چیمبر سے نکالا جاتا ہے ، جس سے اینچنگ کے عمل کو مکمل کیا جاتا ہے۔

خشک اینچنگ رد عمل ایک عمل کے چیمبر کے اندر ہوتا ہے ، جو بنیادی طور پر پر مشتمل ہوتا ہےسلیکن اجزاء، بشمول سلیکن راستہ کی انگوٹھی ، سلیکن بیرونی انگوٹھی ، سلیکن شاور ہیڈ ، سلیکن فوکس کی انگوٹی ، اور سلیکن شیلڈ کی انگوٹھی۔

ایک خشک اینچنگ چیمبر میں ، سلیکن ویفر عام طور پر سلیکن فوکس رنگ میں رکھا جاتا ہے۔ یہ مجموعہ مثبت الیکٹروڈ کے طور پر کام کرتا ہے ، جو اینچنگ چیمبر کے نیچے کھڑا ہوتا ہے۔ چیمبر کے اوپر واقع گھنے چھوٹے چھوٹے سوراخوں والی ایک سلیکن ڈسک ، جو منفی الیکٹروڈ کا کام کرتی ہے۔ سلیکن بیرونی رنگ اوپری الیکٹروڈ اور دیگر متعلقہ اجزاء کی حمایت کرتا ہے۔ اوپری اور نچلے الیکٹروڈ پلازما کے ساتھ براہ راست رابطے میں ہیں۔ جب پلازما سلیکن ویفر کو کھڑا کرتا ہے تو ، یہ اوپری اور نچلے سلیکن الیکٹروڈ کو بھی پہنتا ہے۔ اینچنگ کے عمل کے دوران کم الیکٹروڈ (فوکسنگ رنگ) آہستہ آہستہ گھونپتا ہے ، جب موٹائی کسی خاص سطح تک پہنچ جاتی ہے تو متبادل کی ضرورت ہوتی ہے۔ مزید برآں ، اوپری الیکٹروڈ (شاور ہیڈ) میں یکساں طور پر تقسیم شدہ سوراخ پلازما کے ذریعہ خراب ہوتے ہیں ، جس سے سوراخ کے سائز میں مختلف حالت ہوتی ہے۔ ایک بار جب یہ تغیرات کسی خاص سطح پر پہنچ جاتے ہیں تو ، انہیں تبدیل کرنے کی ضرورت ہوتی ہے۔ عام طور پر ، استعمال کے ہر 2-4 ہفتوں میں متبادل سائیکل کی ضرورت ہوتی ہے۔

یہ سیکشن خاص طور پر سلیکن فوکسنگ رنگ (لوئر الیکٹروڈ) کے کردار کی وضاحت کرتا ہے۔ یہ پلازما میان کی موٹائی کو کنٹرول کرتا ہے ، اور اس طرح آئن بمباری کی یکسانیت کو بہتر بناتا ہے۔ پلازما اور برتن کی دیوار کے درمیان غیر غیر جانبدار خطہ پلازما میان ، پلازما کے اندر ایک اہم اور انوکھا خطہ ہے۔ پلازما مثبت آئنوں اور الیکٹرانوں کی مساوی تعداد پر مشتمل ہے۔ چونکہ الیکٹران آئنوں سے تیز تر سفر کرتے ہیں ، لہذا وہ پہلے برتن کی دیوار تک پہنچ جاتے ہیں۔ پلازما پر برتن کی دیوار کے مقابلہ میں مثبت طور پر چارج کیا جاتا ہے۔ میان الیکٹرک فیلڈ پلازما (مثبت منفی کشش) کے اندر آئنوں کو تیز کرتا ہے ، جس سے آئنوں کو اعلی توانائی فراہم ہوتی ہے۔ یہ اعلی توانائی آئن فلوکس کوٹنگ ، اینچنگ اور اسپٹرنگ کے قابل بناتا ہے۔

ویفر کی رکاوٹ پلازما میان کی موٹائی کو متاثر کرتی ہے (کم رکاوٹ ، موٹا میان)۔ ویفر کے مرکز میں رکاوٹ اس کنارے سے اس سے مختلف ہے ، جس کے نتیجے میں پلازما میان کی موٹائی ناہموار ہوجاتی ہے۔ یہ ناہموار پلازما میان آئنوں کو تیز کرتی ہے لیکن آئن بمبارڈمنٹ پوائنٹ کو بھی موڑ دیتی ہے ، جس سے اینچنگ کی درستگی کو کم کیا جاتا ہے۔ لہذا ، پلازما میان کی موٹائی کو کنٹرول کرنے کے لئے ایک توجہ مرکوز رنگ کی ضرورت ہے ، اس طرح آئن بمباری کی سمت کو بہتر بنایا جائے اور اینچنگ کی درستگی کو بہتر بنایا جاسکے۔

مثال کے طور پر ویفر کے ارد گرد فوکس کی انگوٹھی لینا ، جبکہ کوارٹج ، اس کی اعلی پاکیزگی کے ساتھ ، دھات کی آلودگی کو کم کرنے کے لئے زیادہ سے زیادہ ہے ، یہ فلورائڈ گیس پلازما میں تیزی سے خراب ہوتا ہے ، جس کے نتیجے میں ایک مختصر عمر ہوتی ہے۔ اس سے نہ صرف اخراجات میں اضافہ ہوتا ہے بلکہ متبادل کی وجہ سے بھی ٹائم ٹائم کی ضرورت ہوتی ہے ، جس سے سامان کے اپ ٹائم کو کم کیا جاتا ہے۔ سیرامک ​​، جبکہ کافی طویل عمر کے ہونے کے باوجود ، اعلی توانائی کے آئن بمباری کا سامنا کرنا پڑتا ہے۔ پلازما میں فلورین کے ساتھ اسپٹرڈ ایلومینیم کا رد عمل ظاہر ہوتا ہے تاکہ غیر مستحکم فلورائڈس (جیسے ایلومینیم فلورائڈ) تشکیل دی جاسکے۔ اگر ان کو ہٹایا نہیں جاسکتا ہے اور اسے آلہ کی سطح پر جمع نہیں کیا جاسکتا ہے یا وافر کنارے پر فوٹوورسٹسٹ ، وہ پیدا شدہ فلورائڈز اور فوٹوورسٹ کو بعد میں ہٹانے میں رکاوٹ بنتے ہیں ، جس سے مصنوعات کی پیداوار کو متاثر ہوتا ہے۔ زیادہ مناسب مواد سنگل کرسٹل سلیکن یا سلیکن کاربائڈ ہیں۔ تاہم ، سنگل کرسٹل سلیکن سستا ہے لیکن اس کی عمر مختصر ہے ، جبکہ سلیکن کاربائڈ زیادہ مہنگا ہے لیکن اس کی عمر قدرے لمبی ہے۔ ان دونوں اختیارات کے مابین تجارت کا انحصار مخصوص حالات پر ہے۔ مثال کے طور پر ، اگر سامان کا استعمال زیادہ ہے اور اپ ٹائم اہم ہے تو ، سلیکن کاربائڈ کو استعمال کیا جانا چاہئے۔ اگر جزو کے لباس اور آنسو کے اخراجات زیادہ نہیں ہیں تو ، سنگل کرسٹل سلیکن کو استعمال کیا جانا چاہئے۔

سیمیکوریکس اعلی معیار کی پیش کش کرتا ہےسلیکن پرزے. اگر آپ کے پاس کوئی پوچھ گچھ ہے یا آپ کو اضافی تفصیلات کی ضرورت ہے تو ، براہ کرم ہم سے رابطہ کرنے میں سنکوچ نہ کریں۔

فون # +86-13567891907 سے رابطہ کریں

ای میل: سیلز@semicorex.com