اعلی کے آخر میں الیکٹرو اسٹاٹک چک کے لئے سطح کا علاج

The الیکٹرو اسٹاٹک چکسیمیکمڈکٹر مینوفیکچرنگ کے میدان میں یکساں الیکٹرو اسٹاٹک خارج ہونے والے مادہ ، گرمی کی ترسیل اور ویفر جذب اور فکسشن جیسے متعدد افعال کا کام انجام دیتا ہے۔ ESC کے بنیادی کاموں میں سے ایک یہ ہے کہ انتہائی آپریٹنگ حالات جیسے اعلی ویکیوم ، مضبوط پلازما ، اور درجہ حرارت کی وسیع رینج جیسے انتہائی آپریٹنگ حالات کے تحت حیرت انگیز طور پر اشتہار کرنا ہے۔

جو واقعی ان کی کارکردگی کا تعین کرتا ہے وہ بیرونی ڈھانچہ یا بیس مادی فارمولا نہیں ہے ، بلکہ سطح کے علاج معالجے کا عمل ہے۔ پیشہ ورانہ سطح کے علاج کے بغیر ، آپریشن کے دوران درج ذیل مسائل کا سامنا کرنا پڑے گا۔

1. پلازما کٹاؤ اور دھات آئن آلودگی

غیر محفوظ شدہ سیرامک ​​سطحیں اینچنگ یا سی وی ڈی عمل کی ترتیبات میں پلازما کٹاؤ کا خطرہ ہیں۔ اس قسم کا کٹاؤ براہ راست دھات کے آئنوں کی رہائی یا سیرامک ​​ذرات کی بہانے کا نتیجہ بن سکتا ہے ، جس سے اس سے وافر کو آلودہ کیا جاتا ہے۔

2. غیر مساوی تھرمل چالکتا اور وار پیج اخترتی

کسی حد تک سطحوں یا ناقص علاج کے نتیجے میں ویفر اور اس کے مابین ناہموار رابطہ ہوتا ہےESC، گرمی کی ترسیل میں رکاوٹ اور سی ڈی یکسانیت کو متاثر کرنا۔

3. غیر مستحکم الیکٹروسٹیٹک جذب

سطح کی موصلیت کی کارکردگی کا غلط کنٹرول یا الیکٹرو اسٹاٹک چک کی چالکتا آسانی سے ناکافی اشتہارپشن فورس یا ضرورت سے زیادہ جذب کا باعث بن سکتی ہے ، بالآخر براہ راست ویفر پروسیسنگ کی پیداوار کو متاثر کرتی ہے۔

اعلی کے آخر میں ESCs کی سطح اکثر ایک جامع کثیر پرت کے ڈھانچے کے ڈیزائن کو اپناتی ہے ، جو صحیح اعلی کارکردگی کا انضمام حاصل کرنے کے لئے کوٹنگز کے ذریعہ عملی علاقوں کو خاص طور پر منظم کرتی ہے۔

اعلی کے آخر میں ESCs کی سطح کے علاج کی عام ٹیکنالوجیز:

1. فلوروپولیمر غیر چپکنے والی کوٹنگز (جیسے پی ٹی ایف ای اور پی ایف اے)

اس طرح کی کوٹنگ خاص طور پر کم درجہ حرارت کے عمل کے ماحول کے ل appropriate مناسب ہے کیونکہ اس کی کم سطح کی آزاد توانائی کی وجہ سے ، جو فوٹوورسٹسٹ اوشیشوں کے جذب کو مؤثر طریقے سے روکتا ہے۔

2. ڈائمنڈ نما کاربن (DLC) کوٹنگز

اعلی سختی ، پلازما مزاحمت ، اور کم رگڑ کے گتانک کے ساتھ ، وہ اینٹی ایریشن اور اینٹی پارٹیکل لاتعلقی کے سامان کے ل suitable موزوں ہیں۔

3. پی وی ڈی کنڈکٹیو سیرامک ​​فلمیں (جیسے CRSIN اور TIN)

اس قسم کی کوٹنگ کسی خاص علاقے میں ایک مستحکم کوندکٹو راستہ بنا سکتی ہے ، اور اس طرح سطح کے معاوضوں کے یکساں خارج ہونے والے مادہ کو عین مطابق کنٹرول کرکے مقامی چارج جمع کرنے کے مسئلے سے مؤثر طریقے سے بچ سکتی ہے۔

4.کموسائٹ تھرمل کوندکٹو کوٹنگز (جیسے ڈائمنڈ پاؤڈر اور فلوروپولیمر ہائبرڈ کوٹنگ)

اس طرح کی کوٹنگ غیر چپکنے والی خصوصیات کو تھرمل چالکتا کے ساتھ جوڑتی ہے ، اور اس کی مجموعی کارکردگی اعلی صحت سے متعلق تھرمل کنٹرول ESC کی درخواست کی ضروریات کو عین مطابق مل سکتی ہے۔