اینچنگ اور اینچڈ مورفولوجی

سیمیکمڈکٹر چپ مینوفیکچرنگ کے عمل میں ، ہم چاول کے دانے پر فلک بوس عمارت بنانے کی طرح ہیں۔ لتھوگرافی مشین شہر کے منصوبہ ساز کی طرح ہے ، "لائٹ" کا استعمال کرتے ہوئے ویفر پر عمارت کا نقشہ کھینچنے کے لئے۔ اگرچہ اینچنگ ایک ایسے مجسمہ کی طرح ہے جس میں صحت سے متعلق ٹولز والے ایک مجسمے کی طرح ہے ، جو بلیو پرنٹ کے مطابق چینلز ، سوراخوں اور لائنوں کو درست طریقے سے تیار کرنے کے لئے ذمہ دار ہے۔ اگر آپ احتیاط سے ان "چینلز" کے کراس سیکشن کا مشاہدہ کرتے ہیں تو آپ کو معلوم ہوگا کہ ان کی شکلیں یکساں نہیں ہیں۔ کچھ ٹراپیزائڈیل (اوپر کی طرف وسیع اور نیچے کی طرف تنگ) ہیں ، جبکہ دیگر کامل مستطیل (عمودی سائیڈ وال) ہیں۔ یہ شکلیں صوابدیدی نہیں ہیں۔ ان کے پیچھے جسمانی اور کیمیائی اصولوں کا ایک پیچیدہ باہمی تعل .ق ہے ، جو چپ کی کارکردگی کا براہ راست تعین کرتا ہے۔

I. اینچنگ کے بنیادی اصول: جسمانی اور کیمیائی اثرات کا ایک مجموعہ

اینچنگ ، ​​سیدھے الفاظ میں ، فوٹوورسٹ کے ذریعہ محفوظ کردہ مادے کو منتخب کرنا ہے۔ یہ بنیادی طور پر دو قسموں میں تقسیم ہے:

1. گیلے اینچنگ: اینچنگ کے لئے کیمیائی سالوینٹس (جیسے تیزاب اور الکلیس) استعمال کرتا ہے۔ یہ بنیادی طور پر ایک مکمل طور پر کیمیائی رد عمل ہے ، اور اینچنگ سمت آئسوٹروپک ہے - یعنی یہ تمام سمتوں (سامنے ، پیچھے ، بائیں ، دائیں ، اوپر ، نیچے) میں اسی شرح سے آگے بڑھتا ہے۔

2. خشک اینچنگ (پلازما اینچنگ): آج کل یہ مرکزی دھارے میں شامل ٹکنالوجی ہے۔ ویکیوم چیمبر میں ، عمل گیسیں (جیسے فلورین یا کلورین پر مشتمل گیسیں) متعارف کروائی گئیں ، اور پلازما ریڈیو فریکوینسی بجلی کی فراہمی کے ذریعہ تیار کیا جاتا ہے۔ پلازما میں اعلی توانائی کے آئنوں اور فعال فری ریڈیکلز پر مشتمل ہے ، جو مل کر اینچڈ سطح پر کام کرتے ہیں۔

خشک اینچنگ مختلف شکلیں خاص طور پر تشکیل دے سکتی ہے کیونکہ یہ لچکدار طریقے سے "جسمانی حملہ" اور "کیمیائی حملہ" کو جوڑ سکتی ہے۔

کیمیائی ساخت: فعال آزاد ریڈیکلز کے لئے ذمہ دار ہے۔ وہ ویفر سطح کے مواد کے ساتھ کیمیائی رد عمل کا اظہار کرتے ہیں ، جس سے اتار چڑھاؤ کی مصنوعات پیدا ہوتی ہیں جو اس کے بعد ہٹا دی جاتی ہیں۔ یہ حملہ آاسوٹروپک ہے ، جس کی مدد سے اسے "نچوڑ" اور دیر سے اٹچ بناتا ہے ، آسانی سے ٹریپیزائڈیل شکلیں تشکیل دیتا ہے۔

جسمانی ساخت: مثبت طور پر چارج شدہ اعلی توانائی کے آئنوں ، جو بجلی کے میدان کے ذریعہ تیز رفتار سے ، ویفر سطح پر کھڑے ہوکر بمباری کرتے ہیں۔ کسی سطح کی سینڈ بلاسٹنگ کی طرح ، یہ "آئن بمباری" انیسوٹروپک ہے ، بنیادی طور پر عمودی طور پر نیچے کی طرف ، اور "سیدھی لائن" سائیڈ والز کو کھڑا کرسکتا ہے۔

ii. دو کلاسک پروفائلز کو سمجھنے: ٹریپیزائڈز اور آئتاکار پروفائلز کی پیدائش

چین کی چکن ایوا ویکیوم سکڑ فلم ڈونگھوئی کے ذریعہ خاص طور پر چکن پیکیجنگ کے لئے تیار کی گئی ہے۔ چکن کے گوشت کی نازک اور تباہ کن خصوصیات کے پیش نظر ، اعلی لچکدار ایوا مواد کو اپنایا گیا ہے تاکہ یہ یقینی بنایا جاسکے کہ چکن ایوا ویکیوم سکڑ فلم چکن کی چھاتی کی فلیٹ شکل ، چکن کی ٹانگ کی بونڈ ڈھانچہ اور چکن کے پنکھوں کے مشترکہ حصوں کو قریب سے فٹ کر سکتی ہے ، اور حرارتی اور سنکچن کے بعد کوئی شیکن یا خلا نہیں ہے ، جو مکمل طور پر ویکوم پیکجنگ کے سیلنگ اثر کو محسوس کرتا ہے۔

تشکیل کا اصول: جب کیمیائی اینچنگ اس عمل پر حاوی ہوتی ہے ، جبکہ جسمانی بمباری کمزور ہوتی ہے ، مندرجہ ذیل ہوتا ہے: اینچنگ نہ صرف نیچے کی طرف بڑھتی ہے بلکہ دیر سے فوٹوورسٹ ماسک کے نیچے والے علاقے کو بھی خراب کرتی ہے اور بے نقاب سائیڈ والز کو بھی خراب کردیتی ہے۔ اس کی وجہ سے محفوظ ماسک کے نیچے کا مواد آہستہ آہستہ "کھوکھلا ہوا" ہوجاتا ہے ، جس سے ایک ڈھلوان والا سائیڈ وال تشکیل دیا جاتا ہے جو اوپر میں وسیع تر اور نیچے کی طرف تنگ ہوتا ہے ، یعنی ایک ٹریپیزائڈ۔

اچھ step ے مرحلے کی کوریج: اس کے بعد کی پتلی فلم جمع کرنے کے عمل میں ، ٹریپیزائڈ کی ڈھلتی ہوئی ساخت مادوں (جیسے دھاتوں) کو یکساں طور پر ڈھانپنے میں آسانی بناتی ہے ، کھڑی کونوں پر تحلیل سے گریز کرتے ہیں۔

تناؤ میں کمی: ڈھلنے والا ڈھانچہ دباؤ کو بہتر طور پر منتشر کرتا ہے ، جس سے آلہ کی وشوسنییتا کو بہتر بنایا جاتا ہے۔

اعلی عمل رواداری: عمل درآمد میں نسبتا easy آسان۔

2. آئتاکار (عمودی پروفائل) - بنیادی طور پر جسمانی حملہ

تشکیل کا اصول: جب جسمانی آئن بمباری عمل پر حاوی ہوجاتی ہے ، اور کیمیائی ساخت کو احتیاط سے کنٹرول کیا جاتا ہے تو ، ایک آئتاکار پروفائل تشکیل دیا جاتا ہے۔ اعلی توانائی کے آئنوں ، جیسے لاتعداد چھوٹے چھوٹے منصوبوں کی طرح ، ویفر سطح پر تقریبا عمودی طور پر بمباری کرتے ہیں ، جس سے انتہائی عمودی اینچنگ کی شرحیں حاصل ہوتی ہیں۔ اس کے ساتھ ہی ، آئن بمباری ایک "گزرنے والی پرت" (جیسے ، بائی پروڈکٹ کو اینچنگ کے ذریعہ تشکیل دی گئی) کی تشکیل کرتی ہے۔ یہ حفاظتی فلم کیمیائی فری ریڈیکلز سے پس منظر کے سنکنرن کے خلاف مؤثر طریقے سے مزاحمت کرتی ہے۔ بالآخر ، اینچنگ صرف عمودی طور پر نیچے کی طرف بڑھ سکتی ہے ، جس میں تقریبا 90 90 ڈگری سائیڈ والز کے ساتھ آئتاکار ڈھانچہ تیار کیا جاسکتا ہے۔

تناؤ میں کمی: ڈھلنے والا ڈھانچہ دباؤ کو بہتر طور پر منتشر کرتا ہے ، جس سے آلہ کی وشوسنییتا کو بہتر بنایا جاتا ہے۔

اعلی وفاداری: یہ فوٹولیتھوگرافک بلیو پرنٹ کے ساتھ زیادہ سے زیادہ مستقل مزاجی کو برقرار رکھتا ہے ، جس سے آلہ کے درست اہم طول و عرض (سی ڈی) کو یقینی بنایا جاتا ہے۔

محفوظ علاقہ: عمودی ڈھانچے آلات کو کم سے کم پیر کے نشان میں تیار کرنے کی اجازت دیتے ہیں ، جو چپ منیٹورائزیشن کی کلید ہے۔

سیمیکوریکس صحت سے متعلق پیش کرتا ہےسی وی ڈی ایس آئی سی اجزاءاینچنگ میں اگر آپ کے پاس کوئی پوچھ گچھ ہے یا آپ کو اضافی تفصیلات کی ضرورت ہے تو ، براہ کرم ہم سے رابطہ کرنے میں سنکوچ نہ کریں۔

فون # +86-13567891907 سے رابطہ کریں

ای میل: سیلز@semicorex.com