عمودی بھٹیوں کو مرکزی دھارے کا انتخاب کیوں بن گیا ہے？

عمودی بھٹی عمودی طور پر اعلی درجہ حرارت والے حرارتی آلات ہیں جو خاص طور پر سیمیکمڈکٹر مینوفیکچرنگ کے حرارت کے علاج کے لئے تیار کی گئی ہیں۔ مکمل عمودی فرنس سسٹم اعلی درجہ حرارت کے خلاف مزاحم پر مشتمل ہےفرنس ٹیوب، حرارتی عنصر ، درجہ حرارت پر قابو پانے کا نظام ، گیس کنٹرول سسٹم اور ویفر سپورٹ ڈھانچہ۔ اعلی درجہ حرارت کی صورتحال میں خاص گیسوں (جیسے آکسیجن ، ہائیڈروجن ، نائٹروجن ، وغیرہ) کے تعارف کے ذریعے عمودی بھٹیوں میں سلیکن آکسیکرن ، بازی ، انیلنگ ، اینیلنگ ، انیلنگ ، اور جوہری پرت جمع کرنے (ALD) سمیت اہم سیمیکمڈکٹر عمل کی سہولت مل سکتی ہے۔

سیمیکمڈکٹر مینوفیکچرنگ میں گرمی کے علاج کے سازوسامان کے ارتقا میں ، عمودی بھٹیوں کو اپنے تین بنیادی فوائد کی وجہ سے گرمی کے علاج کے عمل کے لئے مرکزی دھارے کا انتخاب بن گیا ہے۔

1. جگہ کے استعمال کے نقطہ نظر سے ، عمودی بھٹی عمودی نلیاں اور عمودی ویفر کشتیاں کے امتزاج ڈیزائن کو اپناتے ہیں۔ اسی پروسیسنگ کی گنجائش کے تحت ، ان کی منزل کی جگہ کی ضرورت افقی بھٹیوں کی صرف 50 ٪ -60 ٪ ہے ، خاص طور پر 450 ملی میٹر ویفر توسیع کے رجحان کے تحت کلین رومز کے فی یونٹ رقبے میں پیداواری صلاحیت کی کثافت کو بڑھانے کے لئے موزوں ہے۔ ماڈیولر عمودی اسٹیکنگ کے ذریعہ ، ایک ہی آلہ کو سنبھالنے والے ویفرز کی تعداد 40 ٪ کا اضافہ کرچکی ہے ، اور فی یونٹ ایریا آؤٹ پٹ کی کارکردگی افقی بھٹی کے مقابلے میں نمایاں طور پر بہتر ہے۔

2. عمودی بھٹی تین نکاتی نالی کی حمایت کے ذریعہ افقی ویفر پوزیشنوں کو حاصل کرتی ہے۔ عمودی ہوا کے بہاؤ کے ساتھ مل کر ، یہ ترتیب بھٹی کے اندر درجہ حرارت کے زیادہ یکساں تدریج اور توازن تھرمل تناؤ کی تقسیم فراہم کرتی ہے ، جس سے ویفر وار پیج کے خطرے کو 30 فیصد سے زیادہ کاٹا جاتا ہے۔ یہ خاص طور پر تھرمل حساس عمل کے ل suitable موزوں ہے ، جیسے ہائی کے ڈائی الیکٹرک جمع اور آئن امپلانٹیشن اینیلنگ۔ اس کے برعکس ، افقی بھٹیوں کی عمودی جگہ کا تعین ویفر کناروں پر درجہ حرارت کی مختلف حالتوں کا سبب بنتا ہے اور مقامی تناؤ کی حراستی کے خطرے کو بڑھانے کا خطرہ ہے۔

3. خودکار ویفر ہینڈلنگ کی سہولت عمودی بھٹیوں کا ایک اور اہم فائدہ ہے۔ افقی بھٹیوں کو لینے کے لئے روبوٹک ہتھیاروں کی ضرورت ہوتی ہےویفرزعمودی واقفیت میں ، جو پوزیشننگ کی درستگی اور کلیمپنگ فورس کنٹرول پر سخت ضروریات کا مطالبہ کرتا ہے۔ وہ آپریشنل تضادات کی وجہ سے ویفر ٹوٹ پھوٹ کے خطرے میں اضافہ کرتے ہیں۔ عمودی بھٹی میں ، ویفر افقی طور پر رکھے جاتے ہیں۔ روبوٹک بازو ویکیوم جذب کے ذریعے رابطے سے پاک ہینڈلنگ حاصل کرسکتا ہے۔ بصری پوزیشننگ سسٹم کے ساتھ مل کر ، ہینڈلنگ کی درستگی کو ± 0.1 ملی میٹر تک بہتر بنایا گیا ہے ، جس سے آٹومیشن کی مجموعی سطح میں بہت اضافہ ہوتا ہے۔