تھرمل آکسیکرن کی اہم اقسام

اعلی درجے کے سیمی کنڈکٹر ڈیوائس فیبریکیشن میں، SiO₂ فلمیں عام طور پر سبسٹریٹ سطح کے علاج کے لیے آکسیڈیشن کے عمل کے ذریعے بنتی ہیں، اور ان کی عام ایپلی کیشنز میں ڈوپینٹ بیریئر لیئرز، سطح کی موصلیت کی تہیں، گیٹ آکسائیڈ لیئرز، فیلڈ آکسائیڈز اور قربانی کے آکسائیڈز شامل ہیں۔ جیسا کہ ویفر فیبریکیشن میں بنیادی عمل، آکسیکرن ماحول کی بنیاد پر، تھرمل آکسیکرن کو خشک آکسیکرن، گیلے آکسیجن آکسیکرن اور بھاپ کے آکسیکرن میں درجہ بندی کیا جاتا ہے۔

خشک آکسیکرن

خشک آکسیجن کو رد عمل کے چیمبر میں خالص اور خشک آکسیجن متعارف کروا کر انجام دیا جاتا ہے۔ اعلی درجہ حرارت پر، آکسیجن کے مالیکیول ویفر کی سطح پر سلکان ایٹموں کے ساتھ رد عمل ظاہر کرتے ہوئے ایک ابتدائی SiO₂ پرت بناتے ہیں، جس سے آکسیجن کے مالیکیولز اور سلیکون کی سطح کے درمیان براہ راست رابطہ مسدود ہوتا ہے۔ بعد میں آکسیکرن کے عمل میں، آکسیجن کے مالیکیولز کو موجودہ SiO₂ پرت کے ذریعے پھیلانا چاہیے تاکہ مزید ردعمل کے لیے Si/SiO₂ انٹرفیس تک پہنچ سکے۔ اس وجہ سے، Si/SiO₂ انٹرفیس مسلسل تبدیل ہو رہا ہے، جس کے نتیجے میں آخری آکسائیڈ پرت اور سبسٹریٹ کے درمیان نامکمل SiOₓ ہوتا ہے، جو مزید انٹرفیس سٹیٹس کی تشکیل کا باعث بنتا ہے۔ خشک آکسیڈیشن سے بننے والی SiO₂ پرت ایک گھنے ڈھانچے، اعلیٰ یکسانیت اور بہترین عمل کی تکرار کی خصوصیات رکھتی ہے۔ وہ غیر قطبی فوٹو ریزسٹ کے ساتھ مضبوطی سے جڑے رہتے ہیں، فوٹو ریزسٹ چھیلنے سے روکتے ہیں اور لتھوگرافی کی زبردست ریزولوشن کو یقینی بناتے ہیں، جو انہیں فوٹو ریزسٹ سے رابطہ کرنے والی آکسائیڈ تہوں کے لیے بہترین انتخاب بناتے ہیں۔

کلورین ڈوپڈ آکسیکرن خشک آکسیکرن کی ایک قسم ہے۔ اس عمل کے دوران، تھوڑی مقدار میں کلورین پر مشتمل گیسی مرکبات جیسے کلورین گیس، ہائیڈروجن کلورائیڈ، ٹرائکلوریتھیلین یا ٹرائکلوریتھین خشک آکسیجن میں شامل کیے جاتے ہیں۔ کلورین آکسائیڈ کی تہہ میں شامل ہوتی ہے اور SiO₂/Si انٹرفیس کے قریب جمع ہوتی ہے۔ یہ موبائل آئنوں (جیسے سوڈیم آئنوں) کو پھنستا ہے اور انہیں غیر فعال کر دیتا ہے۔ دریں اثنا، کلورین انٹرفیس میں Cl-Si-O کمپلیکس بناتی ہے، جو انٹرفیس چارجز کو بے اثر کرتی ہے اور آکسیجن کی خالی جگہوں کو پر کرتی ہے۔ یہ انٹرفیس کی حالت کی کثافت کو کم کرتا ہے اور SiO₂ فلم میں نقائص کو کم کرتا ہے۔ زیادہ درجہ حرارت پر، کلورین طویل مدتی استعمال شدہ آکسیڈیشن بھٹیوں میں جمع ہونے والی نجاستوں کے ساتھ رد عمل ظاہر کرتی ہے تاکہ ایسے غیر مستحکم مرکبات بن سکیں جو چیمبر سے ختم ہو جاتے ہیں۔ کلورین ڈوپڈ آکسیکرن اس طرح سلکان میں نجاست کو کم کرتا ہے، دوبارہ ملاپ کے مراکز کو کم کرتا ہے اور اقلیتی کیریئر کی زندگی میں اضافہ کرتا ہے۔

بھاپ آکسیکرن

بھاپ آکسیکرن رد عمل کے چیمبر کے اندر پانی کے بخارات کا استعمال کرتا ہے۔ پانی کے بخارات اعلی پاکیزگی والے ڈیونائزڈ پانی یا ہائیڈروجن اور آکسیجن گیس کے دہن کے رد عمل سے پیدا ہوتے ہیں۔ اعلی درجہ حرارت پر، پانی کے بخارات ویفر کی سطح پر سلکان کے ساتھ رد عمل ظاہر کرتے ہوئے ابتدائی SiO₂ پرت بناتے ہیں۔ پانی کے مالیکیول سب سے پہلے سطح SiO₂ کے ساتھ رد عمل ظاہر کرتے ہوئے سائلانول گروپس (Si-OH) بناتے ہیں۔ یہ گروپس آکسائیڈ پرت کے ذریعے SiO₂/Si انٹرفیس میں پھیل جاتے ہیں اور سلکان ایٹموں کے ساتھ رد عمل جاری رکھتے ہیں۔ زیادہ تر پیدا شدہ ہائیڈروجن انٹرفیس سے بچ جاتی ہے، جبکہ ایک حصہ آکسیجن کے ساتھ مل کر ہائیڈروکسیل گروپس (-OH) بناتا ہے۔

سٹیم آکسیڈیشن کے ذریعہ تیار کردہ SiO₂ فلم میں نان برجنگ آکسیجن ایٹموں کے ساتھ ایک سلانول ڈھانچہ ہے، جہاں ہر آکسیجن ایٹم صرف ایک سلیکون ایٹم سے منسلک ہوتا ہے۔ اس طرح کی آکسائیڈ فلمیں کم گھنے ہوتی ہیں اور ان میں عمل کی تکرار کی صلاحیت کم ہوتی ہے۔ ہائیڈروکسیل گروپ آسانی سے نمی جذب کر لیتے ہیں اور فلم کو پولر بنا دیتے ہیں، جس کی وجہ سے نان پولر فوٹوریزسٹ اور بار بار فوٹو ریزسٹ اٹھانے کے ساتھ چپکنے والی خرابی ہوتی ہے۔ اس کے ڈھیلے ڈھانچے کی وجہ سے، بھاپ کا آکسیکرن خشک آکسیکرن سے کہیں زیادہ تیزی سے آگے بڑھتا ہے۔

گیلے آکسیجن آکسیکرن

گیلے آکسیجن آکسیڈیشن کے لیے، آکسیجن گیس ری ایکشن چیمبر میں داخل ہونے سے پہلے گرم اعلیٰ پاکیزگی والے ڈیونائزڈ پانی سے گزرتی ہے، تاکہ آکسیجن پانی کے بخارات کا ایک خاص ارتکاز لے جائے۔ پانی کے بخارات کے مواد کا تعین درجہ حرارت اور گیس کے بہاؤ کی شرح سے ہوتا ہے۔ یہ عمل خشک آکسیکرن اور بھاپ آکسیکرن کی خصوصیات کو یکجا کرتا ہے۔ اس کی آکسیکرن کی شرح خشک آکسیکرن سے زیادہ ہے لیکن بھاپ آکسیکرن سے کم ہے۔ فلم کے معیار کے لحاظ سے، گیلے آکسیجن آکسیکرن خشک آکسیکرن سے کمتر ہے لیکن بھاپ کے آکسیکرن سے بہتر ہے۔

سیمیکوریکس اعلیٰ معیار کی پیشکش کرتا ہے۔کوارٹج کشتیاںاورکوارٹج ٹیوبیںتھرمل آکسیکرن کے عمل کے لیے۔ اگر آپ کی کوئی پوچھ گچھ ہے یا اضافی تفصیلات کی ضرورت ہے، تو براہ کرم ہم سے رابطہ کرنے میں سنکوچ نہ کریں۔

فون نمبر +86-13567891907 سے رابطہ کریں۔

ای میل: sales@semicorex.com