ٹی اے سی کوٹنگ

TaC سیرامکس کا پگھلنے کا نقطہ 3880 ° C، زیادہ سختی (Mohs سختی 9-10)، بڑی تھرمل چالکتا (22W·m)^-1· K⁻¹)، بڑی لچکدار طاقت (340-400MPa)، اور تھرمل توسیع کا چھوٹا گتانک (6.6×10)^-6K-1)، اور بہترین تھرمو کیمیکل استحکام اور بہترین جسمانی خصوصیات کی نمائش کرتے ہیں، لہذا TaC کوٹنگز ایرو اسپیس تھرمل پروٹیکشن میں بڑے پیمانے پر استعمال ہوتی ہیں، اور گریفائٹ اور C/C کمپوزٹ اچھی کیمیائی مطابقت اور مکینیکل مطابقت رکھتے ہیں۔ )، اور بہترین تھرمو کیمیکل استحکام اور بہترین جسمانی خصوصیات دکھاتے ہیں، اور گریفائٹ اور C/C کمپوزٹ اچھی کیمیائی مطابقت اور مکینیکل مطابقت رکھتے ہیں، لہذا TaC کوٹنگز ایرو اسپیس تھرمل پروٹیکشن، سنگل کرسٹل گروتھ، انرجی اور الیکٹرانکس، اور طبی آلات میں بڑے پیمانے پر استعمال ہوتی ہیں۔ وغیرہ۔ ٹی اے سی لیپت گریفائٹ ننگے گریفائٹ یا سی سی لیپت گریفائٹ سے بہتر کیمیائی مزاحمت رکھتا ہے، اور اسے 2600° کے اعلی درجہ حرارت پر مستحکم طور پر استعمال کیا جا سکتا ہے۔ 2600 ° اعلی درجہ حرارت استحکام، اور بہت سے دھاتی عناصر رد عمل کا اظہار نہیں کرتے ہیں، کوٹنگ کی بہترین کارکردگی میں سیمی کنڈکٹر سنگل کرسٹل کی ترقی اور ویفر اینچنگ منظرناموں کی تیسری نسل ہے، درجہ حرارت اور نجاست کنٹرول کے عمل کو نمایاں طور پر بہتر کر سکتے ہیں، اعلی درجے کی تیاری - معیاری سلکان کاربائیڈ ویفرز اور متعلقہ ایپیٹیکسیل ویفر۔ یہ خاص طور پر MOCVD آلات کے لیے GaN یا AlN سنگل کرسٹل اور PVT آلات کے لیے SiC سنگل کرسٹل اگانے کے لیے موزوں ہے، اور بڑھے ہوئے سنگل کرسٹل کا معیار نمایاں طور پر بہتر ہوا ہے۔

تحقیق کے نتائج کے مطابق،ٹی اے سی کوٹنگ گریفائٹ کے اجزاء کی زندگی کو بڑھانے، ریڈیل درجہ حرارت کی یکسانیت کو بہتر بنانے، SiC سبلیمیشن اسٹوچیومیٹری کو برقرار رکھنے، ناپاکی کی منتقلی کو دبانے، اور توانائی کی کھپت کو کم کرنے کے لیے تحفظ اور تنہائی کی تہہ کے طور پر کام کر سکتی ہے۔ بالآخر ایک TaC کوٹڈ گریفائٹ کروسیبل سیٹ سے توقع کی جاتی ہے کہ وہ SiC PVT پروسیس کنٹرول اور پروڈکٹ کے معیار کو بہتر بنائے۔