SiC لیپت گریفائٹ susceptor کیا ہے؟

متعارف کرانے کے لیےSiC لیپت گریفائٹ رسیوراس کے اطلاق کو سمجھنا ضروری ہے۔ آلات تیار کرتے وقت، کچھ ویفر سبسٹریٹس پر مزید ایپیٹیکسیل تہوں کی تعمیر کی ضرورت ہوتی ہے۔ مثال کے طور پر، ایل ای ڈی روشنی خارج کرنے والے آلات کو سلکان سبسٹریٹس پر GaAs ایپیٹیکسیل تہوں کی تیاری کی ضرورت ہوتی ہے۔ جب کہ SiC سبسٹریٹس پر SiC تہہ کی نشوونما کی ضرورت ہوتی ہے، epitaxial تہہ بجلی کی ایپلی کیشنز جیسے کہ ہائی وولٹیج اور ہائی کرنٹ، مثال کے طور پر SBD، MOSFET وغیرہ کے لیے آلات بنانے میں مدد کرتی ہے۔ مواصلات جیسے ریڈیو فریکوئنسی ایپلی کیشنز کے لیے HEMT جیسے آلات کو مزید تعمیر کرنے کے لیے سبسٹریٹ۔ ایسا کرنے کے لیے، aسی وی ڈی کا سامان(دیگر تکنیکی طریقوں کے درمیان) کی ضرورت ہے۔ یہ سامان III اور II گروپ عناصر اور V اور VI گروپ عناصر کو سبسٹریٹ سطح پر گروتھ سورس میٹریل کے طور پر جمع کر سکتا ہے۔

میںسی وی ڈی کا سامان، سبسٹریٹ کو براہ راست دھات پر نہیں رکھا جا سکتا ہے یا صرف اپیٹیکسیل جمع کرنے کے لیے بنیاد پر نہیں رکھا جا سکتا ہے۔ اس کی وجہ یہ ہے کہ گیس کے بہاؤ کی سمت (افقی، عمودی)، درجہ حرارت، دباؤ، فکسیشن، آلودگیوں کا بہاؤ وغیرہ وہ تمام عوامل ہیں جو اس عمل کو متاثر کر سکتے ہیں۔ لہذا، ایک سسپٹر کی ضرورت ہوتی ہے جہاں سبسٹریٹ کو ڈسک پر رکھا جاتا ہے، اور پھر CVD ٹیکنالوجی کو سبسٹریٹ پر اپیٹیکسیل جمع کرنے کے لیے استعمال کیا جاتا ہے۔ یہ سسپٹر ایک SiC- coated graphite susceptor ہے (جسے ٹرے بھی کہا جاتا ہے)۔

دیگریفائٹ رسیورمیں ایک اہم جزو ہے۔MOCVD کا سامان. یہ سبسٹریٹ کے کیریئر اور حرارتی عنصر کے طور پر کام کرتا ہے۔ اس کا تھرمل استحکام، یکسانیت، اور کارکردگی کے دیگر پیرامیٹرز اہم عوامل ہیں جو epitaxial مواد کی ترقی کے معیار کا تعین کرتے ہیں، اور پتلی فلم کے مواد کی یکسانیت اور پاکیزگی کو براہ راست متاثر کرتے ہیں۔ لہذا، کے معیارگریفائٹ رسیورepitaxial wafers کی تیاری میں بہت ضروری ہے۔ تاہم، susceptor کی قابل استعمال نوعیت اور بدلتے ہوئے کام کے حالات کی وجہ سے، یہ آسانی سے ضائع ہو جاتا ہے۔

گریفائٹ میں بہترین تھرمل چالکتا اور استحکام ہے، یہ اس کے لیے ایک مثالی بنیادی جزو بناتا ہے۔MOCVD کا سامان. تاہم، خالص گریفائٹ کو کچھ چیلنجز کا سامنا ہے۔ پیداوار کے دوران، بقایا corrosive گیسوں اور دھاتی نامیاتی مادے کی وجہ سے سسپٹر کو corrode اور پاؤڈر دور ہو سکتا ہے، جس سے اس کی سروس لائف بہت کم ہو جاتی ہے۔ مزید برآں، گرنے والا گریفائٹ پاؤڈر چپ کو آلودگی کا سبب بن سکتا ہے۔ لہذا، ان مسائل کو بیس کی تیاری کے عمل کے دوران حل کرنے کی ضرورت ہے۔

کوٹنگ ٹیکنالوجی ایک ایسا عمل ہے جو سطحوں پر پاؤڈر کو ٹھیک کرنے، تھرمل چالکتا کو بڑھانے اور گرمی کو یکساں طور پر تقسیم کرنے کے لیے استعمال کیا جا سکتا ہے۔ یہ ٹیکنالوجی اس مسئلے کو حل کرنے کا بنیادی طریقہ بن گئی ہے۔ گریفائٹ بیس کے اطلاق کے ماحول اور استعمال کی ضروریات پر منحصر ہے، سطح کی کوٹنگ میں درج ذیل خصوصیات ہونی چاہئیں:

1. اعلی کثافت اور مکمل ریپنگ: گریفائٹ بیس اعلی درجہ حرارت، سنکنرن کام کرنے والے ماحول میں ہے، اور سطح کو مکمل طور پر ڈھانپنا ضروری ہے۔ اچھی حفاظت فراہم کرنے کے لیے کوٹنگ میں اچھی کثافت بھی ہونی چاہیے۔

2. اچھی سطح کا چپٹا پن: چونکہ سنگل کرسٹل کی نشوونما کے لیے استعمال ہونے والے گریفائٹ بیس کو اونچی سطح کی ہمواری کی ضرورت ہوتی ہے، اس لیے کوٹنگ تیار ہونے کے بعد بیس کی اصل ہمواری کو برقرار رکھا جانا چاہیے۔ اس کا مطلب ہے کہ کوٹنگ کی سطح یکساں ہونی چاہیے۔

3. اچھی بانڈنگ طاقت: گریفائٹ بیس اور کوٹنگ میٹریل کے درمیان تھرمل ایکسپینشن گتانک میں فرق کو کم کرنے سے دونوں کے درمیان بانڈنگ کی طاقت کو مؤثر طریقے سے بہتر بنایا جا سکتا ہے۔ اعلی اور کم درجہ حرارت کے تھرمل سائیکلوں کا سامنا کرنے کے بعد، کوٹنگ ٹوٹنا آسان نہیں ہے۔

4. اعلی تھرمل چالکتا: اعلی معیار کی چپ کی نشوونما کے لیے گریفائٹ بیس سے تیز اور یکساں گرمی کی ضرورت ہوتی ہے۔ لہذا، کوٹنگ مواد اعلی تھرمل چالکتا ہونا چاہئے.

5. اعلی پگھلنے کا نقطہ، اعلی درجہ حرارت آکسیکرن کے خلاف مزاحمت، اور سنکنرن مزاحمت: کوٹنگ کو اعلی درجہ حرارت اور سنکنرن کام کرنے والے ماحول میں مستحکم طور پر کام کرنے کے قابل ہونا چاہئے۔

فی الحال،سلکان کاربائیڈ (SiC)اعلی درجہ حرارت اور سنکنرن گیس کے ماحول میں اس کی غیر معمولی کارکردگی کی وجہ سے، گریفائٹ کوٹنگ کے لیے ترجیحی مواد ہے۔ مزید یہ کہ، گریفائٹ کے ساتھ اس کا قریبی تھرمل توسیعی گتانک انہیں مضبوط بانڈ بنانے کے قابل بناتا ہے۔ مزید برآں،ٹینٹلم کاربائیڈ (ٹی اے سی) کوٹنگیہ بھی ایک اچھا انتخاب ہے، اور یہ زیادہ اعلی درجہ حرارت (>2000℃) ماحول میں کھڑا ہوسکتا ہے۔

سیمیکوریکس اعلیٰ معیار کی پیشکش کرتا ہے۔SiCاورTaC لیپت گریفائٹ susceptors. اگر آپ کی کوئی پوچھ گچھ ہے یا اضافی تفصیلات کی ضرورت ہے، تو براہ کرم ہم سے رابطہ کرنے میں سنکوچ نہ کریں۔

فون نمبر +86-13567891907 سے رابطہ کریں۔

ای میل: sales@semicorex.com