خشک اینچنگ اور گیلی اینچنگ کے فوائد اور نقصانات کیا ہیں؟

1. خشک اور گیلی اینچنگ کیا ہیں؟

خشک اینچنگ ایک ایسی تکنیک ہے جس میں کوئی مائع شامل نہیں ہوتا ہے، اس کے بجائے ویفر کی سطح پر ٹھوس مواد کو کھینچنے کے لیے پلازما یا رد عمل والی گیسوں کا استعمال کیا جاتا ہے۔ یہ طریقہ زیادہ تر چپ مصنوعات کی تیاری میں ناگزیر ہے، جیسے DRAM اور فلیش میموری، جہاں گیلی اینچنگ استعمال نہیں کی جا سکتی۔ دوسری طرف، گیلے اینچنگ میں، ویفر کی سطح پر ٹھوس مواد کو کھینچنے کے لیے مائع کیمیائی محلول کا استعمال شامل ہے۔ اگرچہ تمام چپ پروڈکٹس پر عالمی طور پر لاگو نہیں ہوتا ہے، گیلی اینچنگ وسیع پیمانے پر ویفر لیول پیکیجنگ، MEMS، آپٹو الیکٹرانک آلات اور فوٹو وولٹک میں استعمال ہوتی ہے۔

2. خشک اور گیلی اینچنگ کی خصوصیات کیا ہیں؟

سب سے پہلے، آئی ایسوٹروپک اور انیسوٹروپک ایچنگ کے تصورات کو واضح کرتے ہیں۔ آئسوٹروپک ایچنگ سے مراد ایک اینچنگ ریٹ ہے جو ایک ہی جہاز پر تمام سمتوں میں یکساں ہوتی ہے، جیسا کہ جب کسی پتھر کو پرسکون پانی میں پھینکا جاتا ہے تو لہریں یکساں طور پر پھیلتی ہیں۔ اینیسوٹروپک ایچنگ کا مطلب ہے کہ ایک ہی جہاز پر مختلف سمتوں میں ایچنگ کی شرح مختلف ہوتی ہے۔

گیلی اینچنگ isotropic ہے۔ جب ویفر اینچنگ محلول کے ساتھ رابطے میں آتا ہے، تو یہ نیچے کی طرف کھدائی کرتا ہے جبکہ لیٹرل اینچنگ کا سبب بھی بنتا ہے۔ یہ لیٹرل اینچنگ متعین لائن کی چوڑائی کو متاثر کر سکتی ہے، جس کی وجہ سے اینچنگ میں اہم انحراف ہوتا ہے۔ اس طرح، گیلی اینچنگ کو اینچنگ کی شکلوں کے لیے درست طریقے سے کنٹرول کرنا مشکل ہے، جس سے یہ 2 مائکرو میٹر سے چھوٹی خصوصیات کے لیے کم موزوں ہے۔

اس کے برعکس، خشک اینچنگ اینچنگ کی شکل پر زیادہ درست کنٹرول کی اجازت دیتی ہے اور اینچنگ کے زیادہ لچکدار طریقے پیش کرتی ہے۔ خشک اینچنگ سے isotropic اور anisotropic etching دونوں حاصل ہو سکتے ہیں۔ اینیسوٹروپک اینچنگ ٹیپرڈ (زاویہ <90 ڈگری) اور عمودی پروفائلز (زاویہ ≈90 ڈگری) پیدا کرسکتی ہے۔

خلاصہ کرنے کے لیے:

1.1 خشک اینچنگ کے فوائد (جیسے، RIE)

سمتیت: اعلی سمت کو حاصل کر سکتا ہے، جس کے نتیجے میں عمودی سائیڈ وال اور اعلی پہلو کا تناسب ہوتا ہے۔

سلیکٹیوٹی: مخصوص اینچنگ گیسوں اور پیرامیٹرز کو منتخب کرکے اینچنگ سلیکٹیوٹی کو بہتر بنا سکتا ہے۔

ہائی ریزولوشن: عمدہ خصوصیات اور گہری خندق اینچنگ کے لیے موزوں ہے۔

1.2 گیلی اینچنگ کے فوائد

سادگی اور لاگت کی تاثیر: اینچنگ مائعات اور سامان عام طور پر خشک اینچنگ کے لیے استعمال ہونے والے سامان سے زیادہ کفایتی ہوتے ہیں۔

یکسانیت: پورے ویفر میں یکساں اینچنگ فراہم کرتی ہے۔

کسی پیچیدہ آلات کی ضرورت نہیں ہے: عام طور پر صرف ڈپنگ غسل یا اسپن کوٹنگ کے سامان کی ضرورت ہوتی ہے۔

3. خشک اور گیلے اینچنگ کے درمیان انتخاب کرنا

سب سے پہلے، چپ پروڈکٹ کے عمل کی ضروریات کی بنیاد پر، اگر صرف خشک اینچنگ ہی اینچنگ کا کام پورا کر سکتی ہے، تو خشک اینچنگ کا انتخاب کریں۔ اگر خشک اور گیلی اینچنگ دونوں ضروریات کو پورا کر سکتی ہیں، تو گیلی اینچنگ کو اس کی لاگت کی تاثیر کی وجہ سے عام طور پر ترجیح دی جاتی ہے۔ اگر لائن کی چوڑائی یا عمودی/ٹیپرڈ زاویوں پر درست کنٹرول کی ضرورت ہو تو خشک اینچنگ کا انتخاب کریں۔

تاہم، کچھ خاص ڈھانچے کو گیلی اینچنگ کا استعمال کرتے ہوئے کندہ کرنا ضروری ہے۔ مثال کے طور پر، MEMS میں، اینچڈ سلکان کی الٹی اہرام کی ساخت صرف گیلی اینچنگ کے ذریعے حاصل کی جا سکتی ہے۔**