MOCVD کلیدی سامان ہے۔

ایم او سی وی ڈی کا سامان سیمی کنڈکٹر انڈسٹری کے پروڈکشن کے عمل میں کلیدی سامان ہے، لیکن سیمی کنڈکٹر انڈسٹری چین میں آلات کی سرمایہ کاری کا ایک بڑا حصہ (تین بنیادی عمل اور آلات: لیتھوگرافی، ایچنگ، پتلی فلم جمع)، ایل ای ڈی پروڈکشن لائن سرمایہ کاری، ایم او سی وی ڈی سرمایہ کاری کی رقم 50٪ تک ہوسکتی ہے۔ CVD آلات میں، سبسٹریٹ کو براہ راست دھات پر نہیں رکھا جا سکتا ہے یا صرف اپیٹیکسیل جمع کرنے کے لیے بنیاد کے اوپر نہیں رکھا جا سکتا، کیونکہ اس میں گیس کے بہاؤ کی سمت (افقی، عمودی)، درجہ حرارت، دباؤ، فکسیشن جیسے مختلف عوامل کا اثر شامل ہوتا ہے۔ , بہانے contaminants. لہذا، ایک بنیاد کا استعمال کیا جاتا ہے اور سبسٹریٹ کو ایک ڈسک پر رکھا جاتا ہے اور پھر CVD ٹیکنالوجی کا استعمال کرتے ہوئے سبسٹریٹ کے اوپر اپیٹیکسیل جمع کیا جاتا ہے۔ یہ بنیاد SiC لیپت گریفائٹ ہے۔susceptor(جسے ایک بھی کہا جا سکتا ہے۔کیریئر)، اور اس کی ساخت نیچے دی گئی تصویر میں دکھائی گئی ہے۔