کیوں SiC لیپت گریفائٹ susceptors کا انتخاب کریں؟

گریفائٹ سسیپٹرMOCVD آلات میں ضروری حصوں میں سے ایک ہے، ویفر سبسٹریٹ کا کیریئر اور ہیٹر ہے۔ اس کی تھرمل استحکام اور تھرمل یکسانیت کی خصوصیات ویفر ایپیٹیکسیل گروتھ کے معیار میں فیصلہ کن کردار ادا کرتی ہیں، جو براہ راست پرت کے مواد کی یکسانیت اور پاکیزگی کا تعین کرتی ہے، نتیجے میں اس کا معیار براہ راست ایپیٹیکسی کی تیاری پر اثر انداز ہوتا ہے۔ اس دوران، استعمال کی تعداد میں اضافے اور کام کے حالات میں تبدیلی کے ساتھ، یہ کھونا بہت آسان ہے، اور استعمال کی اشیاء سے تعلق رکھتا ہے۔ گریفائٹ کی بہترین تھرمل چالکتا اور استحکام اسے ایک اچھا فائدہ بناتا ہے۔MOCVD آلات کے لیے ایک بنیادی جزو. تاہم، اگر صرف خالص گریفائٹ استعمال کیا جائے تو اسے کچھ مسائل کا سامنا کرنا پڑے گا۔ پروڈکشن کے عمل میں سنکنرن گیس اور دھات کی نامیاتی باقیات ہوں گی، اور گریفائٹ کی بنیاد پاؤڈر کو رگڑ کر گرا دے گی، جس سے اس کی سروس لائف بہت کم ہو جاتی ہے۔گریفائٹ susceptor، اور گرا ہوا گریفائٹ پاؤڈر بھی چپ میں آلودگی کا سبب بنے گا، لہذا بیس کی تیاری کے عمل میں بھی ان مسائل کو بیس کی تیاری کے دوران حل کرنے کی ضرورت ہے۔ کوٹنگ ٹیکنالوجی سطح پاؤڈر فکسشن فراہم کر سکتی ہے، تھرمل چالکتا کو بڑھا سکتی ہے، اور تھرمل ڈسٹری بیوشن کو برابر کر سکتی ہے، جو اس مسئلے کو حل کرنے کے لیے اہم ٹیکنالوجی بن جاتی ہے۔ اہم ٹیکنالوجی اس مسئلے کو حل کرنا ہے۔ درخواست کے ماحول اور ضروریات کے مطابقگریفائٹ susceptors، سطح کی کوٹنگ میں درج ذیل خصوصیات ہونی چاہئیں۔

اعلی کثافت اور مکمل ریپنگ: مجموعی طور پر گریفائٹ بیس ایک اعلی درجہ حرارت، سنکنرن کام کرنے والے ماحول میں ہے، سطح کو مکمل طور پر لپیٹنا ضروری ہے، جبکہ کوٹنگ میں اچھی حفاظتی کردار ادا کرنے کے لیے اچھی کثافت ہونی چاہیے۔

اچھی سطح کا چپٹا پن: چونکہ سنگل کرسٹل کی نشوونما کے لیے استعمال ہونے والے گریفائٹ بیس کو بہت زیادہ سطح کی ہمواری کی ضرورت ہوتی ہے، اس لیے کوٹنگ تیار ہونے کے بعد بنیاد کی اصل ہمواری کو برقرار رکھا جانا چاہیے، یعنی کوٹنگ کی سطح یکساں ہونی چاہیے۔

اچھی بانڈنگ طاقت: گریفائٹ بیس اور کوٹنگ میٹریل کے درمیان تھرمل ایکسپینشن گتانک کے فرق کو کم کرنے سے ان کے درمیان بانڈنگ کی مضبوطی کو مؤثر طریقے سے بہتر بنایا جا سکتا ہے، اور اعلی اور کم درجہ حرارت کے تھرمل سائیکل کے بعد کوٹنگ کو ٹوٹنا آسان نہیں ہے۔

اعلی تھرمل چالکتا: اعلی معیار کی چپ کی نشوونما کے لیے گریفائٹ بیس سے تیز اور یکساں گرمی کی ضرورت ہوتی ہے، اس لیے کوٹنگ کے مواد میں تھرمل چالکتا زیادہ ہونی چاہیے۔

اعلی پگھلنے کا نقطہ، اعلی درجہ حرارت آکسیکرن اور سنکنرن مزاحمت: کوٹنگ کو اعلی درجہ حرارت اور سنکنرن کام کرنے والے ماحول میں مستحکم طور پر کام کرنے کے قابل ہونا چاہئے۔