SiC کے لیے CVD کیا ہے؟

کیمیائی بخارات جمع کرنا، یا CVD، سیمی کنڈکٹر مینوفیکچرنگ میں استعمال ہونے والی پتلی فلمیں بنانے کا ایک عام طریقہ ہے۔SiC کے سیاق و سباق میں، CVD سے مراد سبسٹریٹ پر گیسی پیشگیوں کے کیمیائی رد عمل کے ذریعے SiC پتلی فلموں یا کوٹنگز کے بڑھنے کا عمل ہے۔ SiC CVD میں شامل عمومی اقدامات درج ذیل ہیں:

سبسٹریٹ کی تیاری: سبسٹریٹ، عام طور پر ایک سلیکون ویفر، کو صاف اور تیار کیا جاتا ہے تاکہ SiC جمع کرنے کے لیے صاف سطح کو یقینی بنایا جا سکے۔

پیشگی گیس کی تیاری: سلیکون اور کاربن ایٹموں پر مشتمل گیس کے پیشگی تیار کیے جاتے ہیں۔ عام پیش خیمہ میں سائلین (SiH4) اور میتھیلسلین (CH3SiH3) شامل ہیں۔

ری ایکٹر سیٹ اپ: سبسٹریٹ کو ایک ری ایکٹر کے چیمبر کے اندر رکھا جاتا ہے، اور چیمبر کو خالی کیا جاتا ہے اور اسے ایک غیر فعال گیس، جیسے آرگن، سے نجاست اور آکسیجن کو دور کرنے کے لیے صاف کیا جاتا ہے۔

جمع کرنے کا عمل: پیشگی گیسوں کو ری ایکٹر کے چیمبر میں داخل کیا جاتا ہے، جہاں وہ سبسٹریٹ کی سطح پر SiC بنانے کے لیے کیمیائی رد عمل سے گزرتی ہیں۔ رد عمل عام طور پر اعلی درجہ حرارت (800-1200 ڈگری سیلسیس) اور کنٹرول شدہ دباؤ میں ہوتے ہیں۔

فلم کی نشوونما: SiC فلم آہستہ آہستہ سبسٹریٹ پر بڑھتی ہے کیونکہ پیشگی گیسیں رد عمل کا اظہار کرتی ہیں اور SiC ایٹموں کو جمع کرتی ہیں۔ ترقی کی شرح اور فلم کی خصوصیات مختلف عمل کے پیرامیٹرز سے متاثر ہو سکتی ہیں، جیسے درجہ حرارت، پیشگی ارتکاز، گیس کے بہاؤ کی شرح، اور دباؤ۔

کولنگ اور پوسٹ ٹریٹمنٹ: ایک بار جب فلم کی مطلوبہ موٹائی حاصل ہو جاتی ہے، ری ایکٹر کو ٹھنڈا کر دیا جاتا ہے، اور SiC کوٹڈ سبسٹریٹ کو ہٹا دیا جاتا ہے۔ علاج کے بعد کے اضافی اقدامات، جیسے اینیلنگ یا سطح کی پالش، فلم کی خصوصیات کو بڑھانے یا کسی بھی نقائص کو دور کرنے کے لیے کیے جا سکتے ہیں۔

SiC CVD فلم کی موٹائی، ساخت، اور خصوصیات پر قطعی کنٹرول کی اجازت دیتا ہے۔ یہ سیمی کنڈکٹر انڈسٹری میں بڑے پیمانے پر ایس آئی سی پر مبنی الیکٹرانک آلات، جیسے ہائی پاور ٹرانزسٹر، ڈائیوڈز اور سینسر کی تیاری کے لیے استعمال ہوتا ہے۔ CVD عمل بہترین برقی چالکتا اور تھرمل استحکام کے ساتھ یکساں اور اعلیٰ معیار کی SiC فلموں کو جمع کرنے کے قابل بناتا ہے، جو اسے پاور الیکٹرانکس، ایرو اسپیس، آٹوموٹو اور دیگر صنعتوں میں مختلف ایپلی کیشنز کے لیے موزوں بناتا ہے۔

کے ساتھ CVD SiC لیپت مصنوعات میں Semicorex اہمویفر ہولڈر/سوسیپٹر, SiC حصوںوغیرہ