سلکان کاربائیڈ ویفر بوٹس کتنی اہم ہیں؟

سیمی کنڈکٹر مینوفیکچرنگ میں، بنیادی پروسیسنگ آلات جیسے کہ فوٹو لیتھوگرافی اور ایچنگ کے علاوہ، ایک اور قسم کا بنیادی جزو عمل کے استحکام میں اہم کردار ادا کرتا ہے:ویفر کشتی.

خاص طور پر حالیہ برسوں میں، اعلی درجہ حرارت کے عمل اور تیسری نسل کے سیمی کنڈکٹرز کی ترقی کے ساتھ، سلکان کاربائیڈ سے بنی سیلیکون کاربائیڈ ویفر بوٹس خاموشی سے صنعت کا معیار بن رہی ہیں۔

تو، یہ بظاہر غیر معمولی جزو سیمی کنڈکٹر مینوفیکچرنگ میں کیا کردار ادا کرتا ہے؟

01 ایک ویفر بوٹ کے بنیادی کام

ایک ویفر بوٹ ایک پروسیس کیریئر ہے جو ویفرز کو رکھنے کے لئے استعمال کیا جاتا ہے، بنیادی طور پر اعلی درجہ حرارت کے پروسیسنگ آلات میں استعمال ہوتا ہے۔

سیمی کنڈکٹر مینوفیکچرنگ کے عمل میں، ویفرز تھرمل پروسیسنگ کے متعدد مراحل سے گزرتے ہیں، جیسے بازی، آکسیڈیشن، اینیلنگ، اور کیمیائی بخارات جمع (CVD)۔ ان عملوں کے دوران، ویفرز کو عام طور پر بیچ کے ذریعے فرنس ٹیوب کے سامان میں پروسیس کیا جاتا ہے، اور ویفر بوٹ مندرجہ ذیل کام انجام دیتی ہے:

- متعدد ویفرز کو سپورٹ کرنا اور ایک مستحکم فاصلہ برقرار رکھنا

- اعلی درجہ حرارت والے ماحول میں ویفرز کی پوزیشنی استحکام کو یقینی بنانا

- آلات کے ساتھ مل کر یکساں گیس کے بہاؤ کو یقینی بنانا

ویفر بوٹ کی ساخت اور مادی خصوصیات تھرمل فیلڈ کی تقسیم اور عمل کی مستقل مزاجی کو براہ راست متاثر کرتی ہیں۔

02 سلیکون کاربائیڈ بوٹس کی ساختی خصوصیات

سلیکن کاربائیڈ کشتیاںعام طور پر ایک فریم ڈیزائن کا استعمال کرتے ہیں، اعلی ساختی استحکام کی پیشکش کرتے ہیں. عام خصوصیات میں شامل ہیں:

- عین مطابق ویفر پوزیشننگ کے لیے ملٹی لیئر سلاٹ ڈھانچہ

- ویفرز کے درمیان آسان گیس کے بہاؤ کے لیے کھلا ڈیزائن

- اعلی درجہ حرارت پر اخترتی کے خطرے کو کم کرنے کے لیے اعلی سختی والا فریم

سازوسامان کی قسم پر منحصر ہے، کشتیوں کو عمودی یا افقی ڈھانچے کے طور پر ڈیزائن کیا جا سکتا ہے اور مختلف ویفر سائز (مثال کے طور پر، 6 انچ، 8 انچ، 12 انچ) کو سپورٹ کیا جا سکتا ہے۔

03 مواد کا انتخاب: کیوں؟سلیکون کاربائیڈ?

جیسا کہ سیمی کنڈکٹر کے عمل اعلی درجہ حرارت اور اعلی صفائی کی طرف تیار ہوتے ہیں، روایتی مواد جیسے کوارٹج اور ایلومینا تیزی سے ناکافی ہوتے جا رہے ہیں۔ اس کے برعکس، سلکان کاربائیڈ کارکردگی کے کئی جہتوں میں فوائد پیش کرتا ہے۔

1. اعلی درجہ حرارت کی مزاحمت: سلکان کاربائیڈ تقریباً 1200℃ سے 1400℃ کے درجہ حرارت کی حد میں اچھی ساختی استحکام کو ظاہر کرتا ہے۔ کچھ اعلی پاکیزگی یا خصوصی عمل کے حالات کے تحت، یہ بھی زیادہ درجہ حرارت کے ماحول میں استعمال کیا جا سکتا ہے. یہ اعلی درجہ حرارت پر دھاتی مواد کی طرح پگھلنے یا نمایاں نرمی کے مظاہر کی نمائش نہیں کرتا ہے۔

2. ہائی تھرمل چالکتا: سلکان کاربائیڈ میں اعلی تھرمل چالکتا ہے، جو ویفرز کے درمیان درجہ حرارت کے فرق کو کم کرنے میں مدد کرتا ہے، اس طرح عمل کی مستقل مزاجی کو بہتر بناتا ہے۔

3. تھرمل توسیع کا کم گتانک: سلیکن کاربائیڈ میں تھرمل توسیع کا کم گتانک ہوتا ہے، جو حرارتی اور ٹھنڈک کے عمل کے دوران ویفرز پر تھرمل تناؤ کے اثرات کو کم کرتا ہے۔

4. کیمیائی استحکام: سلیکن کاربائیڈ مختلف فضاؤں میں اچھی کیمیائی استحکام کی نمائش کرتا ہے، بشمول آکسائڈائزنگ اور ماحول کو کم کرنا۔ تاہم، یہ اب بھی اعلی درجہ حرارت والے آکسیجن ماحول میں ایک سست آکسیکرن رد عمل سے گزرے گا، جس سے سلکان ڈائی آکسائیڈ کی حفاظتی تہہ بنتی ہے۔

5. مواد کی پاکیزگی اور آلودگی کا کنٹرول: سیمی کنڈکٹر گریڈ سلکان کاربائیڈ میں عام طور پر ناپاک مواد کو سختی سے کنٹرول کیا جاتا ہے تاکہ ویفر کی سطح پر آلودگی کے خطرے کو کم کیا جا سکے۔ مختلف عمل کے درجات میں استعمال ہونے والے مواد کے درمیان اہم فرق ہیں۔

04 درخواست کے علاقے

سلکان کاربائیڈ کشتیاں فی الحال متعدد شعبوں میں وسیع پیمانے پر استعمال ہوتی ہیں، بشمول:

- مربوط سرکٹ مینوفیکچرنگ میں تھرمل پروسیسنگ

- پاور سیمی کنڈکٹر ڈیوائس مینوفیکچرنگ (مثال کے طور پر، SiC ڈیوائسز)

- فوٹو وولٹک سلکان ویفرز کی اعلی درجہ حرارت پروسیسنگ

- سیمی کنڈکٹر مواد اور عمل تحقیق اور ترقی

اعلی درجہ حرارت، مضبوط سنکنرن، یا اعلی صفائی کی ضرورت والے منظرناموں میں اس کے فوائد اور بھی واضح ہیں۔

سیمیکوریکس پیشکش کرتا ہے۔SiC ویفر کشتیاں, فرنس ٹیوبیں, کینٹیلیور پیڈلز، وغیرہ اعلی درجہ حرارت کی بھٹیوں میں۔ اگر آپ کی کوئی پوچھ گچھ ہے یا اضافی تفصیلات کی ضرورت ہے، تو براہ کرم ہم سے رابطہ کرنے میں سنکوچ نہ کریں۔

فون نمبر +86-13567891907 سے رابطہ کریں۔

ای میل: sales@semicorex.com