سیلیکون کاربائیڈ سیرامکس کی پراپرٹیز اور سیمی کنڈکٹر ایپلی کیشنز

سلیکن کاربائیڈ سیرامک ​​جدید سیرامک ​​مواد ہے جو بنیادی طور پر کاربن اور سلکان پر مشتمل ہوتا ہے۔ شاندار کارکردگی کی خصوصیات کے حامل، سلکان کاربائیڈ سیرامک ​​کو میکینیکل مشیننگ، سیمی کنڈکٹر مینوفیکچرنگ، ملٹری انڈسٹری اور ایرو اسپیس انجینئرنگ سمیت اعلیٰ درجے کی صنعتوں میں بڑے پیمانے پر استعمال کیا جاتا ہے۔

سلیکن کاربائیڈ سیرامکس کی کارکردگی کی خصوصیات

1. غیر معمولی اعلی سختی اور طاقت

سلکان کاربائیڈ سیرامک ​​کی لچکدار طاقت عام طور پر 400 MPa سے زیادہ ہوتی ہے اور اس کی Vickers کی سختی 2200 سے 3300 HV تک ہوتی ہے، جس سے یہ زیادہ بوجھ اور زیادہ تناؤ والے آپریٹنگ حالات کے لیے موزوں ہے۔

2. بہترین لچکدار ماڈیولس

سلکان کاربائیڈ سیرامک ​​کا لچکدار ماڈیولس 400–450 GPa کی حد کے اندر ہے، جو بھاری بھرکم حالات میں غیر معمولی ساختی سختی اور کم سے کم اخترتی پیش کرتا ہے۔

3. اعلی تھرمل استحکام

سلیکن کاربائیڈ سیرامک ​​1400 ° C غیر فعال یا کم کرنے والے ماحول میں روایتی دھاتوں اور سیرامکس کے مقابلے میں کم طاقت کے بگاڑ کو ظاہر کرتا ہے، جو اعلی درجہ حرارت اور زیادہ بوجھ کے حالات میں خرابی اور رینگنے کی ناکامی کے خلاف اعلی کارکردگی کا مظاہرہ کرتا ہے۔

4. بقایا کیمیائی سنکنرن مزاحمت

سلکان کاربائیڈ سیرامکس زیادہ تر مضبوط تیزابوں، مضبوط الکلیس، پگھلے ہوئے نمکیات اور مختلف سنکنرن گیسوں کے خلاف شاندار سنکنرن مزاحمت کے مالک ہیں۔ یہاں تک کہ جب اسے سنکنرن آپریٹنگ حالات کا سامنا کرنا پڑتا ہے تو، سلکان کاربائڈ سیرامک ​​اجزاء کی ساختی سالمیت کو کیمیائی سنکنرن سے مشکل سے نقصان پہنچا ہے۔

سیمی کنڈکٹر انڈسٹری میں سلکان کاربائیڈ سیرامک ​​کی ایپلی کیشنز

1. اینچنگ کا سامان

CVD SiC اجزاء کی طرحفوکس بجتی ہے، گیسشاور ہیڈز, wafer susceptors، کنارے کے حلقے سازگار برقی چالکتا کی نمائش کرتے ہیں، جس سے وہ پلازما اینچنگ کے آلات میں انتہائی سنکنرن اور اعلی توانائی والے پلازما ماحول میں بہترین کارکردگی کا مظاہرہ کرتے ہیں۔

2. لتھوگرافی کا سامان

لتھوگرافی کے عمل نانوسکل الائنمنٹ کی درستگی کا مطالبہ کرتے ہیں، اور لتھوگرافی کے نظام میں استعمال ہونے والے اجزاء کو اعلی تعدد کی نقل و حرکت اور مائیکرو میٹر سطح کے درستگی کنٹرول کے حالات میں کام کرنے کی ضرورت ہوتی ہے۔ کم تھرمل توسیع، اعلی تھرمل چالکتا اور اعلی سختی کے ساتھ، سلکان کاربائیڈ سیرامک ​​حصوں جیسے ویفر کے مراحل اورآپٹیکل آئینےساختی سالمیت کو محفوظ رکھ سکتا ہے اور شدید لتھوگرافی ماحول میں تھرمل مسخ کو کم کر سکتا ہے، جو مؤثر طریقے سے نظام کی مستحکم کارکردگی اور اعلیٰ لیتھوگرافی کی درستگی کی ضمانت دیتا ہے۔

3. ایپیٹیکسیل گروتھ ایکوئپمنٹ (MOCVD)

یکساں اور گھنے CVD SiC کوٹنگز کے ساتھ لیپت ویفر کیریئرز مستحکم اور قابل اعتماد کارکردگی کی نمائش کرتے ہیں۔ وہ مادی سربلندی اور ذرہ کی آلودگی کو مؤثر طریقے سے دبا سکتے ہیں، جس سے وہ ایپیٹیکسیل آلات میں اعلی درجہ حرارت اور انتہائی corrosive ایپلی کیشنز کے لیے ایک ناگزیر مثالی اختیار بن جاتے ہیں۔