اعلی درجہ حرارت کی بھٹی میں Semicorex SiC اجزاء

سی سیرامکاعلی درجہ حرارت مزاحم مواد ہے، جو سیمی کنڈکٹر کے عمل میں پائیدار ہے. اس دوران، سیمی کنڈکٹر کی سطح کو پورا کرنے کے لئے مواد اعلی طہارت کا حامل ہو سکتا ہے۔

Semicorex مختلف اپنی مرضی کے مطابق فراہم کرتا ہےسی سیرامکمصنوعات، 3D پرنٹنگ ٹیکنالوجی کے ساتھ.

1. 3D پرنٹنگ پوری شکل کی ایک بار مولڈنگ کی اجازت دیتی ہے، پھر سب کچھ کلین روم کے اندر، مینوفیکچرنگ کے عمل کے دوران آئنک آلودگی کے تعارف کو روکتی ہے۔

2. روایتی پرچی کاسٹنگ کے لیے سانچوں کی ضرورت ہوتی ہے، اور ڈیمولڈنگ کا عمل آسانی سے آلودگی کو متعارف کرا سکتا ہے۔

3. ٹیل گیس پائپ کے ساتھ افقی فرنس ٹیوب کے لیے، روایتی سلپ کاسٹنگ کے لیے فرنس باڈی اور گیس پائپ کی الگ الگ مولڈنگ اور سنٹرنگ کی ضرورت ہوتی ہے، اس کے بعد گیس نوزل ​​کو بانڈ کیے جانے سے پہلے دوسرا سنٹرنگ عمل ہوتا ہے۔ اس کے نتیجے میں جوڑوں کی طاقت کم ہوتی ہے، جس سے یہ ٹوٹنے کا خطرہ ہوتا ہے۔

4. چونکہ 3D پرنٹنگ سنٹرنگ سے پہلے پوری شکل بناتی ہے، اس کے بعد کی فنشنگ پیداوار کو نمایاں طور پر بہتر کرتی ہے، خاص طور پر ایسی مصنوعات کے لیے جن کے لیے سلاٹ کی ضرورت ہوتی ہے، جیسے ویفر بوٹس۔

5. 3D پرنٹنگ روایتی پرچی کاسٹنگ کے مقابلے میں بہتر کثافت کی یکسانیت بھی پیش کرتی ہے۔

سی سی کشتیاں

A ویفر کشتیایک پراسیس کیریئر ہے جو بنیادی طور پر اعلی درجہ حرارت کے پروسیسنگ آلات میں ویفرز رکھنے کے لیے استعمال ہوتا ہے۔

سیمی کنڈکٹر مینوفیکچرنگ کے عمل میں، ویفرز تھرمل پروسیسنگ کے متعدد مراحل سے گزرتے ہیں، جیسے کہ بازی، آکسیڈیشن، اینیلنگ، اور کیمیائی بخارات جمع (CVD)۔ ان عملوں کے دوران، ویفرز کو عام طور پر فرنس ٹیوب کے سامان میں جوڑا جاتا ہے، اور ویفر بوٹ مندرجہ ذیل کام انجام دیتی ہے:

• متعدد ویفرز کو لے کر جانا اور ایک مستحکم وقفہ برقرار رکھنا؛
• اعلی درجہ حرارت والے ماحول میں ویفرز کی پوزیشنی استحکام کو یقینی بنانا؛
• سامان کے ساتھ مل کر یکساں گیس کے بہاؤ کو یقینی بنانا۔

ویفر بوٹ کی ساخت اور مادی خصوصیات تھرمل فیلڈ کی تقسیم اور عمل کی مستقل مزاجی کو براہ راست متاثر کرتی ہیں۔

سلکان کاربائیڈ ویفر بوٹس عام طور پر ایک فریم ڈیزائن کا استعمال کرتی ہیں، جو اعلی ساختی استحکام کی پیشکش کرتی ہیں۔ عام خصوصیات میں شامل ہیں:

عین مطابق ویفر پوزیشننگ کے لیے ملٹی لیئر سلاٹ ڈھانچہ؛

ویفرز کے درمیان گیس کے بہاؤ کے لیے کھلا ڈیزائن؛

اعلی درجہ حرارت کے ماحول میں اخترتی کے خطرے کو کم کرنے کے لیے اعلی سختی کا فریم۔

سازوسامان کی قسم پر منحصر ہے، ویفر بوٹس کو عمودی یا افقی ڈھانچے کے طور پر ڈیزائن کیا جا سکتا ہے اور مختلف ویفر سائز (جیسے، 6 انچ، 8 انچ، 12 انچ) کو سپورٹ کیا جا سکتا ہے۔

SiC کینٹیلیور پیڈلز

فوٹو وولٹک انرجی مینوفیکچرنگ کے عمل میں، سلیکون ویفرز کو چھوٹی کشتیوں پر رکھا جاتا ہے، جو پھر بوٹ سپورٹ پر تھرمل پروسیس جیسے کہ بازی اور LPCVD کے لیے رکھی جاتی ہیں۔ سلکان کاربائیڈکینٹیلیور پیڈللوڈنگ کا ایک اہم جزو ہے جو کشتی کے سپورٹ کو سلکان ویفرز کو حرارتی بھٹی کے اندر اور باہر لے جاتا ہے۔ سلیکن کاربائیڈ کینٹیلیور پیڈل سلیکون ویفرز اور فرنس ٹیوبوں کی ارتکاز کو یقینی بناتا ہے، جس کے نتیجے میں زیادہ یکساں بازی اور غیر فعال ہو جاتی ہے۔ یہ اعلی درجہ حرارت پر بھی آلودگی سے پاک اور اخترتی سے پاک رہتا ہے، بہترین تھرمل جھٹکا مزاحمت کا مظاہرہ کرتا ہے، اور اس میں بھاری بوجھ کی گنجائش ہے، جس سے یہ فوٹو وولٹک سیل فیلڈ میں بڑے پیمانے پر استعمال ہوتا ہے۔

ایس سی ٹیوبز

فرنس ٹیوبیںتھرمل آکسیڈیشن، ڈفیوژن ڈوپنگ، اینیلنگ، اور کیمیائی بخارات جمع کرنے (LPCVD، APCVD) سمیت سیمی کنڈکٹر مینوفیکچرنگ کے عمل میں ایک کلیدی درخواست ہے۔ یہ عمل عام طور پر اعلی درجہ حرارت والی بھٹیوں میں انجام پاتے ہیں اور سیمی کنڈکٹر مینوفیکچرنگ میں بڑے اقدامات جیسے کہ آکسیڈیشن، ناپاک پھیلاؤ، اور کرسٹل کی خرابی کی مرمت کے لیے اینیلنگ شامل ہیں۔

درجہ حرارت کا آکسیکرن فرنس ٹیوب کا سب سے بنیادی عمل ہے، جس میں آکسیجن- یا آبی بخارات کے ماحول میں سلکان ویفر کو گرم کرنا شامل ہے۔ مائیکرو فیبریکیشن میں، تھرمل آکسیڈیشن ویفر کی سطح پر آکسائیڈ (عام طور پر سلکان ڈائی آکسائیڈ) کی پتلی پرت بنانے کا ایک طریقہ ہے۔ یہ تکنیک ایک آکسیڈینٹ کو زیادہ درجہ حرارت پر ویفر میں پھیلانے اور اس کے ساتھ رد عمل کرنے پر مجبور کرتی ہے۔

ڈفیوژن ڈوپنگ سیمی کنڈکٹر مینوفیکچرنگ میں ڈوپنگ کی ایک بنیادی تکنیک ہے۔ ناپاک ایٹموں (جیسے بوران اور فاسفورس) کو زیادہ درجہ حرارت پر سیمی کنڈکٹر سبسٹریٹ (بنیادی طور پر سلیکون ویفرز) میں منتقل کرنے کے لیے، یہ سبسٹریٹ کی مقامی چالکتا اور مزاحمتی صلاحیت کو تبدیل کر دیتا ہے، اس طرح PN جنکشن، بیس ریجنز، اور ایمیٹٹر ریجنز جیسے کلیدی ڈیوائس ڈھانچے کی تعمیر کرتا ہے۔

اینیلنگ کے عمل میں بنیادی طور پر ریپڈ تھرمل اینیلنگ (آر ٹی اے) شامل ہے، ایک قسم کا سامان جو انتہائی کم وقت (سیکنڈ) میں اعلی درجہ حرارت (300℃-1200℃) گرمی کا علاج حاصل کرتا ہے۔ یہ بڑے پیمانے پر اہم عملوں میں استعمال ہوتا ہے جیسے سیمی کنڈکٹر ڈوپینٹ ایکٹیویشن، سلسائیڈ کی تشکیل، اور سٹرین انجینئرنگ۔ اس کی بنیادی ٹیکنالوجی تیزی سے حرارتی اور ٹھنڈک حاصل کرنے کے لیے ہالوجن انفراریڈ لیمپ یا لیزر ذرائع کا استعمال، اندرونی ویفر کے نقائص کو ختم کرنے اور کرسٹل ڈھانچے کو بہتر بنانے میں مضمر ہے، اس طرح سیمی کنڈکٹر ڈیوائس کی کارکردگی کو بہتر بناتی ہے۔

ریپڈ تھرمل اینیلنگ فرنس ایپلی کیشنز کی ایک وسیع رینج پیش کرتے ہیں، جیسے کہ سلکان اور کمپاؤنڈ سیمی کنڈکٹر ویفرز کی اینیلنگ (RTA)، تیز تھرمل آکسیڈیشن (RTO)، ریپڈ تھرمل نائٹرائڈنگ (RTN)، سپن لیپت ڈوپینٹس کا تیز تھرمل پھیلاؤ، کرسٹلائزیشن، اور رابطہ۔