سلکان کاربائیڈ ویفر بوٹ

سیمی کنڈکٹر مینوفیکچرنگ میں، آکسیڈیشن میں ویفر کو اعلی درجہ حرارت والے ماحول میں رکھنا شامل ہے جہاں آکسیجن ویفر کی سطح پر آکسائڈ کی تہہ بنانے کے لیے بہتی ہے۔ یہ ویفر کو کیمیائی نجاستوں سے بچاتا ہے، رساو کرنٹ کو سرکٹری میں داخل ہونے سے روکتا ہے، آئن امپلانٹیشن کے دوران پھیلاؤ کو روکتا ہے، اور اینچنگ کے دوران ویفر کے پھسلن کو روکتا ہے، جس سے ویفر کی سطح پر ایک حفاظتی فلم بنتی ہے۔ اس مرحلے میں استعمال ہونے والا سامان آکسیڈیشن فرنس ہے۔ ری ایکشن چیمبر کے اندر اہم اجزاء میں ایک ویفر بوٹ، بیس، فرنس لائنر ٹیوب، اندرونی فرنس ٹیوب، اور ہیٹ انسولیشن بیفلز شامل ہیں۔ اعلی آپریٹنگ درجہ حرارت کی وجہ سے، ردعمل چیمبر کے اندر اجزاء کے لئے کارکردگی کی ضروریات بھی زیادہ ہیں.

دیویفر کشتیویفر ٹرانسپورٹ اور پروسیسنگ کے لیے ایک کیریئر کے طور پر استعمال کیا جاتا ہے۔ اس میں اعلی انضمام، اعلی وشوسنییتا، مخالف جامد خصوصیات، اعلی درجہ حرارت کی مزاحمت، لباس مزاحمت، اخترتی کے خلاف مزاحمت، اچھی استحکام، اور طویل سروس کی زندگی جیسے فوائد ہونے چاہئیں۔ چونکہ ویفر آکسیڈیشن کا درجہ حرارت تقریباً 800 ℃ اور 1300 ℃ کے درمیان ہے، اور ماحول میں دھاتی نجاست کے مواد کے لیے تقاضے انتہائی سخت ہیں، اس لیے کلیدی اجزاء جیسے کہ ویفر بوٹ میں نہ صرف بہترین تھرمل، مکینیکل اور کیمیائی خصوصیات ہونی چاہئیں، بلکہ ان میں دھاتی ناپاکی کا مواد بھی انتہائی کم ہونا چاہیے۔ سبسٹریٹ کی بنیاد پر، انہیں کوارٹج ویفر بوٹس، سلیکان کاربائیڈ سیرامک ​​ویفر بوٹس وغیرہ میں تقسیم کیا جا سکتا ہے۔ تاہم، 7nm سے نیچے پروسیس نوڈس کی ترقی اور اعلی درجہ حرارت کے پروسیس ونڈو کی توسیع کے ساتھ، روایتی کوارٹج کشتیاں بتدریج ناکافی ہوتی جا رہی ہیں۔ سلکان کاربائیڈ (SiC) کشتیاں آہستہ آہستہ روایتی کوارٹج محلول کی جگہ لے رہی ہیں۔

1. سیمی کنڈکٹر مینوفیکچرنگ

چپ مینوفیکچرنگ کے اعلی درجہ حرارت کے عمل میں، جیسے آکسیڈیشن، ڈفیوژن، کیمیائی بخارات جمع (CVD) اور آئن امپلانٹیشن میں، SiC بوٹس کو سلیکون ویفرز کو سپورٹ کرنے کے لیے استعمال کیا جاتا ہے، اس بات کو یقینی بناتے ہوئے کہ ویفرز زیادہ درجہ حرارت پر فلیٹ رہیں اور جالیوں کی غلط ترتیب یا خرابی کی وجہ سے کارکردگی کی ضمانت دیتے ہیں۔

2. فوٹوولٹک انڈسٹری

سلکان کاربائیڈ سیرامکس بہترین مکینیکل طاقت، تھرمل استحکام، اعلی درجہ حرارت کی مزاحمت، آکسیکرن مزاحمت، تھرمل جھٹکا مزاحمت، اور کیمیائی سنکنرن مزاحمت کے مالک ہیں، اور بڑے پیمانے پر مشہور شعبوں جیسے دھات کاری، مشینری، نئی توانائی، اور تعمیراتی مواد کیمیکلز میں استعمال ہوتے ہیں۔ اس کی کارکردگی فوٹو وولٹک مینوفیکچرنگ میں تھرمل عمل کے لیے بھی کافی ہے، جیسے کہ بازی، LPCVD (کم دباؤ والے کیمیائی بخارات کا ذخیرہ)، اور TOPcon خلیات کے لیے PECVD (پلازما کیمیائی بخارات جمع)۔ روایتی کوارٹج مواد کے مقابلے میں، سیلیکون کاربائیڈ سیرامک ​​مواد جو کشتی کی مدد، چھوٹی کشتیاں، اور نلی نما مصنوعات بنانے کے لیے استعمال ہوتے ہیں اعلیٰ طاقت، بہتر تھرمل استحکام، اور اعلی درجہ حرارت میں کوئی خرابی نہیں پیش کرتے ہیں۔ ان کی عمر بھی کوارٹز سے پانچ گنا زیادہ ہے، جو آپریٹنگ اخراجات کو نمایاں طور پر کم کرتی ہے اور دیکھ بھال کے بند ہونے کی وجہ سے توانائی کے نقصانات کو کم کرتی ہے۔ اس کے نتیجے میں لاگت کا واضح فائدہ ہوتا ہے، اور خام مال وسیع پیمانے پر دستیاب ہوتا ہے۔

3. تھرڈ جنریشن سیمی کنڈکٹر انڈسٹری

دھاتی-نامیاتی کیمیائی بخارات جمع کرنے (MOCVD) کے رد عمل کے چیمبروں میں، سلکان کاربائیڈ بوٹس نیلم کے ذیلی ذخائر کو سہارا دینے کے لیے استعمال کیے جاتے ہیں، جو امونیا (NH3) جیسے سنکنرن گیس کے ماحول کو برداشت کرتے ہیں، تیسری نسل کے سیمی کنڈکٹر مواد جیسے گیلیئم امپروومینٹی اور لوئس گیلیوم نائٹرائڈ کی کارکردگی کو بڑھاتے ہیں۔ ایل ای ڈی چپس۔ سلیکان کاربائیڈ سنگل کرسٹل گروتھ میں، سلیکان کاربائیڈ بوٹس سلکان کاربائیڈ سنگل کرسٹل گروتھ فرنس میں سیڈ کرسٹل سپورٹ کے طور پر کام کرتی ہیں، پگھلے ہوئے سلکان کے اعلی درجہ حرارت کے سنکنرن ماحول کو برداشت کرتی ہیں، سلکان کاربائیڈ سنگل کرسٹل کی نشوونما کے لیے مستحکم مدد فراہم کرتی ہیں، اور سلی کان کاربائیڈ سنگل کرسٹل کی تیاری کو فروغ دیتی ہیں۔

Semicorex اعلی معیار کے SiC سیرامک ​​کی فراہمی کرتا ہے۔ویفر کشتیاں. ہماری مصنوعات کو اعلی تھرمل استحکام، توسیعی سروس لائف اور غیر معمولی عمل کی مستقل مزاجی فراہم کرنے کے لیے انجنیئر کیا گیا ہے۔ اپنی مرضی کے مطابق حل یا اضافی تکنیکی معلومات کے لیے، براہ کرم بلا جھجھک ہماری انجینئرنگ ٹیم سے رابطہ کریں۔

فون: +86-13567891907

ای میل: sales@semicorex.com