اینیلنگ کا عمل کیا کردار ادا کرتا ہے؟

ویفر فیبریکیشن میں، اینیلنگ ٹریٹمنٹ ایک ناگزیر پروسیسنگ مرحلہ ہے۔ اینیلنگ بنیادی طور پر ہیٹ ٹریٹمنٹ کا ایک کنٹرول شدہ عمل ہے، جس میں سلکان ویفرز کو ایک مخصوص درجہ حرارت (عام طور پر 600 ° C اور 1200 ° C کے درمیان) گرم کرنا، انہیں ایک خاص مدت کے لیے رکھنا، اور مناسب شرح پر ٹھنڈا کرنا شامل ہے۔ یہ ویفرز کی میکروسکوپک شکل کو تبدیل نہیں کرتا بلکہ ان کے اندرونی مائیکرو اسٹرکچر کی مرمت اور اصلاح کرتا ہے۔

اینیلنگ کے افعال

حرارتی اور کولنگ پروفائلز کو درست طریقے سے ریگولیٹ کرنے سے، اینیلنگ کا عمل ڈوپینٹ ایٹموں کو متحرک کر سکتا ہے، جالیوں کے نقصان کو ٹھیک کر سکتا ہے، اندرونی تناؤ کو دور کرتا ہے، اور ویفرز کی برقی اعتبار کو بہتر بنا سکتا ہے۔ یہ اہم کارکردگی میں اضافہ بعد میں ویفر پروسیسنگ کے لیے ایک ٹھوس بنیاد رکھتا ہے، جو اعلیٰ طاقت اور اعلیٰ انضمام کے منظرناموں کے تحت اختتامی استعمال کے سیمی کنڈکٹر آلات کے طویل مدتی مستحکم آپریشن کو یقینی بنانے کے لیے بنیادی شرط کے طور پر کام کرتا ہے۔

1. ڈوپینٹ ایٹموں کی ایکٹیویشن

آئن امپلانٹیشن کے دوران، اعلی توانائی والے ڈوپینٹ ایٹم (مثلاً، بوران، فاسفورس، سنکھیا) کو گولیوں کی طرح سلیکون جالی میں لے جایا جاتا ہے۔ زیادہ تر ایٹم برقی طور پر غیر فعال حالت میں بیچوالا مقامات یا بے ترتیب پوزیشنوں میں پھنس جاتے ہیں - مفت الیکٹران یا سوراخ فراہم کرنے سے قاصر ہوتے ہیں، اور اس طرح سلیکون چالکتا کو تبدیل کرنے میں ناکام رہتے ہیں۔ اینیلنگ کافی تھرمل توانائی فراہم کرتی ہے تاکہ ان بیچوالا ایٹموں کو ہجرت کرنے، امپلانٹیشن نقصان سے پیدا ہونے والی خالی جالیوں کی جگہوں پر قبضہ کرنے، اور کرسٹل جالی میں ضم ہونے کے قابل بنایا جا سکے۔ اس عمل کو متبادل ایکٹیویشن کے نام سے جانا جاتا ہے۔ صرف چالو ڈوپینٹس مفت چارج کیریئرز کو PN جنکشن یا کنڈکٹیو چینلز بنانے میں حصہ ڈالتے ہیں۔ اینیلنگ کے بغیر، ایمپلانٹڈ نجاست محض جسمانی طور پر سلیکون کے اندر موجود ہوتی ہے جس کے برقی کارکردگی پر نہ ہونے کے برابر اثرات ہوتے ہیں۔

2. جالی کے نقصان کی مرمت

ہائی انرجی آئن امپلانٹیشن سلکان ایٹموں کو جالیوں کی جگہوں سے بے گھر کر دیتی ہے، جس سے متعدد خالی جگہیں، انٹرسٹیشلز، اور یہاں تک کہ ویفر کی سطح پر کئی سے دسیوں نینو میٹر موٹی ایک بے ساختہ تہہ پیدا ہوتی ہے۔ اس طرح کی ناقص جالییں کم کیریئر کی نقل و حرکت اور شدید رساو کا شکار ہوتی ہیں۔ اینیلنگ کے دوران، تھرمل توانائی کمپن، بازی، اور سلکان ایٹموں کی دوبارہ ترتیب کو متحرک کرتی ہے۔ بے ساختہ علاقے تقریباً کامل سنگل کرسٹل ڈھانچے کو بحال کرنے کے لیے ٹھوس فیز ایپیٹیکسی کے ذریعے دوبارہ تشکیل پاتے ہیں، جو چپٹا پن اور ساختی سالمیت کو بحال کرنے کے لیے گڑھے سے بھری سڑک کو دوبارہ سر کرنے کے مترادف ہے۔

3. اندرونی تناؤ سے نجات

ہائی ٹمپریچر آکسیکرن، پتلی فلم ڈپوزیشن، اور تیز درجہ حرارت سائیکلنگ کے دوران تھرمل اور مکینیکل تناؤ سلکان ویفرز میں جمع ہوتا ہے۔ غیر آرام دہ تناؤ ویفر کے جھکنے، سلپ لائنوں، ناکام لیتھوگرافی فوکس کرنے، یا یہاں تک کہ ڈیوائس کے فریکچر کا سبب بنتا ہے۔ اچھی طرح سے ڈیزائن کردہ درجہ حرارت کے پروفائلز کے ذریعے، اینیلنگ جالی کے ایٹموں کو یکساں طور پر بقایا تناؤ کو چھوڑنے کے لیے آرام دیتی ہے۔

4. برقی اعتبار میں بہتری بعض مینوفیکچرنگ اقدامات گہری سطح کی نجاستوں جیسے بھاری دھاتیں (لوہا، تانبا) متعارف کرواتے ہیں، جو کہ بینڈ گیپ میں دوبارہ جمع کرنے کے مراکز بناتے ہیں، اقلیتی کیریئر کی زندگی میں تیزی سے کمی کرتے ہیں اور رساو کرنٹ میں اضافہ کرتے ہیں۔ اعلی درجہ حرارت کی اینیلنگ ان نجاستوں کو اندر کی طرف پھیلاتی ہے اور سطح کو حاصل کرنے والی تہوں کے ذریعے پکڑی جاتی ہے، فعال علاقوں کو صاف کرتی ہے۔ یہ قدم خاص طور پر رساو سے متعلق حساس آلات جیسے سولر سیلز اور ڈیٹیکٹرز کے لیے اہم ہے۔

فون نمبر +86-13567891907 سے رابطہ کریں۔

ای میل: sales@semicorex.com