sic لیپت آدھے مون پرزے

آدھے مونون حصے ، جو پریمیم سلیکن کاربائڈ (ایس آئی سی) کے ساتھ لیپت ہیں ، وفر کیریئرز اور تھرمل کنڈکٹر دونوں کی حیثیت سے ایپیٹیکسی عمل کی ایک لازمی خصوصیت ہیں۔ ان کی خصوصی آدھی مون کی شکل ایک بیلناکار شکل میں جمع ہونے کا ایک طریقہ فراہم کرتی ہے جو ایپیٹاکسیل ری ایکٹرز کے اندر ایک حقیقت کا کام کرتی ہے۔ چیمبر یا ری ایکٹر کے ماحول میں ، ویفروں کو محفوظ بنانے کی ضرورت ہے بلکہ یکساں طور پر گرم بھی کی ضرورت ہے جبکہ تنقیدی پتلی فلم جمع ہونے کا وقت ہوتا ہے۔ ایس آئی سی لیپت آدھے مون کے حصے ان کاموں کو انجام دینے کے لئے مکینیکل سپورٹ ، تھرمل استحکام اور کیمیائی استحکام کی صحیح مقدار فراہم کرتے ہیں۔

گرافائٹآدھے مونون حصوں کے لئے سبسٹریٹ مواد ہے اور اس کی بہت اچھی تھرمل چالکتا اور نسبتا low کم وزن اور طاقت کی وجہ سے منتخب کیا گیا ہے۔ گریفائٹ کی سطح کو ایک گھنے اعلی طہارت کیمیائی بخارات جمع سلیکن کاربائڈ (سی وی ڈی ایس آئی سی) کی سطح سے ڈھک لیا جاتا ہے تاکہ ایپیٹاکسیل نمو سے وابستہ جارحانہ ماحول کے خلاف مضبوط ہوسکے۔ ایس آئی سی کوٹنگ حصوں کی سطح کی سختی کو بہتر بناتی ہے اور ہائیڈروجن اور کلورین جیسی رد عمل گیسوں کو مزاحمت فراہم کرتی ہے ، جو پروسیسنگ کے دوران اچھی طویل مدتی استحکام اور بہت محدود آلودگی فراہم کرتی ہے۔ کیمیائی اور تھرمل خصوصیات کے ساتھ مکینیکل طاقت کا صحیح توازن فراہم کرنے کے لئے گریفائٹ اور ایس آئی سی آدھے مون کے حصوں میں مل کر کام کرتے ہیں۔

کا ایک انتہائی اہم کردارsic لیپتہاف مون پرزے ویفرز کی حمایت ہے۔ توقع کی جاتی ہے کہ کرسٹل لائن پرتوں میں جعلی ساخت کی حتی کہ ترقی کو آسان بنانے کے لئے ویفروں کو پوری ایپیٹیکسی میں فلیٹ اور مستحکم ہوگا۔ معاون حصوں میں لچک یا عدم استحکام کی کوئی بھی ڈگری ایپیٹیکسی میں عیب پرتوں کو متعارف کر سکتی ہے اور بالآخر اس آلے کی کارکردگی کو متاثر کرسکتی ہے۔ آدھے مون کے حصے احتیاط سے حتمی جہتی استحکام کے ل high اعلی درجہ حرارت پر تیار کیے جاتے ہیں تاکہ وارپنگ کی صلاحیت کو محدود کیا جاسکے اور کسی بھی ایپیٹاکسیل ہدایت کے تحت مناسب وافر پلیسمنٹ فراہم کیا جاسکے۔ یہ ساختی سالمیت بہتر epitaxial معیار اور زیادہ پیداوار میں ترجمہ کرتی ہے۔

آدھے مون کے حصوں کا اتنا ہی اہم کام تھرمل ترسیل ہے۔ ایک ایپیٹیکسیل چیمبر میں ، یکساں ، مستحکم ریاست تھرمل چالکتا اعلی معیار کی پتلی فلموں کے حصول کے لئے کلیدی حیثیت رکھتی ہے۔ گریفائٹ کور حرارتی عمل میں مدد کرنے اور درجہ حرارت کی تقسیم کو بھی آسان بنانے کے لئے تھرمل چالکتا کے لئے مثالی طور پر موزوں ہے۔ ایس آئی سی کوٹنگ اس عمل کو تھرمل تھکاوٹ ، انحطاط اور اس عمل میں آلودگی سے بچاتا ہے۔ لہذا ، درجہ حرارت کی یکساں منتقلی کو حاصل کرنے اور عیب سے پاک ایپیٹیکسیل پرتوں کی ترقی کی حمایت کرنے کے لئے ویفروں کو یکساں طور پر گرم کیا جاسکتا ہے۔ دوسرے لفظوں میں ، فلم کی نشوونما کے عمل کے ل that جو مخصوص تھرمل حالات کا مطالبہ کرتے ہیں ، ایس آئی سی لیپت آدھے مون کے حصے کارکردگی اور وشوسنییتا دونوں کی پیش کش کرتے ہیں۔ لمبی عمر اجزاء کا ایک اہم پہلو ہے۔ ایپیٹیکسی اکثر بلند درجہ حرارت میں تھرمل سائیکلنگ پر مشتمل ہوتا ہے جس سے زیادہ عام تعمیراتی مواد بغیر کسی انحطاط کے برداشت کرسکتا ہے۔

صفائی ایک اور اہم فائدہ ہے۔ چونکہ ایپیٹیکسی آلودگی کے ل very بہت حساس ہے ، لہذا غیر معمولی اعلی طہارت کی سی وی ڈی ایس آئی سی کوٹنگ کا استعمال کرتے ہوئے رد عمل کے چیمبر سے آلودگی ختم ہوجاتی ہے۔ اس سے ذرہ نسل کو کم سے کم کیا جاتا ہے اور ویفروں کو نقائص سے بچایا جاتا ہے۔ ڈیوائس جیومیٹریوں کی مسلسل کمی اور ایپیٹیکسیل عمل کی ضروریات کو مسلسل تنگ کرنا مستقل پیداواری معیار کو محفوظ بنانے کے لئے آلودگی کنٹرول کو اہم بنا دیتا ہے۔

سیمیکوریکس ایس آئی سی کوٹڈ آدھے مون کے حصے نہ صرف صفائی ستھرائی کے خدشات کو حل کرتے ہیں ، بلکہ وہ لچکدار بھی ہیں اور مختلف ایپیٹاکسیل سسٹم کی ترتیب کو فٹ کرنے کے لئے ایڈجسٹ کیا جاسکتا ہے۔ وہ کچھ طول و عرض ، کوٹنگ کی موٹائی ، اور ڈیزائن/رواداری میں بھی تیار کی جاسکتی ہیں جو فرضی طور پر محکوم سازوسامان میں فٹ بیٹھتی ہیں۔ اس لچکدار کو یقین دلانے میں مدد ملتی ہے کہ موجودہ سامان بغیر کسی رکاوٹ کے مربوط ہوسکتا ہے اور انتہائی سازگار عمل کی مطابقت کو برقرار رکھ سکتا ہے۔