ٹی اے سی کوٹنگ گائیڈ رنگ

کا فنکشنٹی اے سی کوٹنگ گائیڈ رنگ:

عین مطابق گیس کے بہاؤ کا کنٹرول:TaC کوٹنگ گائیڈ رنگ کو حکمت عملی سے MOCVD ری ایکٹر کے گیس انجیکشن سسٹم کے اندر رکھا گیا ہے۔ اس کا بنیادی کام پیشگی گیسوں کے بہاؤ کو ہدایت دینا اور سبسٹریٹ ویفر سطح پر ان کی یکساں تقسیم کو یقینی بنانا ہے۔ گیس کے بہاؤ کی حرکیات پر یہ قطعی کنٹرول یکساں ایپیٹیکسیل پرت کی نشوونما اور مطلوبہ مادی خصوصیات کے حصول کے لیے ضروری ہے۔

تھرمل مینجمنٹ:TaC کوٹنگ گائیڈ کی انگوٹھی گرم سسیپٹر اور سبسٹریٹ کے قریب ہونے کی وجہ سے اکثر بلند درجہ حرارت پر کام کرتی ہے۔ TaC کی بہترین تھرمل چالکتا گرمی کو مؤثر طریقے سے ختم کرنے میں مدد کرتی ہے، مقامی حد سے زیادہ گرمی کو روکتی ہے اور ری ایکشن زون کے اندر درجہ حرارت کو مستحکم رکھتی ہے۔

MOCVD میں TaC کے فوائد:

انتہائی درجہ حرارت کی مزاحمت:TaC تمام مواد میں سب سے زیادہ پگھلنے والے پوائنٹس میں سے ایک پر فخر کرتا ہے، جو 3800°C سے زیادہ ہے۔ 

نمایاں کیمیائی جڑت:TaC MOCVD میں استعمال ہونے والی رد عمل کی پیشگی گیسوں، جیسے امونیا، سائلین، اور مختلف دھاتی-نامیاتی مرکبات سے سنکنرن اور کیمیائی حملے کے خلاف غیر معمولی مزاحمت کو ظاہر کرتا ہے۔

TaC اور SiC کا سنکنرن مزاحمت کا موازنہ

کم تھرمل توسیع:TaC کا تھرمل توسیع کا کم گتانک MOCVD عمل کے دوران درجہ حرارت کے اتار چڑھاو کی وجہ سے جہتی تبدیلیوں کو کم کرتا ہے۔ 

اعلی لباس مزاحمت:TaC کی سختی اور پائیداری MOCVD سسٹم کے اندر گیسوں اور ممکنہ ذرات کے مسلسل بہاؤ سے ٹوٹ پھوٹ کے لیے بہترین مزاحمت فراہم کرتی ہے۔ 

MOCVD کارکردگی کے فوائد:

MOCVD آلات میں Semicorex TaC کوٹنگ گائیڈ رنگ کا استعمال اس میں نمایاں حصہ ڈالتا ہے:

ایپیٹیکسیل پرت کی یکسانیت میں بہتری:TaC کوٹنگ گائیڈ رنگ کے ذریعے فراہم کردہ گیس کے بہاؤ کا درست کنٹرول یکساں پیشگی تقسیم کو یقینی بناتا ہے، جس کے نتیجے میں مسلسل موٹائی اور ساخت کے ساتھ انتہائی یکساں ایپیٹیکسیل پرت کی نشوونما ہوتی ہے۔

بہتر عمل استحکام:TaC کا تھرمل استحکام اور کیمیائی جڑتا MOCVD چیمبر کے اندر زیادہ مستحکم اور کنٹرول شدہ رد عمل کے ماحول میں حصہ ڈالتا ہے، عمل کی مختلف حالتوں کو کم کرتا ہے اور تولیدی صلاحیت کو بہتر بناتا ہے۔

آلات کے اپ ٹائم میں اضافہ:TaC کوٹنگ گائیڈ رنگ کی پائیداری اور توسیع شدہ عمر بار بار تبدیلی کی ضرورت کو کم کرتی ہے، دیکھ بھال کے وقت کو کم سے کم کرتی ہے اور MOCVD سسٹم کی آپریشنل کارکردگی کو زیادہ سے زیادہ کرتی ہے۔