Semicorex CVD کیمیائی بخارات جمع کرنے والی بھٹیاں اعلیٰ معیار کی ایپیٹیکسی کی تیاری کو زیادہ موثر بناتی ہیں۔ ہم اپنی مرضی کے مطابق فرنس حل فراہم کرتے ہیں۔ ہماری CVD کیمیائی بخارات جمع کرنے والی بھٹیوں میں قیمت کا اچھا فائدہ ہے اور وہ بیشتر یورپی اور امریکی مارکیٹوں کا احاطہ کرتے ہیں۔ ہم چین میں آپ کے طویل مدتی شراکت دار بننے کے منتظر ہیں۔
سیمیکوریکس CVD کیمیائی بخارات جمع کرنے والی بھٹیوں کو CVD اور CVI کے لیے ڈیزائن کیا گیا ہے، مواد کو سبسٹریٹ پر جمع کرنے کے لیے استعمال کیا جاتا ہے۔ رد عمل کا درجہ حرارت 2200 ° C تک ہے۔ ماس فلو کنٹرول اور ماڈیولنگ والوز ری ایکٹنٹ اور کیریئر گیسوں جیسے N, H, Ar, CO2، میتھین، سلکان ٹیٹرا کلورائیڈ، میتھائل ٹرائکلوروسیلین اور امونیا کو مربوط کرتے ہیں۔ جمع کیے گئے مواد میں سلکان کاربائیڈ، پائرولائٹک کاربن، بوران نائٹرائڈ، زنک سیلینائیڈ، اور زنک سلفائیڈ شامل ہیں۔ CVD کیمیائی بخارات جمع کرنے والی بھٹیوں کی افقی اور عمودی ساخت ہوتی ہے۔
درخواست:سی/سی جامع مواد کے لیے SiC کوٹنگ، گریفائٹ کے لیے SiC کوٹنگ، فائبر وغیرہ کے لیے SiC، BN اور ZrC کوٹنگ۔
Semicorex CVD کیمیائی بخارات جمع کرنے والی بھٹیوں کی خصوصیات
1. طویل مدتی استعمال کے لیے اعلیٰ معیار کے مواد سے بنا مضبوط ڈیزائن؛
2. ماس فلو کنٹرولرز اور اعلیٰ معیار کے والوز کے استعمال کے ذریعے گیس کی ترسیل کو درست طریقے سے کنٹرول کیا جاتا ہے۔
3. محفوظ اور قابل اعتماد آپریشن کے لیے زیادہ درجہ حرارت سے تحفظ اور گیس کے رساو کا پتہ لگانے جیسی حفاظتی خصوصیات سے لیس؛
4. ایک سے زیادہ درجہ حرارت کنٹرول زون کا استعمال، درجہ حرارت کی زبردست یکسانیت؛
5. اچھی سگ ماہی اثر اور عظیم انسداد آلودگی کی کارکردگی کے ساتھ خصوصی طور پر ڈیزائن کیا گیا جمع کرنے والا چیمبر؛
6. یکساں گیس کے بہاؤ کے ساتھ متعدد جمع کرنے والے چینلز کا استعمال، بغیر ڈیڈ کونوں اور کامل جمع کرنے والی سطح کے۔
7. اس میں جمع کرنے کے عمل کے دوران ٹار، ٹھوس دھول اور نامیاتی گیسوں کا علاج ہوتا ہے
سی وی ڈی فرنس کی تفصیلات |
|||||
ماڈل |
ورکنگ زون کا سائز (W × H × L) ملی میٹر |
زیادہ سے زیادہ درجہ حرارت (°C) |
درجہ حرارت یکسانیت (°C) |
الٹیمیٹ ویکیوم (پا) |
دباؤ میں اضافے کی شرح (Pa/h) |
LFH-6900-SiC |
600×600×900 |
1500 |
±7.5 |
1-100 |
0.67 |
LFH-10015-SiC |
1000×1000×1500 |
1500 |
±7.5 |
1-100 |
0.67 |
LFH-1220-SiC |
1200×1200×2000 |
1500 |
±10 |
1-100 |
0.67 |
LFH-1530-SiC |
1500×1500×3000 |
1500 |
±10 |
1-100 |
0.67 |
LFH-2535-SiC |
2500×2000×3500 |
1500 |
±10 |
1-100 |
0.67 |
LFV-D3050-SiC |
φ300×500 |
1500 |
±5 |
1-100 |
0.67 |
LFV-D6080-SiC |
φ600×800 |
1500 |
±7.5 |
1-100 |
0.67 |
LFV-D8120-SiC |
φ800×1200 |
1500 |
±7.5 |
1-100 |
0.67 |
LFV-D11-SiC |
φ1100×2000 |
1500 |
±10 |
1-100 |
0.67 |
LFV-D26-SiC |
φ2600×3200 |
1500 |
±10 |
1-100 |
0.67 |
*مذکورہ بالا پیرامیٹرز کو عمل کی ضروریات کے مطابق ایڈجسٹ کیا جا سکتا ہے، وہ قبولیت کے معیار کے طور پر نہیں ہیں، تفصیل کے مطابق۔ تکنیکی تجویز اور معاہدوں میں بیان کیا جائے گا۔