کیمیائی بخارات جمع کرنے (CVD) کے عمل کے ذریعے، Semicorex CVD SiC فوکس رِنگ کو باریک بینی سے جمع کیا جاتا ہے اور حتمی مصنوع کو حاصل کرنے کے لیے میکانکی طور پر کارروائی کی جاتی ہے۔ اپنی اعلیٰ مادی خصوصیات کے ساتھ، یہ جدید سیمی کنڈکٹر فیبریکیشن کے متقاضی ماحول میں ناگزیر ہے۔**
اعلی درجے کی کیمیائی بخارات جمع (CVD) کا عمل
CVD SiC فوکس رنگ کی تیاری میں استعمال ہونے والے CVD عمل میں SiC کو مخصوص شکلوں میں جمع کرنا شامل ہے، جس کے بعد سخت میکانیکل پروسیسنگ کی جاتی ہے۔ یہ طریقہ اس بات کو یقینی بناتا ہے کہ مواد کے مزاحمتی پیرامیٹرز ایک دوسرے کے مطابق ہیں، وسیع پیمانے پر تجربے کے بعد طے شدہ مادی تناسب کی بدولت۔ نتیجہ بے مثال پاکیزگی اور یکسانیت کے ساتھ ایک فوکس رنگ ہے۔
سپیریئر پلازما مزاحمت
CVD SiC فوکس رنگ کی سب سے زبردست خصوصیات میں سے ایک پلازما کے خلاف اس کی غیر معمولی مزاحمت ہے۔ یہ دیکھتے ہوئے کہ ویکیوم ری ایکشن چیمبر کے اندر فوکس رِنگز براہ راست پلازما کے سامنے آتے ہیں، ایسے مواد کی ضرورت جو اس طرح کے سخت حالات کو برداشت کرنے کے قابل ہو۔ SiC، 99.9995% کی پاکیزگی کی سطح کے ساتھ، نہ صرف سلیکون کی برقی چالکتا کا اشتراک کرتا ہے بلکہ آئنک اینچنگ کے خلاف اعلیٰ مزاحمت بھی پیش کرتا ہے، جس سے یہ پلازما ایچنگ کے آلات کے لیے ایک بہترین انتخاب ہے۔
اعلی کثافت اور کم کندہ کاری والیوم
سلیکون (Si) فوکس رِنگز کے مقابلے میں، CVD SiC فوکس رِنگ زیادہ کثافت کا حامل ہے، جو اینچنگ والیوم کو نمایاں طور پر کم کرتا ہے۔ یہ خاصیت فوکس رِنگ کی عمر کو بڑھانے اور سیمی کنڈکٹر مینوفیکچرنگ کے عمل کی سالمیت کو برقرار رکھنے میں بہت اہم ہے۔ اینچنگ کا کم حجم کم رکاوٹوں اور کم دیکھ بھال کے اخراجات میں ترجمہ کرتا ہے، بالآخر پیداوار کی کارکردگی کو بڑھاتا ہے۔
وسیع بینڈ گیپ اور بہترین موصلیت
SiC کا وسیع بینڈ گیپ بہترین موصلیت کی خصوصیات فراہم کرتا ہے، جو کہ غیر مطلوبہ برقی کرنٹ کو اینچنگ کے عمل میں مداخلت کرنے سے روکنے کے لیے ضروری ہے۔ یہ خصوصیت اس بات کو یقینی بناتی ہے کہ فوکس رِنگ انتہائی مشکل حالات میں بھی اپنی کارکردگی کو طویل عرصے تک برقرار رکھتی ہے۔
تھرمل چالکتا اور تھرمل شاک کے خلاف مزاحمت
CVD SiC فوکس رِنگز اعلی تھرمل چالکتا اور کم توسیعی گتانک کی نمائش کرتے ہیں، جو انہیں تھرمل جھٹکے کے لیے انتہائی مزاحم بناتا ہے۔ یہ خصوصیات خاص طور پر تیزی سے تھرمل پروسیسنگ (RTP) پر مشتمل ایپلی کیشنز میں فائدہ مند ہیں، جہاں فوکس رِنگ کو شدید گرمی کی دھڑکنوں کا سامنا کرنا پڑتا ہے جس کے بعد تیز ٹھنڈک ہوتی ہے۔ CVD SiC فوکس رنگ کی ایسی حالتوں میں مستحکم رہنے کی صلاحیت اسے جدید سیمی کنڈکٹر مینوفیکچرنگ میں ناگزیر بناتی ہے۔
مکینیکل طاقت اور استحکام
CVD SiC فوکس رنگ کی اعلی لچک اور سختی مکینیکل اثرات، پہننے اور سنکنرن کے خلاف بہترین مزاحمت فراہم کرتی ہے۔ یہ اوصاف اس بات کو یقینی بناتے ہیں کہ فوکس رِنگ سیمی کنڈکٹر فیبریکیشن کے سخت مطالبات کو برداشت کر سکتی ہے، وقت کے ساتھ ساتھ اپنی ساختی سالمیت اور کارکردگی کو برقرار رکھتی ہے۔
مختلف صنعتوں میں درخواستیں
1. سیمی کنڈکٹر مینوفیکچرنگ
سیمی کنڈکٹر مینوفیکچرنگ کے دائرے میں، CVD SiC فوکس رِنگ پلازما اینچنگ آلات کا ایک لازمی جزو ہے، خاص طور پر وہ جو کپیسیٹیو کپلڈ پلازما (سی سی پی) سسٹم کا استعمال کرتے ہیں۔ ان سسٹمز میں مطلوبہ اعلی پلازما توانائی CVD SiC فوکس رِنگ کی پلازما مزاحمت اور پائیداری کو انمول بناتی ہے۔ مزید برآں، اس کی بہترین تھرمل خصوصیات اسے RTP ایپلی کیشنز کے لیے اچھی طرح سے موزوں بناتی ہیں، جہاں تیز حرارتی اور کولنگ سائیکل عام ہیں۔
2. ایل ای ڈی ویفر کیریئرز
CVD SiC فوکس رنگ LED ویفر کیریئرز کی تیاری میں بھی انتہائی موثر ہے۔ مواد کی تھرمل استحکام اور کیمیائی سنکنرن کے خلاف مزاحمت اس بات کو یقینی بناتی ہے کہ فوکس کی انگوٹھی ایل ای ڈی فیبریکیشن کے دوران موجود سخت حالات کا مقابلہ کر سکتی ہے۔ یہ وشوسنییتا زیادہ پیداوار اور بہتر معیار کے ایل ای ڈی ویفرز کا ترجمہ کرتی ہے۔
3. پھٹنے والے اہداف
پھٹنے والی ایپلی کیشنز میں، CVD SiC فوکس رنگ کی اعلی سختی اور پہننے کے لیے مزاحمت اسے اہداف کو پھٹنے کے لیے ایک بہترین انتخاب بناتی ہے۔ اعلی توانائی کے اثرات کے تحت اپنی ساختی سالمیت کو برقرار رکھنے کے لیے فوکس رِنگ کی قابلیت مسلسل اور قابل بھروسہ پھٹنے والی کارکردگی کو یقینی بناتی ہے، جو پتلی فلموں اور کوٹنگز کی تیاری میں اہم ہے۔