کنارے بجتی ہے

سیمیکوریکس ایج کی انگوٹھی مکمل سیمیکمڈکٹر مینوفیکچرنگ کے عمل کا ایک اہم حصہ ہے ، خاص طور پر ویفر پروسیسنگ ایپلی کیشنز کے لئے جس میں پلازما اینچنگ اور کیمیائی بخارات جمع (سی وی ڈی) شامل ہیں۔ ایج کی انگوٹھی سیمیکمڈکٹر ویفر کے بیرونی فریم کو گھیرنے کے لئے ڈیزائن کی گئی ہے تاکہ عمل کے استحکام ، ویفر کی پیداوار ، اور آلہ کی وشوسنییتا کو بہتر بناتے ہوئے یکساں طور پر توانائی تقسیم کی جاسکے۔ ہمارے کنارے کی انگوٹھی اعلی طہارت کیمیائی بخارات جمع سلیکن کاربائڈ (سی وی ڈی ایس آئی سی) سے بنی ہیں اور عمل کے ماحول کے مطالبے کے لئے بنائی گئی ہیں۔

پلازما پر مبنی عملوں کے دوران مسائل پیدا ہوتے ہیں جہاں ویفر کے کنارے پر توانائی کی عدم یکسانیت اور پلازما مسخ نقائص ، عمل بڑھنے یا پیداوار کے نقصان کا خطرہ پیدا کرتا ہے۔ کنارے کی انگوٹھی ویفر کے بیرونی دائرہ کے آس پاس توانائی کے میدان کو مرکوز اور تشکیل دے کر اس خطرے کو کم سے کم کرتی ہے۔ کنارے کی انگوٹھی ویفر کے بیرونی کنارے کے بالکل باہر بیٹھتی ہے اور عمل کی راہ میں حائل رکاوٹوں اور توانائی کے رہنماؤں کے طور پر کام کرتی ہے جو کنارے کے اثرات کو کم سے کم کرتی ہے ، ویفر کنارے کو زیادہ سے زیادہ اتارنے سے بچاتی ہے ، اور ویفر سطح پر ضروری اضافی یکسانیت فراہم کرتی ہے۔

سی وی ڈی ایس آئی سی کے مادی فوائد:

ہمارے کنارے کی انگوٹھی اعلی طہارت سی وی ڈی ایس آئی سی سے تیار کی گئی ہے ، جو سخت عمل کے ماحول کے لئے منفرد انداز میں ڈیزائن اور انجنیئر ہے۔ سی وی ڈی ایس آئی سی کو غیر معمولی تھرمل چالکتا ، اعلی مکینیکل طاقت ، اور عمدہ کیمیائی مزاحمت کی خصوصیت ہے۔ یہ وہ تمام اوصاف ہیں جو سی وی ڈی ایس سی کو سیمی کنڈکٹر ایپلی کیشنز کے ل choice انتخاب کا مواد بناتے ہیں جس میں استحکام ، استحکام اور کم آلودگی کے مسائل کی ضرورت ہوتی ہے۔

اعلی طہارت: سی وی ڈی ایس آئی سی کے قریب صفر نجاست ہے جس کا مطلب ہے کہ یہاں کوئی ذرات پیدا نہیں ہوگا اور نہ ہی دھات کی آلودگی جو جدید نوڈ سیمیکمڈکٹرز میں اہم ہے۔

تھرمل استحکام: یہ مواد بلند درجہ حرارت پر جہتی استحکام کو برقرار رکھتا ہے ، جو اس کے پلازما کی پوزیشن میں مناسب ویفر پلیسمنٹ کے لئے بہت ضروری ہے۔

کیمیائی جڑنی: یہ سنجیدہ گیسوں جیسے فلورین یا کلورین پر مشتمل ہے جو عام طور پر پلازما اینچ ماحول کے ساتھ ساتھ سی وی ڈی کے عمل میں بھی استعمال ہوتا ہے۔

مکینیکل طاقت: سی وی ڈی ایس آئی سی زیادہ سے زیادہ زندگی کو یقینی بنانے اور بحالی کے اخراجات کو کم سے کم کرنے کے لئے توسیع شدہ سائیکل وقت کے دوران کریکنگ اور کٹاؤ کا مقابلہ کرسکتا ہے۔

عمل چیمبر کے ہندسی طول و عرض اور ویفر کے سائز کو ایڈجسٹ کرنے کے لئے ہر کنارے کی انگوٹھی اپنی مرضی کے مطابق انجنیئر ہوتی ہے۔ عام طور پر 200 ملی میٹر یا 300 ملی میٹر۔ ڈیزائن رواداری کو بہت مضبوطی سے لیا جاتا ہے تاکہ یہ یقینی بنایا جاسکے کہ موجودہ پروسیس ماڈیول میں ایج کی انگوٹی کو استعمال کیا جاسکتا ہے جس میں ترمیم کی ضرورت نہیں ہے۔ OEM کی منفرد ضروریات یا آلے کی تشکیل کو پورا کرنے کے لئے کسٹم جیومیٹری اور سطح کی تکمیل دستیاب ہے۔