ایل پی سی وی ڈی کے لیے فرنس ٹیوب

LPCVD عمل ایک پتلی فلم جمع کرنے کا عمل ہے جو کم دباؤ (عام طور پر 0.1 سے 1 Torr تک) ویکیوم حالات میں کیا جاتا ہے۔ یہ کم پریشر ویکیوم آپریٹنگ حالات ویفر کی سطح پر پیشگی گیسوں کے یکساں پھیلاؤ کو فروغ دینے میں مدد کر سکتے ہیں، جو اسے Si₃N₄، پولی-Si، SiO₂، PSG، اور کچھ دھاتی فلموں جیسے کہ ٹنگسٹن سمیت مواد کے عین مطابق جمع کرنے کے لیے مثالی بناتے ہیں۔

فرنس ٹیوبیںایل پی سی وی ڈی کے لیے ضروری اجزاء ہیں، جو ویفر ایل پی سی وی ڈی پروسیسنگ کے لیے مستحکم تخلیق چیمبر کے طور پر کام کرتے ہیں اور شاندار فلمی یکسانیت، غیر معمولی قدمی کوریج، اور سیمی کنڈکٹر ویفرز کے اعلیٰ فلمی معیار میں حصہ ڈالتے ہیں۔

ایل پی سی وی ڈی کے لیے سیمیکوریکس فرنس ٹیوب کے فوائد

1. قابل اعتماد سگ ماہی کی کارکردگی

LPCVD کے لیے Semicorex فرنس ٹیوبیں 3D پرنٹنگ ٹیکنالوجی کا استعمال کرتے ہوئے تیار کی جاتی ہیں، جس میں ایک ہموار، مکمل ڈھانچہ موجود ہے۔ یہ کمزوری سے پاک انٹیگرل ڈھانچہ روایتی ویلڈنگ یا اسمبلی کے عمل سے وابستہ سیون اور رساو کے خطرات سے بچتا ہے، بہتر عمل سیلنگ کو یقینی بناتا ہے۔  ایل پی سی وی ڈی کے لیے سیمیکوریکس فرنس ٹیوبیں خاص طور پر کم دباؤ، اعلی درجہ حرارت والے ایل پی سی وی ڈی پروسیسز کے لیے موزوں ہیں، جو گیس کے اخراج اور باہر کی ہوا کی مداخلت سے نمایاں طور پر بچ سکتی ہیں۔

2. بہترین تھرمل پراپرٹیز

اعلیٰ معیار کے سیمی کنڈکٹر گریڈ کے خام مال سے تیار کردہ، LPCVD کے لیے Semicorex فرنس ٹیوبیں اعلی تھرمل چالکتا اور بہترین تھرمل جھٹکا مزاحمت کی خصوصیت رکھتی ہیں۔ یہ شاندار تھرمل خصوصیات LPCVD کے لیے 600 سے 1100 ° C کے درجہ حرارت پر مستحکم طریقے سے کام کرنے کے لیے Semicorex فرنس ٹیوبیں بناتی ہیں اور اعلیٰ معیار کے ویفر تھرمل پروسیسنگ کے لیے یکساں درجہ حرارت کی تقسیم فراہم کرتی ہیں۔

3. سخت صفائی کنٹرول

Semicorex مواد کے انتخاب کے مرحلے سے شروع ہونے والی فرنس ٹیوبوں کی صفائی کو کنٹرول کرتا ہے۔ اعلی پاکیزگی والے خام مال کا استعمال LPCVD کے لیے سیمیکوریکس فرنس ٹیوبوں کو ایک بے مثال کم ناپاک مواد فراہم کرتا ہے۔ میٹرکس میٹریل کی ناپاکی کی سطح کو 100 پی پی ایم سے نیچے کنٹرول کیا جاتا ہے اور سی وی ڈی سی سی کوٹنگ میٹریل کو 1 پی پی ایم سے نیچے رکھا جاتا ہے۔ مزید برآں، ہر فرنس ٹیوب کو ڈیلیوری سے پہلے صفائی کے سخت معائنہ سے گزرنا پڑتا ہے تاکہ LPCVD کے عمل کے دوران ناپاکی کی آلودگی کو روکا جا سکے۔

4. یونیفارم اور گھنے کوٹنگ تحفظ

کیمیائی بخارات جمع کرنے کے ذریعے، LPCVD کے لیے Semicorex فرنس ٹیوبیں مضبوطی سے ایک گھنے اور یکساں SiC کوٹنگ سے ڈھکی ہوئی ہیں۔ یہCVD SiC کوٹنگزمضبوط آسنجن کی نمائش کرتا ہے، جو کوٹنگ کے چھیلنے اور اجزاء کے انحطاط کے خطرات کو مؤثر طریقے سے روکتا ہے یہاں تک کہ جب سخت اعلی درجہ حرارت اور سنکنرن حالات کا سامنا ہو۔