سیمی کنڈکٹر فیبریکیشن کے پیچیدہ ماحولیاتی نظام میں، تھرمل استحکام معیار کی بنیاد ہے۔ چاہے Silicon Carbide (SiC) کے انگوٹوں کو بڑھانا ہو یا GaN پاور ڈیوائسز کے لیے epitaxial تہوں کو جمع کرنا ہو، حرارتی عنصر کو قطعی درستگی فراہم کرنی چاہیے۔ ہمارے گریفائٹ ہیٹر آپ کے ری ایکٹر کے قابل اعتماد تھرمل کور بننے کے لیے بنائے گئے ہیں، جو 2,000°C تک ساختی سالمیت کو برقرار رکھنے کے لیے ڈیزائن کیے گئے ہیں۔
1. مٹیریل ایکسیلنس: ہائی پیوریٹی آئسوسٹیٹک گریفائٹ
ہیٹر کی کارکردگی اس کے سبسٹریٹ سے شروع ہوتی ہے۔ Semicorex میں، ہم صرف بہترین استعمال کرتے ہیں۔isostatic گریفائٹاس بات کو یقینی بنانے کے لیے تمام اطراف سے یکساں دباؤ کے تحت تشکیل دیا گیا:
- یکساں برقی مزاحمت:مقامی "گرم مقامات" کو ختم کرتا ہے جو غیر یکساں ویفر کی نشوونما کا سبب بنتے ہیں۔
- باریک اناج کی ساخت:اعلی مکینیکل طاقت سرپینٹائن راستوں کی پیچیدہ CNC مشینی کی اجازت دیتی ہے۔
- انتہائی کم راھ کا مواد:صاف کرنے کے عمل دھاتی نجاست کو <5 پی پی ایم تک کم کرتے ہیں، آلودگی کو روکتے ہیں۔
2. تھرمل یکسانیت کے لیے جیومیٹرک انجینئرنگ
ہمارے ہیٹروں میں ایک بھولبلییا مزاحمتی راستہ ہے جو کہ ایک بالکل سرکلر ہیٹ فیلڈ کو یقینی بنانے کے لیے ریاضی کے لحاظ سے بہتر بنایا گیا ہے:
- سرپینٹائن پاتھ ڈیزائن:تیز رفتار اور درست درجہ حرارت کی ریمپنگ کے لیے مزاحمت اور سطح کے رقبے کو بڑھاتا ہے۔
- انٹیگریٹڈ ماؤنٹنگ آرمز:محفوظ الیکٹریکل کنکشن کے لیے درستگی سے بھرے سوراخ، کم رابطے کی مزاحمت کو یقینی بناتے ہوئے۔
- حرارتی توازن:شعاعی درجہ حرارت کے میلان کو کم سے کم کرتے ہوئے، susceptor کی جیومیٹری سے ملنے کے لیے ڈیزائن کیا گیا ہے۔
3. اعلی درجے کی حفاظتی ملعمع کاری
Semicorex جارحانہ کیمیائی ماحول سے تحفظ کے لیے اعلی درجے کی کوٹنگ میں اضافہ پیش کرتا ہے:
- CVD SiC کوٹنگ:ایک ہرمیٹک مہر جو MOCVD ماحول میں "کاربن ڈسٹنگ" اور آکسیکرن کو روکتی ہے۔
- CVD TaC کوٹنگ:ہائیڈروجن کٹاؤ کے خلاف بے مثال مزاحمت فراہم کرتے ہوئے SiC کرسٹل کی نمو 2,000°C سے زیادہ ہے۔
تکنیکی کارکردگی کی وضاحتیں
| جائیداد | عام قدر | صنعتی فائدہ |
|---|---|---|
| زیادہ سے زیادہ آپریٹنگ درجہ حرارت | 2,200 ° C تک | تمام SiC/GaN گروتھ پروفائلز کو سپورٹ کرتا ہے۔ |
| راکھ کا مواد | <2 - 5 پی پی ایم | ڈوپینٹ سطح کی آلودگی کو روکتا ہے۔ |
| کثافت | 1.82 - 1.88 گرام/cm³ | اعلی مکینیکل اور تھرمل استحکام |
| لچکدار طاقت | 50 - 70 ایم پی اے | مکینیکل تناؤ اور کمپن کے خلاف مزاحمت |
| تھرمل چالکتا | 100 - 130 W/m·K | موثر اور تیز گرمی کی منتقلی |
سیمی کنڈکٹر فیب میں اہم ایپلی کیشنز
- SiC Ingot Growth (PVT):عین مطابق عمودی درجہ حرارت کا میلان فراہم کرنا جو سربلندی کو چلانے کے لیے درکار ہے۔
- MOCVD اور PECVD:III-V کمپاؤنڈ سیمی کنڈکٹرز میں susceptors کے لیے حرارت کے بنیادی ذریعہ کے طور پر کام کرنا۔
- ہائی ٹمپریچر اینیلنگ:ہائی وولٹیج پاور ڈیوائسز میں ڈوپینٹس کو چالو کرنے کے لیے صاف، قابل اعتماد حرارت۔
ہر گریفائٹ ہیٹر آپ کے مخصوص ری ایکٹر ماڈل میں کامل فٹ ہونے کو یقینی بنانے کے لیے 100% CMM جہتی تصدیق سے گزرتا ہے۔ ہم صنعت کے سخت ترین معیارات کی تعمیل کو یقینی بناتے ہوئے مکمل ٹریس ایبلٹی اور مادی سرٹیفیکیشن فراہم کرتے ہیں۔ مزاحمتی راستے کو بہتر بنا کر، ہم فیبس کو سائیکل کے اوقات کو کم کرنے اور فی بیچ میں "پرائم گریڈ" ویفرز کی تعداد بڑھانے میں مدد کرتے ہیں۔
