MOCVD ہیٹر

یہ ہیٹر اعلی پاکیزگی والے گریفائٹ کا استعمال کرتے ہوئے بنایا گیا ہے، جس میں ناپاکی کی سطح کو احتیاط سے 5 حصوں فی ملین (ppm) سے کم تک کنٹرول کیا گیا ہے۔ اس کے بعد گریفائٹ کو کیمیائی بخارات جمع کرنے (CVD) سلکان کاربائیڈ (SiC) کے ساتھ لیپت کیا جاتا ہے، جس میں طہارت کی سطح 99.99995% سے زیادہ ہوتی ہے۔ مواد کا یہ امتزاج ہیٹر کو خصوصیات کا ایک منفرد مجموعہ فراہم کرتا ہے جو دھاتی نامیاتی کیمیائی بخارات جمع کرنے (MOCVD) کے عمل میں بہترین کارکردگی کے حصول کے لیے ناگزیر ہیں۔

Semicorex MOCVD ہیٹر کی سب سے نمایاں خصوصیات میں سے ایک اس کی غیر معمولی کیمیائی پاکیزگی ہے۔ اعلی پاکیزگی والا گریفائٹ کور اعلی درجہ حرارت کے عمل کے دوران آلودگیوں کے تعارف کو نمایاں طور پر کم کرتا ہے، انتہائی صاف پتلی فلموں کے جمع ہونے کو یقینی بناتا ہے۔ CVD SiC کوٹنگ اس پاکیزگی کو مزید بڑھاتی ہے، کیمیائی تعاملات کے خلاف ایک مضبوط رکاوٹ فراہم کرتی ہے جو جمع شدہ تہوں کی سالمیت کو نقصان پہنچا سکتی ہے۔ اعلیٰ کارکردگی اور بھروسے کے ساتھ سیمی کنڈکٹر آلات تیار کرنے کے لیے کیمیائی پاکیزگی کی یہ اعلیٰ سطح بہت اہم ہے۔

مزید یہ کہ، ہیٹر انتہائی مضبوط اور تھرمل طور پر موثر ہے، جو MOCVD کے عمل کی مخصوص انتہائی تھرمل حالات کو برداشت کرنے کی صلاحیت رکھتا ہے۔ SiC کی موروثی خصوصیات، جیسے کہ اس کا اعلی پگھلنے کا مقام اور تھرمل چالکتا، ہیٹر کی حرارت کو موثر طریقے سے منظم کرنے اور تقسیم کرنے کی صلاحیت میں معاون ہے۔ یہ تھرمل کارکردگی پورے سبسٹریٹ میں یکساں حرارت کو یقینی بناتی ہے، جو یکساں فلم جمع کرنے اور تھرمل گریڈینٹ کو کم کرنے کے لیے ضروری ہے جو خرابیوں کا باعث بن سکتے ہیں۔

برقی چالکتا ایک اور شعبہ ہے جہاں Semicorex MOCVD ہیٹر بہترین ہے۔ ہائی پیوریٹی گریفائٹ کور بہترین برقی چالکتا فراہم کرتا ہے، جس سے ہیٹر زیادہ برقی بوجھ کو آسانی کے ساتھ سنبھال سکتا ہے۔ یہ صلاحیت MOCVD کے عمل میں خاص طور پر اہم ہے جس کے لیے درجہ حرارت اور جمع کرنے کی شرحوں پر قطعی کنٹرول کی ضرورت ہوتی ہے۔ زیادہ بوجھ کے تحت مستحکم برقی کارکردگی کو برقرار رکھنے کے لیے ہیٹر کی قابلیت مستقل اور تولیدی عمل کے حالات کو یقینی بناتی ہے، جو زیادہ پیداوار والے سیمی کنڈکٹر مینوفیکچرنگ کے لیے ضروری ہیں۔

ہیٹر کی فلیٹ سطح کو احتیاط سے سبسٹریٹ کی طرف زیادہ اخراج فراہم کرنے کے لیے ڈیزائن کیا گیا ہے، جس سے تابکاری حرارت کی منتقلی کی کارکردگی میں اضافہ ہوتا ہے۔ ڈیزائن کی یہ خصوصیت اس بات کو یقینی بناتی ہے کہ سبسٹریٹ کو یکساں حرارت ملے، جو کہ مستقل موٹائی اور خصوصیات کے ساتھ اعلیٰ معیار کی پتلی فلموں کے حصول کے لیے اہم ہے۔ اعلی اخراج کی سطح بھی ہیٹر کی مجموعی تھرمل کارکردگی میں حصہ ڈالتی ہے، توانائی کی کھپت اور آپریشنل اخراجات کو کم کرتی ہے۔

پائیداری کے لحاظ سے، Semicorex MOCVD ہیٹر غیر معمولی سنکنرن مزاحمت، inoxidizability، اور اعلی مکینیکل طاقت پیش کرتا ہے۔ CVD SiC کوٹنگ ایک مضبوط حفاظتی تہہ فراہم کرتی ہے جو MOCVD کے عمل میں عام طور پر آنے والی سنکنائی گیسوں اور کیمیکلز کے خلاف مزاحمت کرتی ہے۔ یہ سنکنرن مزاحمت ہیٹر کی آپریشنل عمر میں توسیع کرتی ہے، دیکھ بھال اور متبادل کے اخراجات کو کم کرتی ہے۔ ہیٹر کی غیر آکسیڈیبلٹی اس بات کو یقینی بناتی ہے کہ یہ مستحکم رہے اور اعلی درجہ حرارت پر بھی انحطاط نہ کرے، طویل آپریشنل ادوار میں اس کی کارکردگی اور ساختی سالمیت کو محفوظ رکھتا ہے۔

آخر میں، ہیٹر کی اعلی مکینیکل طاقت اس بات کو یقینی بناتی ہے کہ یہ تھرمل سائیکلنگ اور سبسٹریٹ ہینڈلنگ سے منسلک جسمانی دباؤ کو برداشت کر سکتا ہے۔ یہ مضبوطی مکینیکل ناکامی کے خطرے کو کم کرتی ہے، قابل اعتماد اور مسلسل آپریشن کو یقینی بناتی ہے۔