سیمیکوریکس ایس آئی سی ہیٹنگ فلیمینٹ ایک سلیکن کاربائڈ لیپت گریفائٹ ہیٹر ہے جو جدید سیمیکمڈکٹر مینوفیکچرنگ میں ویفر ہیٹنگ کے لئے ڈیزائن کیا گیا ہے۔ سیمیکوریکس کا انتخاب کرنے کا مطلب ایک ایسے قابل اعتماد ساتھی کا انتخاب کرنا ہے جو اعلی طہارت کے مواد ، صحت سے متعلق تخصیص ، اور انتہائی دیرپا کارکردگی کو انتہائی تقاضا کرنے والے تھرمل عمل کے لئے فراہم کرتا ہے۔*
سیمیکوریکس ایس آئی سی ہیٹنگ فلیمینٹ ، ایک اعلی ویکیوم ہیٹنگ عنصر جو نئے سیمیکمڈکٹر تانے بانے میں ویفر پروسیسنگ کے لئے تیار کیا گیا ہے ، ایک جدید حرارتی عنصر ہے جس کے ساتھ ڈیزائن کیا گیا ہے۔گریفائٹ کوراور اعلی طہارتسلیکن کاربائڈ کوٹنگ. خصوصی تنت میں گریفائٹ کی تھرمل چالکتا اور ایس آئی سی کی استحکام اور تحفظ کا استعمال کیا جاتا ہے ، جس کے نتیجے میں وقت کے ساتھ مستحکم اور توانائی سے موثر ہیٹر ہوتا ہے۔ ایس آئی سی حرارتی تنت کو یکساں طور پر گرم کرنے اور تصریح تک پہنچنے کے لئے ڈیزائن کیا گیا ہے ، جس سے یہ اعلی درجہ حرارت سیمیکمڈکٹر پروسیسنگ کے لئے ایک بہترین جزو بنتا ہے ، جیسے ایپیٹیکسی ، بازی ، اور اینیلنگ۔
گریفائٹ کی تھرمل خصوصیات اور معیاری بجلی کی خصوصیات کی وجہ سے ایس آئی سی حرارتی تنت اعلی طہارت گریفائٹ کے ساتھ بنایا گیا ہے۔ گریفائٹ برقی بوجھ کے تحت تیز رفتار ردعمل اور موثر حرارتی نظام کو چالو کرنے کے لئے حرارتی نظام کا اہم فنکشن مہیا کرتا ہے۔ گھنے اعلی طہارت کی سی سی کوٹنگ تنت کو آلودگی کے ممکنہ ذرائع سے بچاتی ہے۔ ایس آئی سی کوٹنگ ویفر کو کیمیائی آلودگی ، اور آکسیکرن کے ساتھ ساتھ چیمبر میں ذرات سے بھی بچاتی ہے ، تنت کی مفید زندگی کو بڑھا دیتی ہے ، اور ایک صاف ستھرا ماحول پیدا کرتی ہے۔
ایس آئی سی حرارتی تنت کا ایک اہم معیار یہ ہے کہ ویفر کی یکساں حرارتی نظام فراہم کرنے کی صلاحیت ہے۔ ویفر میں درجہ حرارت کی مختلف حالتوں سے نقائص یا کھوئی ہوئی پیداوار ہوسکتی ہے۔ ایس آئی سی حرارتی تنت میں عمدہ تھرمل چالکتا ہے اور تنت کا ٹھوس ڈیزائن اس بات کو یقینی بناتا ہے کہ گرمی مستحکم اور زیادہ یکساں ہوگی ، جس سے مطلق عمل پر قابو پانے کے لئے تھرمل تدریج محدود ہوں گے۔
ایس آئی سی ہیٹنگ فلیمینٹ حسب ضرورت ہے ، ہر تنت کی برقی مزاحمت کی قیمت کو اس کے عمل کے آلے اور آپریٹنگ ماحول کے ل custom اپنی مرضی کے مطابق بنایا جاسکتا ہے۔ یہ تخصیص سلیکن کاربائڈ کی ٹکنالوجی کو تنت جیومیٹری ، کوٹنگ کی موٹائی ، اور مادی خصوصیات کی مزاحمت کی قیمت کو کنٹرول کرنے کی اجازت دیتی ہے۔ ایک ایس آئی سی حرارتی تنت بہت سے مختلف فرنس ڈیزائنوں کو فٹ کر سکتا ہے جس میں بہت سے مختلف ویفر سائز اور عمل کی ترکیبیں ہیں۔ یہ خاص طور پر سیمیکمڈکٹر مینوفیکچررز کے لئے سازگار ہے ، کیونکہ یہ موجودہ عمل کو زیادہ موثر انداز میں چلانے کی اجازت دیتا ہے اور پہلے سے موجود نظاموں کے ساتھ مطابقت کو برقرار رکھتا ہے۔ کارکردگی کی تیسری خصوصیت استحکام ہے۔ اعلی درجہ حرارت سیمیکمڈکٹر کے عمل میں ، حرارتی عنصر کو انتہائی جارحانہ کیمیائی ماحول اور بار بار تھرمل سائیکلنگ کا سامنا کرنا پڑتا ہے۔
سیمیکوریکس ایس آئی سی ہیٹنگ فلیمینٹ کی ایپلی کیشنز سیمیکمڈکٹر ڈیوائس کے تانے بانے کے عمل کی ایک وسیع صف کا احاطہ کرتی ہیں۔ مثال کے طور پر ، ہیٹنگ عنصر اعلی معیار کی کرسٹل لائن فلموں کو جمع کرنے کے لئے ایک مستحکم اور یکساں سبسٹریٹ درجہ حرارت فراہم کرتا ہے۔