الیکٹروسٹیٹک چک (ESC) کی ساخت

ایکالیکٹروسٹیٹک چک (ESC)اینچنگ، ڈپوزیشن، یا پالش کرنے جیسے عمل کے دوران سیمی کنڈکٹر ویفرز کو جگہ پر رکھنے کے لیے استعمال ہونے والا آلہ ہے۔ یہ چک کی سطح پر ویفر کو اپنی طرف متوجہ کرنے اور محفوظ طریقے سے پکڑنے کے لیے ایک الیکٹرو سٹیٹک فیلڈ بنا کر کام کرتا ہے، ویفر ہینڈلنگ کے دوران استحکام اور عین مطابق سیدھ فراہم کرتا ہے۔ ESCs کو سیمی کنڈکٹر مینوفیکچرنگ میں وسیع پیمانے پر استعمال کیا جاتا ہے تاکہ عمل کی درستگی اور ویفر ہینڈلنگ کی کارکردگی کو بہتر بنایا جا سکے۔

روایتی کی اصل تصویرالیکٹرو سٹیٹک چک (ESC)تصویر میں دکھایا گیا ہے. ماڈلز کے درمیان بنیادی فرق الیکٹرو اسٹاٹک چک کی سطح پر موصل پرت کے مواد میں ہے۔ تصویر میں، گہرا رنگ ایلومینیم نائٹرائڈ کی نمائندگی کرتا ہے، جبکہ سفید رنگ ایلومینیم آکسائیڈ کی نمائندگی کرتا ہے۔ کی ساختelectrostatic چککئی حصوں پر مشتمل ہے:

1. **انسولیٹنگ پرت**: یہ تہہ ویفر کے ساتھ رابطے میں ہے، جو عام طور پر ایلومینیم نائٹرائڈ یا ایلومینیم آکسائیڈ سیرامک ​​سے بنی ہوتی ہے جس کی وجہ ان کی بہترین میکانی طاقت، اعلی درجہ حرارت کی مزاحمت، اور اچھی تھرمل چالکتا ہے۔

2. **ایجیکٹر پن اور ہی گیس ہول**: ایجیکٹر پن کو ویفر کی منتقلی کے لیے ڈیزائن کیا گیا ہے۔ جب ویفر اینچنگ چیمبر میں داخل ہوتا ہے تو، ایجیکٹر پن اسے سہارا دینے کے لیے اٹھتا ہے، اور پھر یہ ویفر کو الیکٹرو اسٹیٹک چک کی سطح پر رکھنے کے لیے نیچے آتا ہے۔ ایجیکٹر پن میں عام طور پر کھوکھلی ساخت ہوتی ہے، جس سے ویفر کو ٹھنڈا کرنے میں مدد کے لیے ہیلیم گیس متعارف کرائی جاتی ہے۔

3. **بیک ہی فلو چینل**: یہ جزو گرمی کی کھپت کو بڑھاتا ہے اور ویفر کو جذب کرنے میں سہولت فراہم کرتا ہے۔

4. **الیکٹرو اسٹاٹک الیکٹروڈ**: یہ الیکٹروڈ ایک برقی فیلڈ تیار کرتا ہے جو ویفر کو جگہ پر رکھنے کے لیے ضروری الیکٹرو اسٹیٹک فورس بناتا ہے۔ عام طور پر، الیکٹروڈ پلانر ہوتا ہے اور یا تو اس کے اندر سرایت کرتا ہے یا انسولیٹنگ مواد پر جمع ہوتا ہے۔ عام طور پر استعمال ہونے والے کوندکٹو مواد میں ایلومینیم، کاپر اور ٹنگسٹن شامل ہیں۔

5. **سرکولیٹنگ کولنگ واٹر اور ہیٹنگ الیکٹروڈ**: یہ عناصر بنیادی طور پر الیکٹرو سٹیٹک چک کے مجموعی درجہ حرارت کو کنٹرول کرنے کے ذمہ دار ہیں۔ ہیٹنگ الیکٹروڈ اور گردش کرنے والا ٹھنڈا پانی ویفر کے لیے مستحکم درجہ حرارت کو برقرار رکھنے کے لیے مل کر کام کرتا ہے۔ مکمل طور پر گردش کرنے والے ٹھنڈے پانی پر انحصار کرنا اینچنگ کے عمل کے دوران پیدا ہونے والی حرارت کو منظم کرنے میں ناکامی کا باعث بن سکتا ہے، ممکنہ طور پر اس عمل کے استحکام پر سمجھوتہ کر سکتا ہے۔  

Semicorex اعلیٰ معیار کی پیشکش کرتا ہے۔الیکٹروسٹیٹک چک (ESC). اگر آپ کی کوئی پوچھ گچھ ہے یا اضافی تفصیلات کی ضرورت ہے، تو براہ کرم ہم سے رابطہ کرنے میں سنکوچ نہ کریں۔

فون نمبر +86-13567891907 سے رابطہ کریں۔

ای میل: sales@semicorex.com