اینیلنگ

آئن امپلانٹیشن ڈوپینٹ آئنوں کو اس کی برقی خصوصیات کو تبدیل کرنے کے لئے سلیکون ویفر میں تیز کرنے اور لگانے کا عمل ہے۔ اینیلنگ ایک تھرمل علاج کا عمل ہے جو امپلانٹیشن کے عمل کی وجہ سے ہونے والے جالیوں کے نقصان کو ٹھیک کرنے کے لیے ویفر کو گرم کرتا ہے اور مطلوبہ برقی خصوصیات کو حاصل کرنے کے لیے ڈوپینٹ آئنوں کو چالو کرتا ہے۔

1. آئن امپلانٹیشن کا مقصد

آئن امپلانٹیشن جدید سیمی کنڈکٹر مینوفیکچرنگ میں ایک اہم عمل ہے۔ یہ تکنیک ڈوپینٹس کی قسم، ارتکاز، اور تقسیم پر قطعی کنٹرول کی اجازت دیتی ہے، جو سیمی کنڈکٹر آلات میں P-type اور N-type خطوں کو بنانے کے لیے ضروری ہیں۔ تاہم، آئن امپلانٹیشن کا عمل ویفر کی سطح پر ایک نقصان کی تہہ بنا سکتا ہے اور کرسٹل کے اندر جالی کے ڈھانچے میں ممکنہ طور پر خلل ڈال سکتا ہے، جس سے ڈیوائس کی کارکردگی پر منفی اثر پڑتا ہے۔

2. اینیلنگ کا عمل

ان مسائل کو حل کرنے کے لیے، اینیلنگ کی جاتی ہے۔ اس عمل میں ویفر کو ایک مخصوص درجہ حرارت پر گرم کرنا، اس درجہ حرارت کو ایک مقررہ مدت تک برقرار رکھنا، اور پھر اسے ٹھنڈا کرنا شامل ہے۔ ہیٹنگ کرسٹل کے اندر ایٹموں کو دوبارہ ترتیب دینے، اس کی مکمل جالی کی ساخت کو بحال کرنے، اور ڈوپینٹ آئنوں کو فعال کرنے میں مدد کرتی ہے، جس سے وہ جالی میں اپنی مناسب جگہ پر جاسکتے ہیں۔ یہ اصلاح سیمی کنڈکٹر کی ترسیلی خصوصیات کو بڑھاتی ہے۔

3. اینیلنگ کی اقسام

اینیلنگ کو کئی اقسام میں درجہ بندی کیا جا سکتا ہے، بشمول ریپڈ تھرمل اینیلنگ (آر ٹی اے)، فرنس اینیلنگ، اور لیزر اینیلنگ۔ آر ٹی اے ایک وسیع پیمانے پر استعمال شدہ طریقہ ہے جو ویفر کی سطح کو تیزی سے گرم کرنے کے لیے ایک ہائی پاور لائٹ سورس استعمال کرتا ہے۔ پروسیسنگ کا وقت عام طور پر چند سیکنڈ سے لے کر چند منٹ تک ہوتا ہے۔ فرنس اینیلنگ ایک طویل عرصے تک فرنس میں کی جاتی ہے، جس سے زیادہ یکساں حرارتی اثر حاصل ہوتا ہے۔ لیزر اینیلنگ ویفر کی سطح کو تیزی سے گرم کرنے کے لیے ہائی انرجی لیزرز کا استعمال کرتی ہے، جس سے بہت زیادہ حرارتی شرحیں اور مقامی حرارت کی اجازت ہوتی ہے۔

4. ڈیوائس کی کارکردگی پر اینیلنگ کا اثر

سیمی کنڈکٹر آلات کی کارکردگی کو یقینی بنانے کے لیے مناسب اینیلنگ ضروری ہے۔ یہ عمل نہ صرف آئن امپلانٹیشن سے پہنچنے والے نقصان کی مرمت کرتا ہے بلکہ اس بات کو بھی یقینی بناتا ہے کہ مطلوبہ برقی خصوصیات کو حاصل کرنے کے لیے ڈوپینٹ آئنوں کو مناسب طریقے سے چالو کیا جائے۔ اگر اینیلنگ غلط طریقے سے کی جاتی ہے، تو یہ ویفر پر نقائص میں اضافے کا باعث بن سکتی ہے، آلے کی کارکردگی کو بری طرح متاثر کرتی ہے اور ممکنہ طور پر ڈیوائس کی ناکامی کا سبب بن سکتی ہے۔

پوسٹ آئن امپلانٹیشن اینیلنگ سیمی کنڈکٹر مینوفیکچرنگ میں ایک اہم قدم ہے، جس میں ویفر کے لیے احتیاط سے کنٹرول شدہ ہیٹ ٹریٹمنٹ کا عمل شامل ہے۔ اینیلنگ کے حالات کو بہتر بنا کر، ویفر کی جالی ساخت کو بحال کیا جا سکتا ہے، ڈوپینٹ آئنوں کو چالو کیا جا سکتا ہے، اور سیمی کنڈکٹر آلات کی کارکردگی اور وشوسنییتا کو نمایاں طور پر بڑھایا جا سکتا ہے۔ جیسا کہ سیمی کنڈکٹر پروسیسنگ ٹیکنالوجی آگے بڑھ رہی ہے، آلات کی بڑھتی ہوئی کارکردگی کے تقاضوں کو پورا کرنے کے لیے اینیلنگ کے طریقے بھی تیار ہو رہے ہیں۔

سیمیکوریکس پیشکش کرتا ہے۔annealing کے عمل کے لئے اعلی معیار کے حل. اگر آپ کی کوئی پوچھ گچھ ہے یا اضافی تفصیلات کی ضرورت ہے، تو براہ کرم ہم سے رابطہ کرنے میں سنکوچ نہ کریں۔

فون نمبر +86-13567891907 سے رابطہ کریں۔

ای میل: sales@semicorex.com