سیمیکمڈکٹر شاور ہیڈس

The گیس کی تقسیم کی پلیٹ، اکثر "شاور ہیڈ" کے طور پر جانا جاتا ہے ، روایتی شاور ہیڈ سے مشابہت رکھتا ہے ، لیکن اس کی قیمت سیکڑوں ہزاروں تک پہنچ سکتی ہے ، جو ایک عام باتھ روم شاور سے نمایاں طور پر زیادہ ہے۔

گیس کی تقسیم کی پلیٹ کی سطح میں سیکڑوں یا اس سے بھی ہزاروں چھوٹے چھوٹے ، قطعی طور پر بندوبست شدہ سوراخ شامل ہیں ، جو ایک باریک بنے ہوئے اعصابی نیٹ ورک کی طرح ہیں۔ یہ ڈیزائن گیس کے بہاؤ اور انجیکشن زاویوں پر درست کنٹرول کی اجازت دیتا ہے ، اس بات کو یقینی بناتا ہے کہ ویفر پروسیسنگ ایریا کا ہر حصہ عمل گیس میں یکساں طور پر "نہا جاتا ہے"۔ اس سے نہ صرف پیداوار کی کارکردگی میں اضافہ ہوتا ہے بلکہ مصنوعات کے معیار میں بھی بہتری آتی ہے۔

گیس کی تقسیم کی پلیٹ کلیدی عمل جیسے صفائی ، اینچنگ ، اور جمع کرنے کے لئے لازمی ہے۔ یہ سیمیکمڈکٹر کے عمل کی درستگی اور حتمی مصنوعات کے معیار کو براہ راست متاثر کرتا ہے ، جس سے یہ گیس کی تقسیم کے مختلف ایپلی کیشنز میں ایک اہم جزو بنتا ہے۔

ویفر رد عمل کے عمل کے دوران ، کی سطحشاور ہیڈمائکروپورس (یپرچر 0.2-6 ملی میٹر) کے ساتھ گھنے ڈھکے ہوئے ہیں۔ عین مطابق ڈیزائن کردہ چینل کے ڈھانچے اور گیس کے راستے کے ذریعے ، خصوصی عمل گیس کو یکساں گیس پلیٹ پر ہزاروں چھوٹے سوراخوں سے گزرنے کی ضرورت ہے اور پھر یکساں طور پر ویفر سطح پر جمع کیا جائے۔ ویفر کے مختلف شعبوں میں فلمی پرت کو اعلی یکسانیت اور مستقل مزاجی کو یقینی بنانے کی ضرورت ہے۔ لہذا ، صفائی ستھرائی اور سنکنرن مزاحمت کے لئے انتہائی اعلی تقاضوں کے علاوہ ، گیس کی تقسیم کی پلیٹ میں گیس کی تقسیم کی پلیٹ میں چھوٹے سوراخوں کی مستقل مزاجی اور چھوٹے سوراخوں کی اندرونی دیوار پر بروں کی مستقل مزاجی پر سخت ضروریات ہیں۔ اگر یپرچر سائز رواداری اور مستقل مزاجی معیاری انحراف بہت زیادہ ہے یا کسی بھی اندرونی دیوار پر دھڑکن ہیں تو ، جمع شدہ فلمی پرت کی موٹائی مختلف ہوگی ، جو سامان کے عمل کی پیداوار کو براہ راست متاثر کرے گی۔

گیس کی تقسیم کی پلیٹ کا مواد بعض اوقات ٹوٹنے والا مواد ہوتا ہے (جیسے سنگل کرسٹل سلیکن ، کوارٹج گلاس ، سیرامکس) ، جو بیرونی قوت کے عمل کے تحت توڑنا آسان ہے۔ یہ مائکرو پور کے قطر کے 50 گنا کے اندر اندر ایک انتہائی گہری سوراخ بھی ہے ، اور کاٹنے کی صورتحال کا براہ راست مشاہدہ نہیں کیا جاسکتا۔ اس کے علاوہ ، کاٹنے سے گرمی کو منتقل کرنا آسان نہیں ہے اور چپ کو ہٹانا مشکل ہے ، اور چپ کی رکاوٹ کی وجہ سے ڈرل بٹ آسانی سے ٹوٹ جاتا ہے۔ لہذا ، اس کی پروسیسنگ اور تیاری بہت مشکل ہے۔

اس کے علاوہ ، پلازما کی مدد سے چلنے والے عمل (جیسے PECVD اور خشک اینچنگ) میں ، شاور ہیڈ ، الیکٹروڈ کے ایک حصے کے طور پر ، پلازما کی یکساں تقسیم کو فروغ دینے کے لئے RF بجلی کی فراہمی کے ذریعہ یکساں برقی فیلڈ تیار کرنے کی ضرورت ہے ، اس طرح اینچنگ یا جمع کرنے کی یکسانیت کو بہتر بنایا جاتا ہے۔

چونکہ سیمیکمڈکٹر مینوفیکچرنگ کے عمل میں استعمال ہونے والی گیسیں اعلی درجہ حرارت ، زیادہ دباؤ یا سنکنرن ہوسکتی ہیں ، لہذا شاور ہیڈ عام طور پر سنکنرن مزاحم مواد سے بنی ہوتی ہے۔ اصل پیداوار میں ، مختلف استعمال کے منظرناموں اور اصل مطلوبہ صحت سے متعلق کی وجہ سے ، گیس کی تقسیم کی پلیٹ کو اس کے مادی ساخت کے مطابق مندرجہ ذیل دو قسموں میں تقسیم کیا جاسکتا ہے:

(1) دھاتی گیس کی تقسیم کی پلیٹ

دھات کی گیس کی تقسیم پلیٹوں کے مواد میں ایلومینیم کھوٹ ، سٹینلیس سٹیل اور نکل دھات شامل ہیں ، جن میں سب سے زیادہ استعمال ہونے والی دھاتی گیس کی تقسیم پلیٹ مواد ایلومینیم کھوٹ ہے ، کیونکہ اس میں اچھی تھرمل چالکتا اور مضبوط سنکنرن مزاحمت ہے۔ یہ وسیع پیمانے پر دستیاب اور عمل میں آسان ہے۔

(2) غیر دھاتی گیس کی تقسیم کی پلیٹ

غیر دھاتی گیس کی تقسیم پلیٹوں کے مواد میں سنگل کرسٹل سلکان ، کوارٹج گلاس اور سیرامک مواد شامل ہیں۔ ان میں ، عام طور پر استعمال ہونے والے سیرامک مادے CVD-SIC ، ایلومینا سیرامکس ، سلیکن نائٹرائڈ سیرامکس ، وغیرہ ہیں۔

سیمیکوریکس اعلی معیار کی پیش کش کرتا ہےسی وی ڈی ایس آئی سی شاور ہیڈزسیمیکمڈکٹر انڈسٹری میں۔ اگر آپ کے پاس کوئی پوچھ گچھ ہے یا آپ کو اضافی تفصیلات کی ضرورت ہے تو ، براہ کرم ہم سے رابطہ کرنے میں سنکوچ نہ کریں۔

فون # +86-13567891907 سے رابطہ کریں

ای میل: سیلز@semicorex.com