سیمیکمڈکٹر میں صحت سے متعلق سیرامک اجزاء

صحت سے متعلق سیرامکسیمیکمڈکٹر مینوفیکچرنگ کے کلیدی عمل میں بنیادی آلات کے کلیدی اجزاء ہیں ، جیسے فوٹو لیتھوگرافی ، اینچنگ ، پتلی فلم جمع ، آئن امپلانٹیشن ، آئن امپلانٹیشن ، سی ایم پی ، وغیرہ ، جیسے بیئرنگ ، گائیڈ ریلز ، لائنر ، الیکٹرو اسٹاٹک چکس ، مکینیکل ہینڈلنگ اسلحہ ، وغیرہ خاص طور پر سامان کے گہا کے اندر ، اور بہاؤ کے تنوع کے اندر۔

اعلی کے آخر میں لتھوگرافی مشینوں میں ، اعلی عمل کی صحت سے متعلق حاصل کرنے کے ل good ، اچھی فنکشنل پیچیدگی ، ساختی استحکام ، تھرمل استحکام ، اور جہتی درستگی کے ساتھ سیرامک اجزاء کو وسیع پیمانے پر استعمال کرنا ضروری ہے ، جیسےالیکٹرو اسٹاٹک چک, ویکیوم چک، بلاک ، مقناطیسی اسٹیل کنکال واٹر کولنگ پلیٹ ، آئینہ ، گائیڈ ریل ، ورک پیس ٹیبل ، ماسک ٹیبل ، وغیرہ۔

1. الیکٹرو اسٹاٹک چک

الیکٹرو اسٹاٹک چک سیمیکمڈکٹر جزو مینوفیکچرنگ میں وسیع پیمانے پر استعمال ہونے والا سلکان ویفر کلیمپنگ اور ٹرانسفر ٹول ہے۔ یہ بڑے پیمانے پر پلازما اور ویکیوم پر مبنی سیمیکمڈکٹر کے عمل میں استعمال ہوتا ہے جیسے اینچنگ ، کیمیائی بخارات جمع اور آئن امپلانٹیشن۔ اہم سیرامک مواد ایلومینا سیرامکس اور سلیکن نائٹریڈ سیرامکس ہیں۔ مینوفیکچرنگ کی مشکلات پیچیدہ ساختی ڈیزائن ، خام مال کا انتخاب اور sintering ، درجہ حرارت کنٹرول ، اور اعلی صحت سے متعلق پروسیسنگ ٹکنالوجی ہیں۔

2. موبائل پلیٹ فارم

لتھوگرافی مشین کے موبائل پلیٹ فارم کا مادی سسٹم ڈیزائن لتھوگرافی مشین کی اعلی صحت سے متعلق اور تیز رفتار کی کلید ہے۔ اسکیننگ کے عمل کے دوران تیز رفتار نقل و حرکت کی وجہ سے موبائل پلیٹ فارم کی اخترتی کو مؤثر طریقے سے مزاحمت کرنے کے ل the ، پلیٹ فارم کے مواد میں اعلی مخصوص سختی کے ساتھ کم تھرمل توسیع مواد شامل ہونا چاہئے ، یعنی اس طرح کے مواد میں اعلی ماڈیولس اور کم کثافت کی ضروریات ہونی چاہئیں۔ اس کے علاوہ ، مواد کو بھی ایک اعلی مخصوص سختی کی ضرورت ہے ، جو پورے پلیٹ فارم کو ایک ہی مسخ کی سطح کو برقرار رکھنے کے قابل بناتا ہے جبکہ اعلی ایکسلریشن اور رفتار کا مقابلہ کرتے ہوئے۔ بغیر کسی مسخ کے تیز رفتار سے ماسک کو تیز رفتار سے تبدیل کرکے ، تھرو پٹ میں اضافہ کیا جاتا ہے ، اور اعلی صحت سے متعلق یقینی بناتے ہوئے کام کی کارکردگی میں بہتری لائی جاتی ہے۔

پہلے سے طے شدہ چپ فنکشن کو حاصل کرنے کے لئے چپ سرکٹ ڈایاگرام کو ماسک سے ویفر میں منتقل کرنے کے ل the ، اینچنگ کا عمل ایک اہم حصہ ہے۔ اینچنگ آلات پر سیرامک مواد سے بنے اجزاء میں بنیادی طور پر چیمبر ، ونڈو آئینے ، گیس بازی پلیٹ ، نوزل ، موصلیت کی انگوٹی ، کور پلیٹ ، فوکسنگ رنگ اور الیکٹرو اسٹاٹک چک شامل ہیں۔

3. چیمبر

چونکہ سیمیکمڈکٹر آلات کی کم سے کم خصوصیت کا سائز سکڑتا رہتا ہے ، ویفر نقائص کی ضروریات زیادہ سخت ہوجاتی ہیں۔ دھات کی نجاستوں اور ذرات کے ذریعہ آلودگی سے بچنے کے ل the ، گہاوں میں سیمیکمڈکٹر آلات کی گہاوں اور اجزاء کے مواد کے لئے مزید سخت ضروریات پیش کی گئیں۔ فی الحال ، سیرامک مادے اینچنگ مشین گہاوں کے لئے اہم مواد بن چکے ہیں۔

مادی ضروریات (1) اعلی طہارت اور کم دھات کی نجاست کا مواد۔ (2) اہم اجزاء کی مستحکم کیمیائی خصوصیات ، خاص طور پر ہالوجن سنکنرن گیسوں کے ساتھ کم کیمیائی رد عمل کی شرح۔ (3) اعلی کثافت اور کچھ کھلے سوراخ۔ (4) چھوٹے اناج اور کم اناج کی حدود کا مواد۔ (5) عمدہ مکینیکل خصوصیات اور آسان پیداوار اور پروسیسنگ ؛ ()) کچھ اجزاء میں کارکردگی کی دیگر ضروریات ہوسکتی ہیں ، جیسے اچھی ڈائی الیکٹرک خصوصیات ، بجلی کی چالکتا یا تھرمل چالکتا۔

4. شاور ہیڈ

اس کی سطح کو ایک خاص طور پر بنے ہوئے اعصابی نیٹ ورک کی طرح سوراخوں کے ذریعے سیکڑوں یا ہزاروں چھوٹے چھوٹے چھوٹے چھوٹے چھوٹے چھوٹے چھوٹے چھوٹے نیٹ ورک کی طرح تقسیم کیا گیا ہے ، جو گیس کے بہاؤ اور انجیکشن زاویہ کو درست طریقے سے کنٹرول کرسکتا ہے تاکہ اس بات کو یقینی بنایا جاسکے کہ ویفر پروسیسنگ کا ہر انچ یکساں طور پر "غسل" ہے ، جس سے پیداوار کی کارکردگی اور مصنوعات کے معیار کو بہتر بنایا جاسکتا ہے۔

تکنیکی مشکلات صفائی ستھرائی اور سنکنرن مزاحمت کے لئے انتہائی اعلی تقاضوں کے علاوہ ، گیس کی تقسیم پلیٹ میں گیس کی تقسیم کی پلیٹ میں چھوٹے سوراخوں کی یپرچر کی مستقل مزاجی اور چھوٹے سوراخوں کی اندرونی دیوار پر بروں کی مستقل مزاجی پر سخت ضروریات ہیں۔ اگر یپرچر سائز رواداری اور مستقل مزاجی معیاری انحراف بہت زیادہ ہے یا کسی بھی اندرونی دیوار پر برے ہیں تو ، جمع شدہ فلمی پرت کی موٹائی مختلف ہوگی ، جو سامان کے عمل کی پیداوار کو براہ راست متاثر کرے گی۔

5. فوکس رنگ

فوکس رنگ کا کام متوازن پلازما فراہم کرنا ہے ، جس کے لئے سلیکن ویفر کے لئے اسی طرح کی چالکتا کی ضرورت ہوتی ہے۔ ماضی میں ، استعمال ہونے والا مواد بنیادی طور پر کنڈکٹو سلیکن تھا ، لیکن فلورین پر مشتمل پلازما سلیکن کے ساتھ غیر مستحکم سلیکن فلورائڈ پیدا کرنے کے لئے رد عمل کا اظہار کرے گا ، جو اس کی خدمت کی زندگی کو بہت کم کرتا ہے ، جس کے نتیجے میں اجزاء کی بار بار تبدیلی اور پیداوار کی کارکردگی کو کم کیا جاتا ہے۔ ایس آئی سی کے پاس سنگل کرسٹل سی کے ساتھ بھی اسی طرح کی چالکتا ہے ، اور اس میں پلازما اینچنگ کے خلاف بہتر مزاحمت ہے ، لہذا اس کو انگوٹھیوں پر توجہ دینے کے لئے ایک مواد کے طور پر استعمال کیا جاسکتا ہے۔

سیمیکوریکس اعلی معیار کی پیش کش کرتا ہےسیرامک حصےسیمیکمڈکٹر انڈسٹری میں۔ اگر آپ کے پاس کوئی پوچھ گچھ ہے یا آپ کو اضافی تفصیلات کی ضرورت ہے تو ، براہ کرم ہم سے رابطہ کرنے میں سنکوچ نہ کریں۔

فون # +86-13567891907 سے رابطہ کریں

ای میل: سیلز@semicorex.com