اینچنگ میں انگوٹھی کیا ہیں؟

چپ مینوفیکچرنگ میں ، فوٹو لیتھوگرافی اور اینچنگ دو قریب سے منسلک اقدامات ہیں۔ فوٹو لیتھوگرافی نے اینچنگ سے پہلے ، جہاں فوٹوورسٹسٹ کا استعمال کرتے ہوئے ویفر پر سرکٹ پیٹرن تیار کیا جاتا ہے۔ اس کے بعد اینچنگ فلمی پرتوں کو ہٹاتا ہے جس میں فوٹوورسٹ کے ذریعہ شامل نہیں ہوتا ہے ، ماسک سے نقاب سے ویفر میں منتقلی کو مکمل کرتا ہے اور آئن امپلانٹیشن جیسے اس کے بعد کے اقدامات کی تیاری کرتا ہے۔

اینچنگ میں کیمیائی یا جسمانی طریقوں کا استعمال کرتے ہوئے غیر ضروری مواد کو منتخب کرنا شامل ہے۔ کوٹنگ کے بعد ، کوٹنگ ، فوٹو لیتھوگرافی ، اور ترقی کے خلاف مزاحمت کرتے ہوئے ، اینچنگ ویفر کی سطح پر بے نقاب غیر ضروری پتلی فلمی مواد کو ہٹاتا ہے ، جس سے صرف مطلوبہ علاقوں کو چھوڑ دیا جاتا ہے۔ اس کے بعد اضافی فوٹوورسٹ کو ہٹا دیا جاتا ہے۔ ان اقدامات کو بار بار دہرانا پیچیدہ مربوط سرکٹس پیدا کرتا ہے۔ چونکہ اینچنگ میں مادی ہٹانا شامل ہے ، لہذا اسے "گھٹاؤ عمل" کہا جاتا ہے۔

خشک اینچنگ ، ​​جسے پلازما اینچنگ بھی کہا جاتا ہے ، سیمیکمڈکٹر اینچنگ میں غالب طریقہ ہے۔ پلازما ایچرز کو ان کی پلازما جنریشن اور کنٹرول ٹکنالوجیوں کی بنیاد پر دو قسموں میں وسیع پیمانے پر درجہ بندی کیا گیا ہے: کیپسیٹ طور پر جوڑا پلازما (سی سی پی) اینچنگ اور آگاہی سے جوڑا پلازما (آئی سی پی) اینچنگ۔ سی سی پی ایچرز بنیادی طور پر ڈائی الیکٹرک مادوں کو اینچنگ کے لئے استعمال کیا جاتا ہے ، جبکہ آئی سی پی ایچرز بنیادی طور پر سلیکن اور دھاتوں کو اینچنگ کے لئے استعمال ہوتے ہیں ، اور انہیں کنڈکٹر اینچرز کے نام سے بھی جانا جاتا ہے۔ ڈائی الیکٹرک ایٹچرز ڈائی الیکٹرک مادے کو نشانہ بناتے ہیں جیسے سلیکن آکسائڈ ، سلیکن نائٹریڈ ، اور ہافنیم ڈائی آکسائیڈ ، جبکہ کنڈکٹر اینچرز سلیکن مواد کو نشانہ بناتے ہیں (سنگل کرسٹل سلیکن ، پولی کرسٹل لائن سلیکون ، اور سلائڈ ، وغیرہ) اور دھات کے مواد (ایلومینیم ، ٹنگسٹن ، وغیرہ)۔

اینچنگ کے عمل میں ، ہم بنیادی طور پر دو قسم کے حلقے استعمال کریں گے: فوکس کی انگوٹھی اور ڈھال کی انگوٹھی۔

فوکس رنگ

پلازما کے کنارے اثر کی وجہ سے ، کثافت مرکز میں زیادہ اور کناروں پر کم ہے۔ فوکس کی انگوٹھی ، اس کی کنڈولر شکل اور سی وی ڈی ایس آئی سی کی مادی خصوصیات کے ذریعے ، ایک مخصوص برقی فیلڈ تیار کرتی ہے۔ یہ فیلڈ پلازما میں چارج شدہ ذرات (آئنوں اور الیکٹرانوں) کو خاص طور پر کنارے پر ، ویفر سطح تک رہنمائی اور محدود کرتا ہے۔ اس سے پلازما کثافت کو مؤثر طریقے سے کنارے پر اٹھایا جاتا ہے ، اور اسے مرکز میں اس کے قریب لایا جاتا ہے۔ اس سے ویفر کے پار اینچنگ یکسانیت میں نمایاں بہتری آتی ہے ، کنارے کو پہنچنے والے نقصان کو کم کرتا ہے ، اور پیداوار میں اضافہ ہوتا ہے۔

شیلڈ رنگ

عام طور پر الیکٹروڈ کے باہر واقع ہے ، اس کا بنیادی کام پلازما کے اوور فلو کو روکنا ہے۔ ڈھانچے پر منحصر ہے ، یہ الیکٹروڈ کے حصے کے طور پر بھی کام کرسکتا ہے۔ عام مواد میں سی وی ڈی ایس آئی سی یا سنگل کرسٹل سلیکن شامل ہیں۔

سیمیکوریکس اعلی معیار کی پیش کش کرتا ہےCVD sicاورسلکانگاہکوں کی ضروریات پر مبنی انگوٹھیوں کی کھنگیاں۔ اگر آپ کے پاس کوئی پوچھ گچھ ہے یا آپ کو اضافی تفصیلات کی ضرورت ہے تو ، براہ کرم ہم سے رابطہ کرنے میں سنکوچ نہ کریں۔

فون # +86-13567891907 سے رابطہ کریں

ای میل: سیلز@semicorex.com