اینچنگ میں شاور ہیڈز

سلیکن کاربائڈ (ایس آئی سی) شاور ہیڈ سیمیکمڈکٹر مینوفیکچرنگ آلات میں کلیدی اجزاء ہیں ، جو کیمیائی بخارات جمع کرنے (سی وی ڈی) اور جوہری پرت جمع (ALD) جیسے جدید عمل میں اہم کردار ادا کرتے ہیں۔

a کا بنیادی کامsic شاور ہیڈیکساں طور پر ری ایکٹنٹ گیسوں کو ویفر سطح پر تقسیم کرنا ہے ، وردی اور مستقل جمع شدہ پرتوں کو یقینی بناتا ہے۔ سی وی ڈی اور اے ایل ڈی کے عمل میں ، اعلی معیار کی پتلی فلموں کے حصول کے لئے ری ایکٹنٹ گیسوں کی یکساں تقسیم بہت ضروری ہے۔ ایس آئی سی شاور ہیڈز کی انوکھی ڈھانچہ اور مادی خصوصیات گیس کی تقسیم اور یکساں گیس کے بہاؤ کو قابل بناتی ہیں ، جس سے سیمیکمڈکٹر مینوفیکچرنگ میں فلمی معیار اور کارکردگی کی سخت ضروریات کو پورا کیا جاتا ہے۔

ویفر رد عمل کے عمل کے دوران ، شاور ہیڈ کی سطح گھنے مائکروپورس (تاکنا قطر 0.2-6 ملی میٹر) کے ساتھ ڈھکی ہوئی ہے۔ بالکل ڈیزائن کردہ تاکنا ساخت اور گیس کے راستے کے ذریعے ، گیس کی تقسیم کی پلیٹ میں ہزاروں چھوٹے سوراخوں سے خصوصی عمل گیسوں کو منتقل کیا جاتا ہے اور یکساں طور پر ویفر سطح پر جمع ہوتا ہے۔ اس سے ویفر کے مختلف علاقوں میں انتہائی یکساں اور مستقل فلمی پرتوں کو یقینی بنایا جاتا ہے۔ لہذا ، صفائی ستھرائی اور سنکنرن مزاحمت کے لئے انتہائی اعلی تقاضوں کے علاوہ ، گیس کی تقسیم کی پلیٹ یپرچر قطر کی مستقل مزاجی اور یپرچر کی اندرونی دیواروں پر بروں کی موجودگی پر سخت مطالبات بھی رکھتی ہے۔ ضرورت سے زیادہ رواداری اور مستقل مزاجی یپرچر کے سائز کی معیاری انحراف ، یا کسی بھی اندرونی دیوار پر بروں کی موجودگی ، جمع شدہ فلم کی ناہموار موٹائی کا باعث بنے گی ، جس سے سامان کے عمل کی پیداوار کو براہ راست متاثر کیا جائے گا۔ پلازما کی مدد سے چلنے والے عمل (جیسے پی ای سی وی ڈی اور خشک اینچنگ) میں ، شاور ہیڈ ، الیکٹروڈ کے ایک حصے کے طور پر ، ایک آریف پاور سورس کا استعمال کرتے ہوئے یکساں برقی فیلڈ تیار کرتا ہے ، یکساں پلازما کی تقسیم کو فروغ دیتا ہے اور اس طرح اینچنگ یا جمع کی یکسانیت کو بہتر بناتا ہے۔

ایس آئی سی شاور ہیڈز کو انٹیگریٹڈ سرکٹس ، مائکرو الیکٹرو مکینیکل سسٹم (ایم ای ایم ایس) ، پاور سیمیکمڈکٹرز اور دیگر شعبوں کی تیاری میں بڑے پیمانے پر استعمال کیا جاتا ہے۔ ان کے کارکردگی کے فوائد خاص طور پر اعلی درجے کے عمل کے نوڈس میں واضح ہیں جن میں اعلی صحت سے متعلق جمع کی ضرورت ہوتی ہے ، جیسے 7nm اور 5nm عمل اور اس سے نیچے۔ وہ مستحکم اور یکساں گیس کی تقسیم فراہم کرتے ہیں ، جمع شدہ پرت کی یکسانیت اور مستقل مزاجی کو یقینی بناتے ہیں ، اس طرح سیمیکمڈکٹر آلات کی کارکردگی اور وشوسنییتا کو بہتر بناتے ہیں۔

سیمیکوریکس اپنی مرضی کے مطابق پیش کرتا ہےCVD sicاورسلکان شاور ہیڈزصارفین کی ضروریات پر مبنی۔ اگر آپ کے پاس کوئی پوچھ گچھ ہے یا آپ کو اضافی تفصیلات کی ضرورت ہے تو ، براہ کرم ہم سے رابطہ کرنے میں سنکوچ نہ کریں۔

فون # +86-13567891907 سے رابطہ کریں

ای میل: سیلز@semicorex.com