خشک اینچنگ کے دوران سائڈ والز کیوں موڑتے ہیں؟

خشک اینچنگ عام طور پر ایک ایسا عمل ہے جس میں جسمانی اور کیمیائی افعال کو یکجا کیا جاتا ہے ، جس میں آئن بمباری ایک اہم جسمانی اینچنگ تکنیک ہے۔ اینچنگ کے دوران ، آئنوں کی واقعہ کا زاویہ اور توانائی کی تقسیم ناہموار ہوسکتی ہے۔

اگر آئن واقعہ کا زاویہ سائیڈ والز پر مختلف لوکیٹ آئنوں میں مختلف ہوتا ہے تو ، اینچنگ اثر بھی مختلف ہوگا۔ بڑے آئن واقعات کے زاویوں والے علاقوں میں ، سائیڈ والز پر آئن اینچنگ اثر زیادہ مضبوط ہوتا ہے ، جس کی وجہ سے اس علاقے میں زیادہ سائیڈ وال اینچنگ ہوتی ہے اور سائیڈ وال موڑنے کا سبب بنتا ہے۔ مزید برآں ، آئن توانائی کی ناہموار تقسیم بھی اسی طرح کا اثر پیدا کرتی ہے۔ اعلی توانائی والے آئن مواد کو زیادہ موثر طریقے سے ہٹا دیتے ہیں ، جس کے نتیجے میں سائیڈ والز پر مختلف مقامات پر متضاد اینچنگ کی سطح ہوتی ہے ، جس سے مزید سائیڈ وال موڑنے کا سبب بنتا ہے۔

فوٹوورسٹ خشک اینچنگ میں ماسک کا کام کرتا ہے ، ان علاقوں کی حفاظت کرتا ہے جن کو کھڑا کرنے کی ضرورت نہیں ہے۔ تاہم ، فوٹوزرسٹ اینچنگ کے دوران پلازما بمباری اور کیمیائی رد عمل سے بھی متاثر ہوتا ہے ، اور اس کی خصوصیات میں تبدیلی آسکتی ہے۔

غیر مساوی فوٹوورسٹ موٹائی ، اینچنگ کے دوران کھپت کی متضاد شرح ، یا فوٹووریسسٹ اور مختلف مقامات پر سبسٹریٹ کے مابین آسنجن میں تغیرات سبھی اینچنگ کے دوران سائیڈ والز کے ناہموار تحفظ کا باعث بن سکتے ہیں۔ مثال کے طور پر ، پتلی یا کمزور فوٹوورسٹ آسنجن والے علاقوں میں بنیادی مواد کو زیادہ آسانی سے کھڑا کرنے کی اجازت مل سکتی ہے ، جس کی وجہ سے ان مقامات پر سائیڈ وال موڑنے کا سبب بنتا ہے۔

سبسٹریٹ مادی خصوصیات کے اختلافات

سبسٹریٹ مادے کو کھڑا کرنے سے خصوصیات میں اختلافات ظاہر ہوسکتے ہیں ، جیسے مختلف خطوں میں مختلف کرسٹل واقفیت اور ڈوپنگ حراستی۔ یہ اختلافات اینچنگ کی شرح اور انتخاب کو متاثر کرتے ہیں۔

مثال کے طور پر کرسٹل لائن سلیکن کو لے کر ، سلیکن ایٹموں کا انتظام کرسٹل واقفیت میں مختلف ہوتا ہے ، جس کے نتیجے میں اینچنگ گیس اور اینچنگ کی شرحوں میں رد عمل میں مختلف حالت ہوتی ہے۔ اینچنگ کے دوران ، مادی خصوصیات میں یہ اختلافات سائیڈ والز پر مختلف مقامات پر متضاد اینچنگ گہرائی کا باعث بنتے ہیں ، جس سے بالآخر سائیڈ وال موڑنے کا سبب بنتا ہے۔

سامان سے متعلق عوامل

اینچنگ آلات کی کارکردگی اور حالت بھی اینچنگ کے نتائج کو نمایاں طور پر متاثر کرتی ہے۔ مثال کے طور پر ، رد عمل چیمبر اور ناہموار الیکٹروڈ پہن کے اندر پلازما کی ناہموار تقسیم اینچنگ کے دوران ویفر سطح پر آئن کثافت اور توانائی جیسے پیرامیٹرز کی ناہموار تقسیم کا سبب بن سکتی ہے۔

مزید برآں ، گیس کے بہاؤ کی شرح میں ناہموار درجہ حرارت پر قابو پانے اور معمولی اتار چڑھاو بھی اینچنگ یکسانیت کو متاثر کرسکتا ہے ، جس سے سائیڈ وال موڑنے میں مزید مدد ملتی ہے۔

سیمیکوریکس اعلی معیار کی پیش کش کرتا ہےسی وی ڈی ایس آئی سی اجزاءاینچنگ کے لئے. اگر آپ کے پاس کوئی پوچھ گچھ ہے یا آپ کو اضافی تفصیلات کی ضرورت ہے تو ، براہ کرم ہم سے رابطہ کرنے میں سنکوچ نہ کریں۔

فون # +86-13567891907 سے رابطہ کریں

ای میل: سیلز@semicorex.com