خشک اینچنگ میں بنیادی پیرامیٹرز

مائیکرو الیکٹرو میکانیکل سسٹم کے مینوفیکچرنگ کے عمل میں ڈرائی اینچنگ ایک اہم ٹکنالوجی ہے۔ خشک اینچنگ کے عمل کی کارکردگی سیمیکمڈکٹر آلات کی ساختی صحت سے متعلق اور آپریشنل کارکردگی پر براہ راست اثر و رسوخ پیدا کرتی ہے۔ اینچنگ کے عمل کو عین مطابق کنٹرول کرنے کے ل the ، مندرجہ ذیل بنیادی تشخیصی پیرامیٹرز پر قریبی توجہ دی جانی چاہئے۔

1.etch rete

اینچنگ کی شرح سے مراد مادے کی موٹائی کی موٹائی ہے جس میں فی یونٹ وقت (یونٹ: این ایم/منٹ یا μm/منٹ) ہے۔ اس کی قیمت براہ راست اینچنگ کی کارکردگی کو متاثر کرتی ہے ، اور کم اینچنگ کی شرح پیداواری چکر کو طول دے گی۔ یہ واضح رہے کہ آلات کے پیرامیٹرز ، مادی خصوصیات اور اینچنگ ایریا ہرچنگ کی شرح کو متاثر کرتے ہیں۔

5. اسپیکٹ تناسب

اینچنگ کی شرح سے مراد مادے کی موٹائی کی موٹائی ہے جس میں فی یونٹ وقت (یونٹ: این ایم/منٹ یا μm/منٹ) ہے۔ اس کی قیمت براہ راست اینچنگ کی کارکردگی کو متاثر کرتی ہے ، اور کم اینچنگ کی شرح پیداواری چکر کو طول دے گی۔ یہ واضح رہے کہ آلات کے پیرامیٹرز ، مادی خصوصیات اور اینچنگ ایریا ہرچنگ کی شرح کو متاثر کرتے ہیں۔

3. یونیورمیٹی

اندر کی یکسانیت ایک ہی ویفر کے اندر مختلف مقامات پر شرح مستقل مزاجی ہے ، جس کی وجہ سے سیمیکمڈکٹر آلات میں جہتی انحراف ہوتا ہے۔ جبکہ ویفر ٹو وفر یکسانیت سے مراد مختلف وافرز کے مابین شرح میں مستقل مزاجی ہے ، جو بیچ ٹو بیچ کی درستگی کے اتار چڑھاو کا سبب بن سکتی ہے۔

4. کریٹیکل جہت

اہم جہت سے مراد مائکرو اسٹرکچر کے ہندسی پیرامیٹرز جیسے لائن کی چوڑائی ، خندق کی چوڑائی ، اور سوراخ قطر ہے۔

5. اسپیکٹ تناسب

جیسا کہ نام سے پتہ چلتا ہے کہ پہلو کا تناسب ، یپرچر کی چوڑائی کی گہرائی کا تناسب ہے۔ پہلو تناسب کے ڈھانچے MEMS میں 3D آلات کی بنیادی ضرورت ہیں ، اور نیچے کی شرح میں کمی سے بچنے کے ل gas گیس تناسب اور بجلی کے کنٹرول کے ذریعے بہتر ہونا چاہئے۔

6. نقصان پہنچا

اوورچنگ ، ​​انڈر کٹ اور سائیڈ اینچنگ جیسے اتچ کو پہنچنے والے نقصان سے جہتی درستگی کو کم کیا جاسکتا ہے (جیسے ، الیکٹروڈ اسپیسنگ انحراف ، کینٹیلیور بیم کو تنگ کرنا)۔

7. لوڈنگ اثر

لوڈنگ اثر سے مراد اس رجحان سے مراد ہے کہ اینچنگ کی شرح غیر لکیری طور پر متغیر کے ساتھ تبدیل ہوتی ہے جیسے اینچڈ پیٹرن کے علاقے اور لائن وڈتھ۔ دوسرے لفظوں میں ، مختلف کھڑے علاقوں یا لائن وڈتھ کی شرح یا شکل میں فرق پیدا ہوجائے گی۔

سیمیکوریکس میں مہارت حاصل ہےsic لیپتاورٹی اے سی لیپتسیمیکمڈکٹر مینوفیکچرنگ میں اینچنگ کے عمل میں گریفائٹ حل لاگو ہوتے ہیں ، اگر آپ کو کوئی انکوائری ہے یا اضافی تفصیلات کی ضرورت ہے تو ، براہ کرم ہم سے رابطے میں آنے میں ہچکچاہٹ محسوس نہ کریں۔

فون سے رابطہ کریں: +86-13567891907

ای میل: سیلز@semicorex.com