فوکس کی انگوٹھیوں کا کام کیا ہے؟

سیمیکمڈکٹر اینچنگ کے عمل کی یکسانیت اور استحکام کو یقینی بنانے کے لئے فوکس کی انگوٹھی ضروری اجزاء ہیں۔ برقی اور تھرمل فیلڈز کے عین مطابق کنٹرول کے ذریعے ، فوکس کی انگوٹھی ویفر کی سطح پر پلازما کو مرکوز کرسکتی ہے ، جس سے ویفر پر موجود تمام مقامات پر مستقل طور پر اینچنگ کے نتائج کو یقینی بنایا جاسکتا ہے۔

فوکس بجنے کے افعال

1. اینچنگ یکسانیت کو بہتر بنائیں

اینچنگ کے عمل میں ، فوکس کی انگوٹھی پلازما پر توجہ مرکوز کرسکتی ہےوافرسطح ، جو پلازما کثافت ، آئن بمباری زاویہ ، اور ویفر ایج اور سنٹر دونوں علاقوں میں توانائی کی سطح کو مؤثر طریقے سے ضمانت دیتی ہے۔ وہ ویفر کنارے پر برقی فیلڈ کی تقسیم کو درست کرتے ہیں ، جس سے ایج اثرات کی وجہ سے اینچنگ کی شرح ، اہم جہت ، اور مورفولوجی کی مختلف حالتوں کو کم کیا جاتا ہے ، اس طرح پوری ویفر سطح پر مستقل مزاجی کو یقینی بناتا ہے۔ اگر توجہ مرکوز کی انگوٹھی ضرورت سے زیادہ پہنی ہوئی ہے یا کوئی فوکل رنگ نہیں ہے تو ، پلازما ویفر کے کنارے سے پھیلا دے گا ، بالآخر کنارے اور مرکز کے علاقوں کے مابین لائن کی چوڑائی میں عدم مطابقت پذیر انحرافات کا باعث بنے گا۔

2. الیکٹرو اسٹاٹک چک کی حفاظت کریں

فوکس کی انگوٹھی عام طور پر الیکٹرو اسٹاٹک چکس کی ویفر کیریئر سطح کے باہر نصب کی جاتی ہے ، جس میں براہ راست پلازما بمباری اور سنکنرن کا سامنا کرنا پڑتا ہے۔ پلازما کو اینچنگ کے عمل کے دوران الیکٹرو اسٹٹیٹک چکس سے رابطہ کرنے سے روکنے کے لئے جسمانی رکاوٹ کے طور پر یہ قسط سیٹ اپ خدمات خدمات انجام دیتے ہیں ، اس طرح پلازما کے نقصان کے خطرے کو نمایاں طور پر کم کرتے ہیں۔ فوکس کی انگوٹھی بھی اینچنگ کے عمل کے دوران پیدا ہونے والے پروڈکٹس کو الیکٹرو اسٹاٹک چکس پر عمل پیرا ہونے سے روک سکتی ہے ، اس طرح چک آلودگی اور بند ہونے کی وجہ سے کارکردگی کے انحطاط سے بچنا ہے۔ اس سے الیکٹرو اسٹاٹک چکس کی بحالی کے چکر اور عمر بھر میں بہت زیادہ اضافہ ہوتا ہے ، جس سے سامان کی بحالی اور متبادل لاگت میں کمی واقع ہوتی ہے۔

فوکس کی انگوٹھی عام طور پر اعلی طہارت سے بنی ہوتی ہےکوارٹج, سلکاناورسلیکن کاربائڈمواد ان کی عمدہ جامع کارکردگی کا شکریہ ، سلیکن کاربائڈ مواد آہستہ آہستہ اینچنگ کے عمل کو جدید بنانے کے لئے مرکزی دھارے میں شامل آپشن بن گیا۔ چین میں ایک قابل اعتماد سیمیکمڈکٹر فوکس رنگ سپلائر کی حیثیت سے ، سیمیکوریکس اعلی معیار کی پیش کش کرتا ہےسلیکن کاربائڈ فوکس بجتی ہےاینچنگ آلات کی مختلف ضروریات کو پورا کرنے کے لئے مختلف سائز کا۔ سیمیکوریکس کسی بھی وقت آپ کی انکوائریوں اور خریداریوں کا خیرمقدم کرتا ہے۔