عام سیمی کنڈکٹر کوارٹج اجزاء اور ایپلی کیشنز

کوارٹز کا تعلق ٹریگونل کرسٹل سسٹم سے ہے، جو ایک سہ جہتی فریم ورک معدنی کرسٹل ہے جو سلکان ڈائی آکسائیڈ پر مشتمل ہے۔ عام طور پر، خالص کوارٹز بے رنگ اور شفاف ہوتا ہے، لیکن یہ ٹریس پگمنٹ آئنوں، باریک منتشر شمولیت یا رنگین مراکز کی تشکیل کے نتیجے میں مختلف رنگوں کا حامل ہوتا ہے۔ متعدد بہترین خصوصیات کے ساتھ، کوارٹج کو سیمی کنڈکٹر مینوفیکچرنگ کے مختلف عملوں میں بڑے پیمانے پر استعمال کیا جاتا ہے، اور اس کی کارکردگی اور معیار سیمی کنڈکٹر آلات کی پیداوار، کارکردگی اور قیمت کو براہ راست متاثر کرتے ہیں۔

1. کوارٹج کروسیبل

دیکوارٹج cruciblesاعلی درجہ حرارت monocrystalline سلکان کی ترقی کے عمل میں پولی کرسٹل لائن سلکان خام مال کو منعقد کرنے کے لئے استعمال کیا جاتا ہے. مستحکم سپورٹ مواد کو یقینی بنانے کے لیے، کوارٹز کروسیبلز کو اعلی درجہ حرارت کے بہترین استحکام (پگھلنے کا نقطہ>1700℃) اور ایک کم تھرمل ایکسپینشن گتانک کی ضرورت ہوتی ہے تاکہ سخت اعلی درجہ حرارت کے آپریٹنگ حالات کے چیلنجوں کا مقابلہ کیا جا سکے۔ سیمی کنڈکٹر ایپلی کیشنز کے لیے کوارٹج کروسیبلز کو گریڈ 4N8 یا اس سے زیادہ کے اعلیٰ پیوریٹی کوارٹج سے تیار کرنے کی ضرورت ہے۔ یہ دانشمندانہ مواد کا انتخاب اعلی درجہ حرارت کی وجہ سے کوارٹج کروسیبل سے ناپاک بارش کی وجہ سے کرسٹل آلودگی کے خطرات کو مؤثر طریقے سے کم کر سکتا ہے۔

کوارٹج فرنس ٹیوبیں عام طور پر مختلف ویفر مینوفیکچرنگ کے عمل جیسے بازی، آکسیکرن، اور کیمیائی بخارات جمع (CVD) کے لیے اعلی درجہ حرارت کے رد عمل کے چیمبر کے طور پر کام کرتی ہیں۔ توکوارٹج فرنس ٹیوبیںانہیں اعلی درجہ حرارت کے ماحول کی وجہ سے خراب ہونے یا نرم ہونے سے روکنے کے لیے بہترین اعلی درجہ حرارت کی مزاحمت کی ضرورت ہے۔ کچھ عملوں میں، تھرمل استحکام پر ہائیڈروکسیل گروپس کے اثرات کو کم کرنے کے لیے ڈی ہائیڈروکسیلیشن ٹریٹمنٹ کی بھی ضرورت ہوتی ہے۔ کوارٹج فرنس ٹیوبوں کی تیاری کے لیے دھاتی ناپاک مواد ≤1 پی پی ایم کے ساتھ اعلی طہارت کے کوارٹج مواد کی بھی ضرورت ہوتی ہے تاکہ رد عمل کے عمل کے دوران نجاست کو تیز ہونے اور ویفر پروسیسنگ کے نتائج کو متاثر کرنے سے روکا جا سکے۔

کوارٹج کشتیاں عام طور پر کوارٹج فرنس ٹیوبوں کے ساتھ مل کر درجنوں کو سینکڑوں ویفرز کو لے جانے اور لے جانے کے لیے استعمال کی جاتی ہیں۔ لہذا،کوارٹج کشتیاںعام طور پر کوارٹج فرنس ٹیوبوں کی طرح مکینیکل طاقت کے لحاظ سے ایک ہی بہترین اعلی درجہ حرارت کی مزاحمت، سنکنرن مزاحمت، اور مستحکم، قابل اعتماد کارکردگی رکھنے کی ضرورت ہوتی ہے۔

کوارٹج فوکس بجتی ہے۔خاص طور پر خشک اینچنگ کے عمل کے لیے ڈیزائن کیے گئے ہیں۔ وہ عام طور پر ویفرز کے ارد گرد نصب کیے جاتے ہیں تاکہ پلازما کو محدود اور ہم آہنگ کیا جا سکے، مؤثر طریقے سے ویفر پر ایچنگ کی شرح اور پیٹرننگ کی یکسانیت کو یقینی بنایا جائے۔ اس آپریٹنگ ماحول کو پلازما کے سنکنرن کے خلاف مضبوط مزاحمت، انتہائی اعلی جہتی درستگی، اور غیر معمولی خارج ہونے یا ذرات کی پیداوار کو روکنے کے لیے ہموار سطح کی تکمیل کے لیے کوارٹز فوکس رِنگز کی ضرورت ہوتی ہے۔