سیلیکون کاربائیڈ ویفر بوٹس: سیمی کنڈکٹر میں "ویفرز کے پوشیدہ سرپرست"

سیمی کنڈکٹر مینوفیکچرنگ میں، آکسیڈیشن میں ویفر کو اعلی درجہ حرارت والے ماحول میں رکھنا شامل ہے جہاں آکسیجن ویفر کی سطح پر آکسائڈ کی تہہ بنانے کے لیے بہتی ہے۔ یہ ویفر کو کیمیائی نجاستوں سے بچاتا ہے، رساو کرنٹ کو سرکٹری میں داخل ہونے سے روکتا ہے، آئن امپلانٹیشن کے دوران پھیلاؤ کو روکتا ہے، اور اینچنگ کے دوران ویفر کے پھسلن کو روکتا ہے، جس سے ویفر کی سطح پر ایک حفاظتی فلم بنتی ہے۔ اس مرحلے میں استعمال ہونے والا سامان آکسیڈیشن فرنس ہے۔ ری ایکشن چیمبر کے اندر اہم اجزاء میں ایک ویفر بوٹ، بیس، فرنس لائنر ٹیوب، اندرونی فرنس ٹیوب، اور ہیٹ انسولیشن بیفلز شامل ہیں۔ اعلی آپریٹنگ درجہ حرارت کی وجہ سے، ردعمل چیمبر کے اندر اجزاء کے لئے کارکردگی کی ضروریات بھی زیادہ ہیں.

ویفر کشتی ویفر کی نقل و حمل اور پروسیسنگ کے لئے ایک کیریئر کے طور پر استعمال ہوتی ہے۔ اس میں اعلی انضمام، اعلی وشوسنییتا، مخالف جامد خصوصیات، اعلی درجہ حرارت کی مزاحمت، لباس مزاحمت، اخترتی کے خلاف مزاحمت، اچھی استحکام، اور طویل سروس کی زندگی جیسے فوائد ہونے چاہئیں۔ چونکہ ویفر آکسیڈیشن کا درجہ حرارت تقریباً 800 ℃ اور 1300 ℃ کے درمیان ہے، اور ماحول میں دھاتی نجاست کے مواد کے لیے تقاضے انتہائی سخت ہیں، اس لیے کلیدی اجزاء جیسے کہ ویفر بوٹ میں نہ صرف بہترین تھرمل، مکینیکل اور کیمیائی خصوصیات ہونی چاہئیں، بلکہ ان میں دھاتی ناپاکی کا مواد بھی انتہائی کم ہونا چاہیے۔

سبسٹریٹ کی بنیاد پر، ویفر بوٹس کو کوارٹج کرسٹل بوٹس کے طور پر درجہ بندی کیا جا سکتا ہے،سلکان کاربائڈ سیرامکویفر بوٹس وغیرہ۔ تاہم، 7nm سے نیچے پراسیس نوڈس کی ترقی اور اعلی درجہ حرارت والی پروسیس ونڈوز کی توسیع کے ساتھ، روایتی کوارٹز بوٹس تھرمل استحکام، پارٹیکل کنٹرول، اور زندگی بھر کے انتظام کے لحاظ سے آہستہ آہستہ ناکافی ہوتی جا رہی ہیں۔ سلیکون کاربائیڈ بوٹس (SiC بوٹس) آہستہ آہستہ روایتی کوارٹج محلول کی جگہ لے رہی ہیں۔

کیوںسلیکن کاربائیڈ?

1. اعلی درجہ حرارت کا استحکام

اعلی درجہ حرارت کا استحکام SiC کشتیوں کا سب سے نمایاں فائدہ ہے۔ وہ انتہائی اعلی درجہ حرارت (> 1300 ° C) پر بھی عملی طور پر کوئی خرابی نہیں دکھاتے ہیں اور نہ ہی گھٹتے رہتے ہیں، توسیعی مدت کے دوران عین مطابق ویفر سلاٹ پوزیشننگ کو برقرار رکھتے ہیں۔

2. انتہائی طویل عمر

ایک ہی کشتی زیادہ بوجھ برداشت کرنے کی صلاحیت رکھتی ہے، جو بیک وقت درجنوں سے سینکڑوں 12 انچ ویفرز کو سہارا دینے کی صلاحیت رکھتی ہے۔ روایتی کوارٹز کشتیوں کے مقابلے میں، SiC کشتیاں اوسط عمر 5-10 گنا زیادہ پیش کرتی ہیں، جس سے سامان کی تبدیلی کی فریکوئنسی اور ملکیت کی کل لاگت کم ہوتی ہے۔

3. صاف سطح اور انتہائی کم آلودگی

اعلی مواد کی پاکیزگی اور انتہائی کم دھاتی ناپاک مواد سلیکون ویفرز کی ثانوی آلودگی کو روکتا ہے۔ 0.1μm سے نیچے Ra کے ساتھ بہترین سطح کی کھردری کا کنٹرول، ذرات کے بہاؤ کو دباتا ہے اور جدید عمل کی صفائی کی ضروریات کو پورا کرتا ہے۔

4. انتہائی اعلی درجہ حرارت کے عمل کے لیے موزوں ہے۔

1200 ° C سے زیادہ درجہ حرارت کی ضرورت کے عمل کے لیے (جیسے کہ مخصوص موٹی فلم آکسیڈیشن کے عمل، SiC ڈیوائس فیبریکیشن، یا گہری خندق بھرنے کے عمل)، SiC کشتیاں ایک ناقابل تبدیلی انتخاب ہیں۔

کی درخواستیںسلیکن کاربائیڈ کشتیاں

سیمی کنڈکٹر مینوفیکچرنگ

چپ مینوفیکچرنگ کے اعلی درجہ حرارت کے عمل میں، جیسے آکسیڈیشن، ڈفیوژن، کیمیائی بخارات جمع (CVD) اور آئن امپلانٹیشن میں، سلیکون کاربائیڈ بوٹس کو سلیکون ویفرز کو سہارا دینے کے لیے استعمال کیا جاتا ہے، جو اعلی درجہ حرارت پر ان کے چپٹے پن کو یقینی بناتے ہیں اور جالیوں کی غلط ترتیب یا خرابی کو روکتے ہیں، اس کی وجہ سے ہونے والے دباؤ اور کارکردگی کی ضمانت دیتے ہیں۔

فوٹو وولٹک انڈسٹری

سلیکن کاربائیڈ سیرامکسبہترین مکینیکل طاقت، تھرمل استحکام، اعلی درجہ حرارت کی مزاحمت، آکسیڈیشن مزاحمت، تھرمل جھٹکا مزاحمت، اور کیمیائی سنکنرن مزاحمت ہے، جس کی وجہ سے وہ مشہور شعبوں جیسے دھات کاری، مشینری، نئی توانائی، اور تعمیراتی مواد کیمیکلز میں بڑے پیمانے پر استعمال ہوتے ہیں۔ ان کی کارکردگی فوٹو وولٹک مینوفیکچرنگ میں تھرمل عمل کے لیے بھی کافی ہے، جیسے کہ بازی، LPCVD (کم دباؤ والے کیمیائی بخارات کا ذخیرہ) اور TOPcon خلیات کے لیے PECVD (پلازما کیمیائی بخارات جمع)۔ روایتی کوارٹج مواد کے مقابلے میں، سیلیکون کاربائیڈ سیرامک ​​مواد جو کشتی کی مدد، چھوٹی کشتیاں، اور نلی نما مصنوعات بنانے کے لیے استعمال ہوتے ہیں اعلیٰ طاقت، بہتر تھرمل استحکام، اور اعلی درجہ حرارت میں کوئی خرابی نہیں پیش کرتے ہیں۔ ان کی عمر بھی کوارٹز سے پانچ گنا زیادہ ہے، جو آپریٹنگ اخراجات کو نمایاں طور پر کم کرتی ہے اور دیکھ بھال کے بند ہونے کی وجہ سے توانائی کے نقصانات کو کم کرتی ہے۔ اس کے نتیجے میں لاگت کا واضح فائدہ ہوتا ہے، اور خام مال وسیع پیمانے پر دستیاب ہوتا ہے۔

تیسری نسل کے سیمی کنڈکٹرز

دھاتی-نامیاتی کیمیائی بخارات جمع کرنے (MOCVD) کے رد عمل کے چیمبر میں، سلکان کاربائیڈ کشتیاں نیلم کے ذیلی ذخیروں کو سہارا دینے کے لیے استعمال کی جاتی ہیں، جو امونیا (NH3) جیسے سنکنرن گیس کے ماحول کو برداشت کرتی ہیں، تیسری نسل کے سیمی کنڈکٹر مواد جیسے گیلیئم گیلیمین اور پرفارمنس (لوئیومین) کی افزائش میں معاون ہوتی ہیں۔ ایل ای ڈی چپس کی. سلیکان کاربائیڈ سنگل کرسٹل گروتھ میں، سلیکان کاربائیڈ بوٹس سلکان کاربائیڈ سنگل کرسٹل گروتھ فرنس میں سیڈ کرسٹل سپورٹ کے طور پر کام کرتی ہیں، پگھلے ہوئے سلکان کے اعلی درجہ حرارت کے سنکنرن ماحول کو برداشت کرتی ہیں، سلکان کاربائیڈ سنگل کرسٹل کی نشوونما کے لیے مستحکم مدد فراہم کرتی ہیں، اور سلی کان کاربائیڈ سنگل کرسٹل کی تیاری کو فروغ دیتی ہیں۔

سلکان کاربائیڈ ویفر بوٹ ڈویلپمنٹ ٹرینڈز

مارکیٹ کے لحاظ سے، SEMI کے اعداد و شمار کے مطابق، عالمی ویفر بوٹ مارکیٹ کا حجم 2025 میں تقریباً 1.4 بلین امریکی ڈالر ہے اور 2028 تک اس کے 1.8 بلین امریکی ڈالر تک پہنچنے کا امکان ہے۔ 20% سلکان کاربائیڈ کی رسائی کی شرح اور چین میں ایک تہائی مارکیٹ شیئر فرض کرتے ہوئے (چائنا سیمی کنڈکٹ ایسوسی ایشن کے اعداد و شمار) میں چینی مارکیٹ کا سائز $6 ملین ہو گا۔ اور بالترتیب US$864 ملین۔

تکنیکی طور پر، سلکان کاربائیڈ میں کوارٹج کے مقابلے میں تھرمل توسیع کا زیادہ گتانک ہوتا ہے، جس سے یہ ایپلی کیشنز میں کریکنگ کا زیادہ خطرہ بنتا ہے۔ لہذا، مربوط مولڈنگ ٹیکنالوجی کو مینوفیکچرنگ میں فروغ دیا جا رہا ہے تاکہ سیون کو کم کیا جا سکے اور پارٹیکل شیڈنگ کے خطرے کو کم کیا جا سکے۔ مزید برآں، ویفر بوٹ کے دانتوں کی نالی کے ڈیزائن کو بہتر بنانا، پانچ محور مشینی اور تار کاٹنے والی ٹیکنالوجیز کے ساتھ مل کر، ویفر ہینڈلنگ کی درستگی اور ہمواری کو یقینی بناتا ہے۔

سیمیکوریکس اعلیٰ معیار کی پیشکش کرتا ہے۔سلیکن کاربائیڈ ویفر بوٹس. اگر آپ کی کوئی پوچھ گچھ ہے یا اضافی تفصیلات کی ضرورت ہے، تو براہ کرم ہم سے رابطہ کرنے میں سنکوچ نہ کریں۔

فون نمبر +86-13567891907 سے رابطہ کریں۔

ای میل: sales@semicorex.com