CVD طریقہ کے ساتھ TaC کوٹنگ

ٹینٹلم کاربائیڈ کوٹنگ ایک اہم اعلی طاقت، سنکنرن مزاحم اور کیمیائی طور پر مستحکم اعلی درجہ حرارت کا ساختی مواد ہے جس کا پگھلنے کا نقطہ 4273 ° C تک ہے، جو کئی مرکبات میں سے ایک ہے جس میں زیادہ سے زیادہ درجہ حرارت مزاحمت ہے۔ اس میں بہترین ہائی ٹمپریچر مکینیکل خصوصیات، تیز رفتار ہوا کے بہاؤ سکورنگ کے خلاف مزاحمت، اخراج مزاحمت، اور گریفائٹ اور کاربن/کاربن کمپوزٹ کے ساتھ اچھی کیمیائی اور مکینیکل مطابقت ہے۔ لہذا، GaN LEDs اور SiC پاور ڈیوائسز جیسے MOCVD کے ایپیٹیکسیل عمل میں، TaC کوٹنگ میں H2، HCl، NH3 کے خلاف بہترین تیزاب اور الکلی مزاحمت ہے، جو گریفائٹ سبسٹریٹ مواد کی مکمل حفاظت کر سکتی ہے اور نمو کے ماحول کو پاک کر سکتی ہے۔

TaC کوٹنگ 2000 ° C سے زیادہ درجہ حرارت پر مستحکم رہتی ہے، جبکہ SiC کوٹنگ 1200-1400 ° C پر گلنا شروع ہو جاتی ہے، جو گریفائٹ سبسٹریٹ کی سالمیت کو بھی بہت بہتر بنائے گی۔ ٹینٹلم کاربائیڈ کوٹنگز فی الحال گریفائٹ سبسٹریٹس پر بنیادی طور پر CVD کے ذریعے تیار کی جاتی ہیں، اور TaC کوٹنگز کی پیداواری صلاحیت کو SiC پاور ڈیوائسز اور GaNLEDs ایپیٹیکسیل ڈیوائسز کی مانگ کو پورا کرنے کے لیے مزید بڑھایا جائے گا۔

کیمیکل ری ایکشن سسٹم کاربن مواد پر ٹینٹلم کاربائیڈ کوٹنگز کو کیمیائی بخارات جمع کرنے کے لیے استعمال کیا جاتا ہے (CVD) TaCl5، C3H6، H2 اور Ar ہے، جہاں Ar کو کم کرنے اور لے جانے والی گیس کے طور پر استعمال کیا جاتا ہے۔

ٹینٹلم کاربائیڈ کوٹنگز MOCVD کا استعمال کرتے ہوئے GaN LEDs اور SiC پاور ڈیوائسز کے ایپیٹیکسیل عمل میں اہم کردار ادا کرتی ہیں۔ اعلی درجے کے مواد اہم اجزاء کی حفاظت کرتے ہیں، اعلی درجہ حرارت کے سیمی کنڈکٹر مینوفیکچرنگ سے وابستہ سخت حالات میں ان کی لمبی عمر اور کارکردگی کو یقینی بناتے ہیں۔

جیسا کہ SiC پاور ڈیوائسز اور GaN LEDs کی مانگ میں مسلسل اضافہ ہوتا جا رہا ہے، ٹینٹلم کاربائیڈ کوٹنگز کی پیداواری صلاحیت بڑھنے کو تیار ہے۔ مینوفیکچررز ان صنعتوں کی بڑھتی ہوئی ضروریات کو پورا کرنے کے لیے تیار ہیں، جس سے اعلی درجہ حرارت والی ٹیکنالوجی کے ارتقاء میں آسانی ہو گی۔

آخر میں،ٹینٹلم کاربائیڈ کوٹنگزاعلی درجہ حرارت والے ماحول میں مواد کی پائیداری اور وشوسنییتا کو یقینی بنانے میں ایک ناقابل یقین تکنیکی چھلانگ کی نمائندگی کرتا ہے۔ جیسا کہ وہ سیمی کنڈکٹر اور پاور الیکٹرانکس کے شعبوں میں انقلاب لاتے رہتے ہیں، یہ ملمع کاری جدید ہائی ٹیک ترقی کے ایک اہم عنصر کے طور پر اپنی حیثیت کو واضح کرتی ہے۔