الیکٹروسٹیٹک چک (ESC) کیا ہے؟

سیمی کنڈکٹر مینوفیکچرنگ میں، اینچنگ کے عمل کی درستگی اور استحکام سب سے اہم ہے۔ اعلیٰ معیار کی اینچنگ کو حاصل کرنے میں ایک اہم عنصر اس بات کو یقینی بنانا ہے کہ عمل کے دوران ٹرے پر ویفر بالکل فلیٹ ہوں۔ کوئی بھی انحراف ناہموار آئن بمباری کا باعث بن سکتا ہے، جس کی وجہ سے ناپسندیدہ زاویے اور اینچنگ کی شرحوں میں تغیر پیدا ہوتا ہے۔ ان چیلنجوں سے نمٹنے کے لیے انجینئرز نے ترقی کی ہے۔الیکٹرو سٹیٹک چکس (ESCs)جس نے اینچنگ کے معیار اور استحکام کو نمایاں طور پر بہتر کیا ہے۔ یہ مضمون ایک اہم پہلو پر توجہ مرکوز کرتے ہوئے ESCs کے ڈیزائن اور فعالیت پر روشنی ڈالتا ہے: ویفر آسنجن کے پیچھے الیکٹرو سٹیٹک اصول۔

الیکٹروسٹیٹک ویفر آسنجن

کے پیچھے اصولای ایس سیویفر کو محفوظ طریقے سے پکڑنے کی صلاحیت اس کے الیکٹرو اسٹاٹک ڈیزائن میں ہے۔ میں استعمال ہونے والی دو بنیادی الیکٹروڈ کنفیگریشنز ہیں۔ای ایس سیs: سنگل الیکٹروڈ اور ڈوئل الیکٹروڈ ڈیزائن۔

سنگل الیکٹروڈ ڈیزائن: اس ڈیزائن میں، پورا الیکٹروڈ یکساں طور پر پھیلا ہوا ہے۔ای ایس سیسطح مؤثر ہونے کے باوجود، یہ اعتدال پسند سطح کی چپکنے والی قوت اور فیلڈ یکسانیت فراہم کرتا ہے۔

دوہری الیکٹروڈ ڈیزائن: دوہری الیکٹروڈ ڈیزائن، تاہم، ایک مضبوط اور زیادہ یکساں الیکٹرو سٹیٹک فیلڈ بنانے کے لیے مثبت اور منفی دونوں وولٹیج کا استعمال کرتا ہے۔ یہ ڈیزائن زیادہ چپکنے والی قوت پیش کرتا ہے اور اس بات کو یقینی بناتا ہے کہ ویفر کو ESC سطح پر مضبوطی سے اور یکساں طور پر رکھا جائے۔

جب الیکٹروڈز پر ڈی سی وولٹیج کا اطلاق ہوتا ہے تو الیکٹروڈز اور ویفر کے درمیان ایک الیکٹرو سٹیٹک فیلڈ پیدا ہوتا ہے۔ یہ فیلڈ انسولیٹنگ پرت کے ذریعے پھیلی ہوئی ہے اور ویفر کے پچھلے حصے کے ساتھ تعامل کرتی ہے۔ برقی میدان ویفر کی سطح پر چارجز کو دوبارہ تقسیم کرنے یا پولرائز کرنے کا سبب بنتا ہے۔ ڈوپڈ سلیکون ویفرز کے لیے، مفت چارجز برقی میدان کے زیر اثر حرکت کرتے ہیں — مثبت چارجز منفی الیکٹروڈ کی طرف بڑھتے ہیں، اور منفی چارجز مثبت الیکٹروڈ کی طرف بڑھتے ہیں۔ ان ڈوپڈ یا انسولیٹنگ ویفرز کی صورت میں، برقی میدان اندرونی چارجز کی ہلکی سی نقل مکانی کا سبب بنتا ہے، جس سے ڈوپولز بنتے ہیں۔ نتیجے میں الیکٹرو اسٹاٹک قوت ویفر کو چک پر مضبوطی سے لگاتی ہے۔ کولمب کے قانون اور برقی میدان کی طاقت کا استعمال کرتے ہوئے اس قوت کی طاقت کا تخمینہ لگایا جا سکتا ہے۔